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GLC/成分梯度CN_(x)多层膜的微观结构和摩擦学性能
1
作者
杨芳儿
陆诗慧
+2 位作者
杨烁妍
高蔓斌
郑晓华
《中国表面工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020年第6期68-76,共9页
类金刚石碳膜通常内应力大、结合力低,而多层膜结构可提高结合力。采用磁控溅射技术在Si基体上沉积不同CNx层厚度的GLC/成分梯度CNx纳米多层膜。通过扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)、Raman光谱仪、球盘...
类金刚石碳膜通常内应力大、结合力低,而多层膜结构可提高结合力。采用磁控溅射技术在Si基体上沉积不同CNx层厚度的GLC/成分梯度CNx纳米多层膜。通过扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)、Raman光谱仪、球盘式摩擦仪、纳米压痕仪等对多层膜的表面形貌、微观结构、力学以及摩擦性能进行分析。结果表明:多层膜表面平整光滑,CNx层厚度为50 nm的多层膜有明显的层状结构。多层膜中存在石墨相而CNx以微晶或非晶存在。薄膜的sp3键含量、结合力、硬度等均随CNx层厚度的增加先增加后减小。CNx层厚度对多层膜的大气环境摩擦因数影响很小,但显著降低其真空环境摩擦因数。多层膜的硬度为(15~17.6)GPa,大气中的磨损率为(1.03~2.33)×10-16m3N-1m-1,真空中为(2.06~3.34)×10-16m3N-1m-1。CNx层厚度为20 nm的多层膜综合性能最佳。
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关键词
多层膜
梯度
CN_(x)
GLC
磁控溅射
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职称材料
题名
GLC/成分梯度CN_(x)多层膜的微观结构和摩擦学性能
1
作者
杨芳儿
陆诗慧
杨烁妍
高蔓斌
郑晓华
机构
浙江工业大学材料科学与工程学院
万向钱潮股份有限公司等速驱动轴厂质量部
出处
《中国表面工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020年第6期68-76,共9页
基金
浙江省自然科学基金(LY15E010007)
浙江省重点研发计划(2019C01088)
文摘
类金刚石碳膜通常内应力大、结合力低,而多层膜结构可提高结合力。采用磁控溅射技术在Si基体上沉积不同CNx层厚度的GLC/成分梯度CNx纳米多层膜。通过扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)、Raman光谱仪、球盘式摩擦仪、纳米压痕仪等对多层膜的表面形貌、微观结构、力学以及摩擦性能进行分析。结果表明:多层膜表面平整光滑,CNx层厚度为50 nm的多层膜有明显的层状结构。多层膜中存在石墨相而CNx以微晶或非晶存在。薄膜的sp3键含量、结合力、硬度等均随CNx层厚度的增加先增加后减小。CNx层厚度对多层膜的大气环境摩擦因数影响很小,但显著降低其真空环境摩擦因数。多层膜的硬度为(15~17.6)GPa,大气中的磨损率为(1.03~2.33)×10-16m3N-1m-1,真空中为(2.06~3.34)×10-16m3N-1m-1。CNx层厚度为20 nm的多层膜综合性能最佳。
关键词
多层膜
梯度
CN_(x)
GLC
磁控溅射
Keywords
multilayer film
gradient
CN_(x)
GLC
magnetron sputtering
分类号
TB383.2 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
GLC/成分梯度CN_(x)多层膜的微观结构和摩擦学性能
杨芳儿
陆诗慧
杨烁妍
高蔓斌
郑晓华
《中国表面工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020
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