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题名实验室信息管理系统在环境保护领域的建设与应用探讨
被引量：8
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作者
贺锋萍
徐从富
罗海宁
吴小东
楼春兰
郑辉
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机构
浙江大学计算机科学与技术学院
浙江省环境保护科学设计研究院
万向硅峰电子股份有限公司
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出处
《环境污染与防治》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第12期90-91,95,共3页
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文摘
介绍了环境监测实验室的业务特点;概述了国内外实验室信息管理系统(LIMS)的发展现状;选择了适合环境监测业务的LIMS软件产品,并在此基础上作进一步开发以满足环境监测业务的可拓展性;提出了LIMS需要完善功能的建议。同时,指出在环境保护领域引入LIMS,在一定程度上提高了分析数据的准确性和环境监测实验室管理水平。
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关键词
实验室信息管理系统
环境监测
环境管理
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分类号
X830
[环境科学与工程—环境工程]
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题名基于CCD测量技术的不完整圆直径测量算法研究
被引量：7
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作者
涂瑾
吴胜登
曹建伟
李世伦
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机构
浙江大学机械电子工程系
万向硅峰电子股份有限公司
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出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第7期574-576,613,共4页
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文摘
针对单晶硅生长过程中的直径测量,提出了一种基于CCD摄像头的不完整圆直径测量算法。首先利用CCD摄像头透过隔热设施俯拍单晶,获取到部分单晶生长图像;然后根据获取的该部分生长图像的特点,采用图像处理技术提取单晶体的边缘信息,并应用亚像素边缘检测技术精确获取单晶体的边缘位置;最后通过不完整圆算法把部分边缘图像还原成完整圆,从而实时获得硅单晶的直径值。该算法获得的硅单晶直径具有精度高、抗干扰性强的特点,有利于实现整个拉晶过程的全自动控制。
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关键词
单晶炉
直径测量
图像处理
电荷耦合器件
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Keywords
crystal furnace
measuring diameter
image processing
charge coupled device （CCD）
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分类号
TN307
[电子电信—物理电子学]
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题名Si抛光片存储中表面起“雾”的研究
被引量：1
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作者
程国庆
詹玉峰
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机构
万向硅峰电子股份有限公司
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出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第4期337-340,共4页
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文摘
存储中Si片起"雾"是Si片存储面临的最大挑战,"雾"缺陷是可见或可印刷的晶体结构,从污染生长而来,已是困扰半导体业界长达10年以上的大问题。半导体制造商们至今还未能提出良好的解决方案。所以研究Si片的"雾"缺陷,并克服"雾"缺陷显得尤为迫切。从实际生产出发,根据实验数据分析和理论推导,建立了一个起"雾"原因基本模型,对引起"雾"缺陷影响因素进行了独立细致的分析,并在这个模型的基础上提出了相对应的有效的解决方案。
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关键词
时间雾
携带层
气载分子污染
温湿度
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Keywords
time-dependent haze
carrying layer
AMC （airborne molecular contamination） pollution
temperature and humidity
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分类号
TN305.2
[电子电信—物理电子学]
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