检索结果-维普期刊中文期刊服务平台

全光纤白光干涉型光纤传感器被引量：5: 1; 作者李川张以谟 +2 位作者刘铁根李欣陈希明《传感技术学报》 CAS CSCD 2001年第2期91-95,共5页; 根据传统光学干涉原理研制出的相位调制型光纤传感器 ,其突出优点是灵敏度高 .但却只能进行相对测量 ,即只能用作变化量的测量 ,而不能用于状态量的测量 .因此 ,本文介绍了能实现绝对测量的全光纤白光干涉型光纤传感器及其检测技术 ,该... 展开更多; 关键词白光干涉仪白光零级干涉条纹光纤传感器; 在线阅读下载PDF 职称材料

F-P标准具用于量块量值的传递与溯源被引量：2: 2; 作者张成悌薛靓 +7 位作者付天坤刘静冉莉萍徐德宇王冠熹龚柯安李华张宝武《中国测试》 CAS 北大核心 2022年第S02期54-58,共5页; 文章介绍具有F-P标准具的白光干涉仪检定量块的光学原理及其结构,以及检定F-P标准具的等倾干涉的原理。进一步对具有F-P标准具的白光干涉仪检定量块的测量不确定度进行分析,充分证明具有F-P标准具的白光干涉仪满足检定1等量块的要求。... 展开更多; 关键词白光干涉仪 F-P标准具零次干涉带等倾干涉环; 在线阅读下载PDF 职称材料

具有F-P标准具照明系统的白光干涉仪测量量块的测量不确定度分析: 3; 作者张成悌薛靓 +7 位作者付天坤徐德宇刘静冉莉萍王冠熹龚柯安李华张宝武《中国测试》 CAS 北大核心 2023年第S01期231-240,共10页; 文献[1]F-P标准具用于量块量值的传递与溯源一文(中国测试技术2012年增刊第2期54-58页)介绍具有F-P标准具的白光干涉仪检定量块的光学原理及其结构,以及检定F-P标准具的等倾干涉的原理。而进一步对具有F-P标准具的白光干涉仪检定量块的... 展开更多; 关键词 F-P标准具白光干涉仪零次干涉带等倾干涉环; 在线阅读下载PDF 职称材料

扫描白光干涉技术在硅片检焦过程中的应用被引量：2: 4; 作者李旺张文涛 +1 位作者杜浩熊显名《现代电子技术》 2023年第15期140-146,共7页; 晶圆检测设备常采用机器视觉方法采集晶圆图像,但基于光谱共焦位移传感器的调焦系统测量精度低、鲁棒性差,基于三角测量原理的调焦系统虽精度足够高,但硅片表面图案与沟槽会影响探测光路从而导致系统无法工作。针对这些问题,提出一种基... 展开更多; 关键词检焦最佳焦面清晰度扫描白光干涉零光程差硅片垂向距离补偿量工艺适应性; 在线阅读下载PDF 职称材料

靶丸壳层厚度及其分布的白光反射光谱测量技术: 5; 作者樊婷马小军 +3 位作者王宗伟王琦何智兵易勇《强激光与粒子束》 CAS CSCD 北大核心 2021年第9期38-42,共5页; 为了精密检测靶丸壳层厚度及其分布数据,开展了靶丸壳层厚度及其分布的白光反射光谱测量技术研究。介绍了靶丸壳层的白光反射光谱及其光谱数据处理方法(极值法、峰值拟合法、干涉级次校正法等)的基本原理,搭建了基于白光反射光谱的精密... 展开更多; 关键词白光反射光谱厚度分布峰值拟合法干涉级次校正法靶丸; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名全光纤白光干涉型光纤传感器被引量：5: 1; 作者李川张以谟刘铁根李欣陈希明; 机构天津大学现代光学仪器研究所光电信息技术科学教育部重点实验室; 出处《传感技术学报》 CAS CSCD 2001年第2期91-95,共5页; 基金 86 3光电子主题国家自然科学基金!(6 9392 40 2 ) +1 种基金教育部光电信息工程实验室; 文摘根据传统光学干涉原理研制出的相位调制型光纤传感器 ,其突出优点是灵敏度高 .但却只能进行相对测量 ,即只能用作变化量的测量 ,而不能用于状态量的测量 .因此 ,本文介绍了能实现绝对测量的全光纤白光干涉型光纤传感器及其检测技术 ,该技术基于白光干涉的绝对测量原理 .; 关键词白光干涉仪白光零级干涉条纹光纤传感器; Keywords white light interferometer white light zero order interference pattern sensing arm reference arm optic fiber sensors.; 分类号 TP212.14 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名F-P标准具用于量块量值的传递与溯源被引量：2: 2; 作者张成悌薛靓付天坤刘静冉莉萍徐德宇王冠熹龚柯安李华张宝武; 机构中国测试技术研究院成都新成量工具有限公司中国计量大学; 出处《中国测试》 CAS 北大核心 2022年第S02期54-58,共5页; 文摘文章介绍具有F-P标准具的白光干涉仪检定量块的光学原理及其结构,以及检定F-P标准具的等倾干涉的原理。进一步对具有F-P标准具的白光干涉仪检定量块的测量不确定度进行分析,充分证明具有F-P标准具的白光干涉仪满足检定1等量块的要求。通过该文的介绍,印证该技术可以实现量块自动化检定,特别适用于量块生产厂00级、K级、0级量块的检定。文章还给出具有F-P标准具的白光干涉仪检定量块具有的9个优点。; 关键词白光干涉仪 F-P标准具零次干涉带等倾干涉环; Keywords white light interferometer F-P etalon zero-order interference band equal inclination interference ring; 分类号 TH744.3 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名具有F-P标准具照明系统的白光干涉仪测量量块的测量不确定度分析: 3; 作者张成悌薛靓付天坤徐德宇刘静冉莉萍王冠熹龚柯安李华张宝武; 机构中国测试技术研究院成都新成量工具有限公司中国计量大学; 出处《中国测试》 CAS 北大核心 2023年第S01期231-240,共10页; 文摘文献[1]F-P标准具用于量块量值的传递与溯源一文(中国测试技术2012年增刊第2期54-58页)介绍具有F-P标准具的白光干涉仪检定量块的光学原理及其结构,以及检定F-P标准具的等倾干涉的原理。而进一步对具有F-P标准具的白光干涉仪检定量块的测量不确定度的分析,则由本文完成。该文首先对F-P标准具的检定及其测量不确定度就行了分析。量块尺寸在白光干涉仪上与标准具作比较测量。为减少标准具的数量,量块尺寸可以与两块或三块标准具组成的尺寸进行比较,也可以是由一块尺寸较小的标准具经过光学倍增法实现与被检量块尺寸相同进行比较。例如80mm的量块用40mm的标准具进行比较,这时在量块上的光路在标准具中多一次反射达到;90mm量块则用30mm标准具进行比较。他们也可以由两块标准具组成的尺寸进行比较。分析时以倍增法测量误差最大,以其进行计算。充分证明具有F-P标准具的白光干涉仪完全满足检定1等量块的要求。通过文献[1]及本文的介绍,映证该技术可以实现普及1等量块的检定及量块的自动化检定,特别适用于量块生产厂00级、K级、0级量块的自动化检定。; 关键词 F-P标准具白光干涉仪零次干涉带等倾干涉环; Keywords F-P etalon white light interferometer zero order interference band equal inclination angle interference ring; 分类号 TH744.3 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名扫描白光干涉技术在硅片检焦过程中的应用被引量：2: 4; 作者李旺张文涛杜浩熊显名; 机构桂林电子科技大学电子工程与自动化学院; 出处《现代电子技术》 2023年第15期140-146,共7页; 基金国家科技重大专项子课题(2017ZX02101007⁃003) 国家自然科学基金项目(61965005) +3 种基金上海市在线检测与控制技术重点实验室开放基金项目(ZX2021104)。; 文摘晶圆检测设备常采用机器视觉方法采集晶圆图像,但基于光谱共焦位移传感器的调焦系统测量精度低、鲁棒性差,基于三角测量原理的调焦系统虽精度足够高,但硅片表面图案与沟槽会影响探测光路从而导致系统无法工作。针对这些问题,提出一种基于扫描白光干涉技术的调焦系统,以实现对于不同工艺属性硅片焦面位置的快速精准测量。此检焦系统首先进行相机最佳焦面位置与PZT零光程差位置之间垂向距离的标定,使得在检焦测量时可将零光程差位置作为检出对象,极大地提高了检出速度,并且在零光程差位置定位时,根据干涉波形的形状自适应选择定位算法,提高了检焦系统的工艺适应性。实验结果表明,对于单峰波形和双峰且双峰半分离波形,重心法处理得到的焦面位置的平均绝对误差分别为20 nm和56.1 nm,而包络法则有38 nm和56.2 nm,并且重心法处理耗时在1 ms之内,包络法则需25 ms左右,故选用重心法作为零光程差定位算法。对于双峰且双峰完全融合波形和双峰且双峰完全分离波形,重心法处理得到的焦面位置的平均绝对误差分别为20.3 nm和17.8 nm,而包络法则有13.2 nm和15.8 nm,故选用包络法作为零光程差定位算法。模板匹配法对于4种波形的处理精度最高,在模板形状确定的情况下使用。文中所提系统的焦面测量结果最大平均绝对误差仅为57 nm,最小可达到8 nm,有较强的实际应用意义。; 关键词检焦最佳焦面清晰度扫描白光干涉零光程差硅片垂向距离补偿量工艺适应性; Keywords focus detection optimal focal plane sharpness scanning white light interference zero optical path difference silicon wafer vertical distance compensation process adaptability; 分类号 TN247-34 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名靶丸壳层厚度及其分布的白光反射光谱测量技术: 5; 作者樊婷马小军王宗伟王琦何智兵易勇; 机构中国工程物理研究院激光聚变研究中心西南科技大学材料科学与工程学院; 出处《强激光与粒子束》 CAS CSCD 北大核心 2021年第9期38-42,共5页; 基金科学挑战专题项目(TZ2018006)。; 文摘为了精密检测靶丸壳层厚度及其分布数据,开展了靶丸壳层厚度及其分布的白光反射光谱测量技术研究。介绍了靶丸壳层的白光反射光谱及其光谱数据处理方法(极值法、峰值拟合法、干涉级次校正法等)的基本原理,搭建了基于白光反射光谱的精密回转轴系测量装置;开展了GDP靶丸壳层厚度及其分布的白光反射光谱测量、数据处理和可靠性验证实验,获得了靶丸壳层厚度圆周分布曲线。结果表明,基于峰值拟合法和干涉级次校正的白光反射光谱技术可实现靶丸壳层厚度及其分布的准确测量,其测量误差小于0.1μm。; 关键词白光反射光谱厚度分布峰值拟合法干涉级次校正法靶丸; Keywords white light reflection spectroscopy thickness distribution peak fitting method interference order correction method capsule; 分类号 TL632.1 [核科学技术—核技术及应用]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	全光纤白光干涉型光纤传感器	李川张以谟刘铁根李欣陈希明	《传感技术学报》 CAS CSCD	2001	5	在线阅读下载PDF 职称材料
2	F-P标准具用于量块量值的传递与溯源	张成悌薛靓付天坤刘静冉莉萍徐德宇王冠熹龚柯安李华张宝武	《中国测试》 CAS 北大核心	2022	2	在线阅读下载PDF 职称材料
3	具有F-P标准具照明系统的白光干涉仪测量量块的测量不确定度分析	张成悌薛靓付天坤徐德宇刘静冉莉萍王冠熹龚柯安李华张宝武	《中国测试》 CAS 北大核心	2023	0	在线阅读下载PDF 职称材料
4	扫描白光干涉技术在硅片检焦过程中的应用	李旺张文涛杜浩熊显名	《现代电子技术》	2023	2	在线阅读下载PDF 职称材料
5	靶丸壳层厚度及其分布的白光反射光谱测量技术	樊婷马小军王宗伟王琦何智兵易勇	《强激光与粒子束》 CAS CSCD 北大核心	2021	0	在线阅读下载PDF 职称材料