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Characteristics of coal sludge slurry prepared by a wet-grinding process 被引量:4
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作者 Ma Shaolian Wu Guoguang +4 位作者 Meng Xianliang Zhou Rui Chu Ruizhi Miao Zhenyong Qi Yueming 《International Journal of Mining Science and Technology》 SCIE EI CSCD 2016年第5期947-953,共7页
Coal sludge slurry(CSS) is an alternative fuel and a potential competitive method for sludge reduction.Based on the researches of coal water slurry, we studied CSSs by using a wet-grinding process with different types... Coal sludge slurry(CSS) is an alternative fuel and a potential competitive method for sludge reduction.Based on the researches of coal water slurry, we studied CSSs by using a wet-grinding process with different types of regional municipal sludge(sludge) in an orthogonal experiment. The sludge type,sludge mixing proportion, dosage of dispersant, and grinding time were tested in this study. The results show that water content and its occurrence characteristics in the sludge have primary hindering influences on slurry ability. The range of fixed-viscosity concentrations with raw wet sludge is from 50.78%to 44.40%(by weight), while the range is from 53.35% to 51.51%(by weight) with dry sludge. All of the CSSs exhibit shear-thinning behaviors with different variation trends, especially the CSSs with more than 15%(by weight) raw wet sludge in it. Adding the same proportion of raw wet sludge increases the thixotropic properties of CSSs and the highest area of thixotropy loop is 3065 Pa/s, while the highest value of dry sludge is 1798 Pa/s. Hydrophilic group plays an important role in adsorbing water and building three-dimension networks with other particles, which is the main reason for CSS properties.Therefore, the mechanism can be used to find the way for making high quality CSS. 展开更多
关键词 Coal sludge slurry Municipal sludge wet-grinding process Fixed-viscosity concentration Hydrophilic groups
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干湿法复合工艺对婴幼儿配方乳粉质量的影响
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作者 李琳瑶 华家才 储小军 《中国乳品工业》 北大核心 2025年第3期38-43,共6页
文章探究了干湿法复合工艺生产的婴幼儿配方乳粉的质量,包括营养素的混合均匀性、加速试验营养素的衰减情况和干混前后样品的感官对比。结果表明,湿法工艺添加的12种营养素和干法工艺添加的10种营养素混合均匀度均在95%以上。加速试验... 文章探究了干湿法复合工艺生产的婴幼儿配方乳粉的质量,包括营养素的混合均匀性、加速试验营养素的衰减情况和干混前后样品的感官对比。结果表明,湿法工艺添加的12种营养素和干法工艺添加的10种营养素混合均匀度均在95%以上。加速试验中宏量营养素和脂肪酸相对较稳定,维生素中维生素A最高衰减率为11.42%,矿物质中碘的最高衰减率为11.48%,可选择成分中叶黄素的最高衰减率为10.91%,其他营养素的衰减率相对较低,对比干混前后样品感官品质无明显差异。 展开更多
关键词 干湿法复合工艺 婴幼儿配方乳粉 混合均匀性 加速试验 感官评鉴
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天然生胶初加工装备现状及趋势
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作者 王玲玲 黄敞 +5 位作者 黎土煜 梁铭坚 ZAR Ni Zaw WITTAYA Prommee 王立丰 郑勇 《现代农业装备》 2025年第1期23-28,46,共7页
天然橡胶是重要的工业原料,天然生胶初加工机械是完成天然橡胶生产的重要设备,是提高劳动生产率、减轻劳动强度和发展制胶生产的重要手段,是发展天然橡胶工业的物质基础。目前,国内外天然生胶初加工工艺主要有水线和干线2种,配套机械装... 天然橡胶是重要的工业原料,天然生胶初加工机械是完成天然橡胶生产的重要设备,是提高劳动生产率、减轻劳动强度和发展制胶生产的重要手段,是发展天然橡胶工业的物质基础。目前,国内外天然生胶初加工工艺主要有水线和干线2种,配套机械装备的单机机械化程度比较高,但整条生产线的稳定性、连续性、自动化水平不高,是天然生胶初加工高质量发展的瓶颈问题之一。该文简述了天然生胶水线和干线这2种常用的初加工工艺及主要机械装备的现状,剖析了天然生胶初加工存在的主要问题,提出了新质生产力背景下天然生胶初加工的发展趋势。 展开更多
关键词 天然生胶 水线和干线 初加工工艺 机械装备 现状与趋势
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湿法发酵小粒咖啡工艺优化及咖啡品质分析
4
作者 冯黎莎 《食品安全质量检测学报》 2025年第7期282-288,共7页
目的深入探索并优化小粒咖啡的湿法发酵工艺,同时对该工艺条件下制得的咖啡进行品质分析。方法首先对精选的小粒咖啡鲜果进行清洗与脱皮处理,随后在防水环境中引入自然微生物进行充分发酵。发酵完成后,去除黏液并进行妥善干燥,完成湿法... 目的深入探索并优化小粒咖啡的湿法发酵工艺,同时对该工艺条件下制得的咖啡进行品质分析。方法首先对精选的小粒咖啡鲜果进行清洗与脱皮处理,随后在防水环境中引入自然微生物进行充分发酵。发酵完成后,去除黏液并进行妥善干燥,完成湿法发酵全过程。在咖啡品质实验中,利用发酵罐制备实验样品,采用分光光度计测定咖啡的没食子酸、葡萄糖、咖啡因、游离氨基酸的含量值,并开展了湿法发酵环节的抗氧化性测试及感官评价实验。结果湿法发酵工艺显著优化了咖啡的各项指标,不仅香气更加浓郁持久,甜度与口感也达到完美平衡,展现出醇厚细腻的优良品质,且咖啡的抗氧化性能尤为突出。结论本研究可为市场提供更高品质的咖啡选择。 展开更多
关键词 小粒咖啡 湿法发酵 咖啡发酵工艺 品质
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家纺面料活性染料湿蒸低盐染色工艺分析
5
作者 王峰峰 《染整技术》 2025年第2期32-34,共3页
随着消费者对环保与可持续发展的关注不断增加,家纺面料染色工艺绿色化已成为纺织行业的重要研究方向,有必要探讨家纺面料活性染料湿蒸低盐染色工艺。结果表明,优化工艺参数,减少盐用量,会对染色效果、环境影响、经济效益产生影响。湿... 随着消费者对环保与可持续发展的关注不断增加,家纺面料染色工艺绿色化已成为纺织行业的重要研究方向,有必要探讨家纺面料活性染料湿蒸低盐染色工艺。结果表明,优化工艺参数,减少盐用量,会对染色效果、环境影响、经济效益产生影响。湿蒸低盐染色工艺具有优异的染色牢度,能够降低盐和废水的排放量,为进一步推广绿色染色工艺提供了实践参考。 展开更多
关键词 活性染料 湿蒸染色工艺 家纺面料
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攀西某钒钛磁铁矿废石抛尾实验
6
作者 王建平 李韦韦 +1 位作者 罗德强 吴雪红 《矿产综合利用》 2025年第1期181-187,共7页
针对攀西某钒钛磁铁矿废石,采用“干式+湿式”组合抛尾。结果表明:废石破碎至-40 mm后,采用干式抛尾,可抛出流程产率23.73%、TFe品位9.96%、TiO_(2)品位3.92%的尾矿;干抛精矿细碎至-5 mm后,采用湿式重磁拉抛尾,可抛出流程产率27.36%、TF... 针对攀西某钒钛磁铁矿废石,采用“干式+湿式”组合抛尾。结果表明:废石破碎至-40 mm后,采用干式抛尾,可抛出流程产率23.73%、TFe品位9.96%、TiO_(2)品位3.92%的尾矿;干抛精矿细碎至-5 mm后,采用湿式重磁拉抛尾,可抛出流程产率27.36%、TFe品位7.86%、TiO_(2)品位2.81%的尾矿;“干式+湿式”组合抛尾,最终抛尾率可达51.09%,精矿TFe品位提升5.56个百分点,TiO_(2)品位提升2.75个百分点,可大幅降低后续磨矿量,提高后续入选品位,降低此类资源的选矿成本。 展开更多
关键词 矿物加工工程 废石 干式抛尾 湿式抛尾
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马铃薯鲜湿面的制备及其品质评价 被引量:2
7
作者 周松超 梅新 +4 位作者 隋勇 熊添 蒋修军 范凯 施建斌 《食品安全质量检测学报》 CAS 2024年第3期26-35,共10页
目的探究不同原料配方对面团混合特性和马铃薯鲜湿面条蒸煮、质构特性的影响,并对鲜湿面配方进行优化。方法在单因素试验中研究马铃薯全粉、芦笋全粉、水、谷朊粉、魔芋胶添加量对面团混合特性以及鲜湿面的蒸煮特性和质构特性的影响,并... 目的探究不同原料配方对面团混合特性和马铃薯鲜湿面条蒸煮、质构特性的影响,并对鲜湿面配方进行优化。方法在单因素试验中研究马铃薯全粉、芦笋全粉、水、谷朊粉、魔芋胶添加量对面团混合特性以及鲜湿面的蒸煮特性和质构特性的影响,并通过正交试验确定马铃薯营养鲜湿面制备工艺;此外,比较不同配方制备的鲜湿面的消化特性和血糖生成指数。结果正交试验和验证试验结果表明,马铃薯鲜湿面在水添加量30%,马铃薯全粉添加量6%,芦笋粉添加量4%,魔芋胶添加量0.8%或0.4%时,面条的蒸煮特性和质构特性无显著差异(P>0.05),都可用于鲜湿面的制备;对比不同配方制备鲜湿面的拉伸强度、蒸煮断条率无显著差异(P>0.05),不同方法制备鲜湿面血糖生成指数均大于80,都属于高生糖指数食品。结论通过工艺优化确定了马铃薯鲜湿面最优配方,在此配方下制备的面条具有良好的蒸煮特性和质构特性,本研究可为生产马铃薯鲜湿面提供理论依据。 展开更多
关键词 马铃薯全粉 鲜湿面 工艺优化 质构特性 消化特性
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湿法橡胶改性沥青研究进展 被引量:1
8
作者 葛冬冬 姜向阳 +2 位作者 吕松涛 张洪刚 宋小金 《中外公路》 2024年第6期27-50,共24页
废旧轮胎在沥青路面中的应用不仅能有效降低资源消耗,还能显著减轻环境污染。处理废旧轮胎获得橡胶粉,通过湿法工艺与沥青共混,可作为改性剂改善沥青的性能。该文论述了湿法橡胶改性沥青的研究进展,探讨了其制备工艺、性能影响因素及改... 废旧轮胎在沥青路面中的应用不仅能有效降低资源消耗,还能显著减轻环境污染。处理废旧轮胎获得橡胶粉,通过湿法工艺与沥青共混,可作为改性剂改善沥青的性能。该文论述了湿法橡胶改性沥青的研究进展,探讨了其制备工艺、性能影响因素及改性机理。通过回顾相关研究,总结了制备过程中的关键条件及其对储存稳定性的影响。进一步分析了橡胶掺量、目数、基质沥青类型及制备参数对沥青物理和流变性能的影响,并通过谱学分析法和微观形貌分析法揭示了橡胶与沥青之间的相互作用机理。此外,还探讨了橡胶与其他改性剂复合使用对沥青性能的协同提升效果,为湿法橡胶改性沥青的进一步优化和应用提供了有益参考。最后,对湿法橡胶改性沥青在制备工艺、性能研究、改性机理方面的未来发展趋势和重点研究方向进行了展望。 展开更多
关键词 道路材料 橡胶改性沥青 湿法 制备条件 改性机理
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金属锗制备的研究进展 被引量:1
9
作者 丁志颖 陈凤阳 +3 位作者 袁兴平 赵丹 张旗 侯彦青 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第S01期338-343,共6页
锗因其红外透射率高、电磁折射率高、光电转化率高等特性,受到了广泛关注。锗因其对高科技领域的重要性、缺乏替代品以及较高的供应需求而被列入战略金属材料清单。但由于锗在矿物中存在品位低、嵌布粒度细、物相结构复杂等缺点,锗的回... 锗因其红外透射率高、电磁折射率高、光电转化率高等特性,受到了广泛关注。锗因其对高科技领域的重要性、缺乏替代品以及较高的供应需求而被列入战略金属材料清单。但由于锗在矿物中存在品位低、嵌布粒度细、物相结构复杂等缺点,锗的回收和制备普遍受到限制。近年来,许多研究通过改良现有提取制备方法或发明新方法来提升锗的回收率。本文综述了锗的生产、用途和未来需求,重点讨论了相关湿法和火法冶金工艺的优点与局限性。最后指出了新型锗的制备方法,四氯化锗氢还原短流程制备锗会成为未来的主要制备方法。 展开更多
关键词 湿法工艺 火法工艺 氢还原
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基于正交设计的鞋面革湿态染整工艺设计与优化 被引量:2
10
作者 韦永红 郭文翰 +3 位作者 李瑞强 张琪 温会涛 但卫华 《中国皮革》 CAS 2024年第5期1-7,共7页
应用正交设计方法,以坯革收缩温度、废液铬含量、坯革增厚率、撕裂力、柔软度、得革率为考察指标,对牛鞋面革湿态染整工艺的复鞣、填充、加脂工序进行设计与优化。试验结果表明,复鞣最佳工艺为醛酸复鞣剂用量6%,转动时间60 min,铬鞣剂用... 应用正交设计方法,以坯革收缩温度、废液铬含量、坯革增厚率、撕裂力、柔软度、得革率为考察指标,对牛鞋面革湿态染整工艺的复鞣、填充、加脂工序进行设计与优化。试验结果表明,复鞣最佳工艺为醛酸复鞣剂用量6%,转动时间60 min,铬鞣剂用量4%,转动时间90 min;填充最佳工艺为丙烯酸树脂用量4%,氨基树脂用量6%,合成鞣剂用量8%,植物栲胶用量4%;加脂最佳工艺为合成油用量6%,牛蹄油用量3%,卵磷脂用量4%,合成酯用量3%;最佳工艺集成后所制得的鞋面革性能满足QB/T 1873—2010的要求。 展开更多
关键词 制革工程 正交设计 鞋面革 湿态染整
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锌湿法冶炼渣污染物及综合利用研究 被引量:1
11
作者 刘安强 《世界有色金属》 2024年第10期23-25,共3页
锌湿法冶炼是一种常用的锌冶炼工艺,它在生产过程中会产生大量的渣污染物。这些渣污染物主要包含氧化锌、氧化铁、浸出渣、净化渣等。由于这些渣含有大量有价值的金属元素和资源,对其进行综合利用具有重要意义。本文通过详细分析渣污染... 锌湿法冶炼是一种常用的锌冶炼工艺,它在生产过程中会产生大量的渣污染物。这些渣污染物主要包含氧化锌、氧化铁、浸出渣、净化渣等。由于这些渣含有大量有价值的金属元素和资源,对其进行综合利用具有重要意义。本文通过详细分析渣污染物形成过程、组成及含量,介绍常用的渣污染物处理方法,探讨综合利用渣污染物的技术方法,能为相关领域提供参考,并促进该领域技术与应用的进一步发展。 展开更多
关键词 锌湿法 冶炼 渣污染物 综合利用
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响应面法优化苦荞鲜湿面工艺研究
12
作者 张馨月 张梦然 马挺军 《粮食与油脂》 北大核心 2024年第5期98-103,共6页
以挤压熟化苦荞粉和小麦粉为原料,以吸水率和蒸煮损失率为指标,分别考察苦荞粉添加量、醒发时间、加水量、水温、和面时间对苦荞鲜湿面品质的影响。在单因素试验的基础上,通过响应面法优化苦荞鲜湿面的加工工艺。结果表明:苦荞鲜湿面的... 以挤压熟化苦荞粉和小麦粉为原料,以吸水率和蒸煮损失率为指标,分别考察苦荞粉添加量、醒发时间、加水量、水温、和面时间对苦荞鲜湿面品质的影响。在单因素试验的基础上,通过响应面法优化苦荞鲜湿面的加工工艺。结果表明:苦荞鲜湿面的最佳工艺为以小麦与苦荞混合粉质量为基准,苦荞粉添加量51%、醒发时间20 min、加水量101%。在此条件下制得的苦荞鲜湿面吸水率为52.66%±0.75%、蒸煮损失率为1.00%±0.06%,口感爽滑黏弹,具有苦荞特有的香气,感官评价接近小麦鲜面条。 展开更多
关键词 苦荞 挤压熟化 鲜湿面 加工工艺 响应面法
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选煤厂煤炭洗选工艺改造优化研究 被引量:2
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作者 庞晓奇 《能源与节能》 2024年第3期158-161,共4页
煤炭洗选工艺是选煤厂实现高效、高质量发展的重要依据之一,煤矿企业需要结合实际情况不断改造和优化洗选工艺,最大程度地提高煤炭资源利用率,避免出现资源浪费情况。主要介绍了洗煤厂几种常见的洗选工艺,分析了煤炭洗选工艺面临的问题... 煤炭洗选工艺是选煤厂实现高效、高质量发展的重要依据之一,煤矿企业需要结合实际情况不断改造和优化洗选工艺,最大程度地提高煤炭资源利用率,避免出现资源浪费情况。主要介绍了洗煤厂几种常见的洗选工艺,分析了煤炭洗选工艺面临的问题,在此基础上提出了一些煤炭洗选工艺改造优化建议,为煤炭洗选提供参考。 展开更多
关键词 选煤厂 洗选工艺 湿法选煤 干法选煤
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西北某贫磁铁矿高效分选工艺试验
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作者 蔡毅兵 赛明雨 +1 位作者 何志强 高春庆 《现代矿业》 CAS 2024年第7期166-169,共4页
为了高效开发利用西北某贫磁铁矿石资源,在详细的矿石性质研究的基础上,进行了选矿工艺试验。试验结果表明:原矿经常规破碎—干式磁选预选—预选精矿高压辊磨(-3 mm)—湿式磁选预选—预选精矿阶段湿式磨矿—阶段湿式磁选工艺,可获得产率... 为了高效开发利用西北某贫磁铁矿石资源,在详细的矿石性质研究的基础上,进行了选矿工艺试验。试验结果表明:原矿经常规破碎—干式磁选预选—预选精矿高压辊磨(-3 mm)—湿式磁选预选—预选精矿阶段湿式磨矿—阶段湿式磁选工艺,可获得产率13.95%、全铁品位65.58%、全铁回收率60.32%、磁性铁回收率96.35%的铁精矿,较好地实现了铁矿物的回收,可为开发利用该铁矿石资源提供技术参考依据。 展开更多
关键词 磁铁矿 湿式磁选 选矿工艺
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高温组织降解设备在高等级生物安全实验室的应用与风险管控
15
作者 谭海波 石凤霞 +2 位作者 郭飞 邹国华 曹志刚 《暖通空调》 2024年第8期197-200,66,共5页
对高温组织降解设备在高等级生物安全实验室中的应用进行了分析,重点介绍了该设备的原理和技术性能,并以实际运行的121个批次(共计约203 t)的动物残体的无害化处理过程数据为基础,整理、总结了高温组织降解设备在实际使用过程中的性能... 对高温组织降解设备在高等级生物安全实验室中的应用进行了分析,重点介绍了该设备的原理和技术性能,并以实际运行的121个批次(共计约203 t)的动物残体的无害化处理过程数据为基础,整理、总结了高温组织降解设备在实际使用过程中的性能和特点,针对高温组织降解设备在实际运行维护过程中的关键风险点进行了识别并给出了具体的管控措施。 展开更多
关键词 高等级生物安全实验室 高温组织降解设备 碱解 风险识别 管控措施 湿法工艺 干法工艺
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芯片制造高温SPM清洗技术流场分析
16
作者 李俊 雷光宇 《电子工艺技术》 2024年第6期15-18,共4页
随着集成电路技术的不断发展,对芯片清洗工艺的要求也越来越高。高温SPM清洗技术作为一种先进的湿法清洗工艺,在芯片制造中发挥着重要作用。首先介绍了芯片制造中的湿法工艺,重点阐述了高温SPM清洗技术的原理和应用,分析了影响工艺性能... 随着集成电路技术的不断发展,对芯片清洗工艺的要求也越来越高。高温SPM清洗技术作为一种先进的湿法清洗工艺,在芯片制造中发挥着重要作用。首先介绍了芯片制造中的湿法工艺,重点阐述了高温SPM清洗技术的原理和应用,分析了影响工艺性能的因素,并对高温SPM清洗的流场进行了建模与仿真分析,为高温SPM清洗设备的优化设计提供了理论依据。 展开更多
关键词 集成电路 湿法工艺 SPM清洗 流场
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石英湿法腐蚀及谐振器制作工艺研究
17
作者 龙雪松 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第3期328-332,共5页
随着石英谐振器向小型化、高频化发展,其尺寸越来越小,因此,低成本的谐振器精准制造工艺尤为重要。该文对石英晶片进行腐蚀实验以确定精准制造矩形谐振器的最佳工艺条件,研究了温度对金属保护层完整性的影响,以及腐蚀时间对石英表面粗... 随着石英谐振器向小型化、高频化发展,其尺寸越来越小,因此,低成本的谐振器精准制造工艺尤为重要。该文对石英晶片进行腐蚀实验以确定精准制造矩形谐振器的最佳工艺条件,研究了温度对金属保护层完整性的影响,以及腐蚀时间对石英表面粗糙度的影响。腐蚀速率稳定且适中,有利于谐振器的精准制造。设计了石英谐振器工艺流程,得到质量较好的超薄矩形AT切高频石英谐振器。分析其尺寸误差产生的原因,并总结了一套精度较好的湿法腐蚀工艺,有望采用低成本手段使矩形谐振器的厚度小于10μm。 展开更多
关键词 AT切石英 湿法腐蚀 制作工艺
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基于NSGA-Ⅱ算法的宽带激光熔覆工艺参数优化
18
作者 王军华 梁向源 +4 位作者 路妍 许俊飞 彭建军 徐彦伟 颉潭成 《激光杂志》 CAS 北大核心 2024年第7期220-226,共7页
为了获得17-4PH沉淀硬化不锈钢粉末在宽带激光熔覆过程中的最优工艺参数,本研究将激光功率、预热温度、扫描速度作为可控输入参数,以熔覆层宽高比、饱和度、润湿角作为输出,进行三因素五水平正交试验。通过麦夸特算法构建的响应值非线... 为了获得17-4PH沉淀硬化不锈钢粉末在宽带激光熔覆过程中的最优工艺参数,本研究将激光功率、预热温度、扫描速度作为可控输入参数,以熔覆层宽高比、饱和度、润湿角作为输出,进行三因素五水平正交试验。通过麦夸特算法构建的响应值非线性数学模型,探究优化变量及其权重排序对熔覆层宏观形貌的影响规律,并采用第二代非支配遗传算法进行寻优,输出具有Pareto最优前沿,确定最优工艺参数。结果表明:优化后的最优工艺参数组合为激光功率1878 W,扫描速度14 mm/s,预热温度200℃,此时获得的熔覆层宽高比32.08,饱和度0.76,润湿角度10.2°。优化后的结果输出平均误差小于5%。 展开更多
关键词 宽带激光熔覆 NSGA-Ⅱ 工艺参数优化 宽高比 饱和度 润湿角
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石化难降解废水的高级氧化预处理技术
19
作者 周斌 《齐鲁石油化工》 2024年第4期338-342,共5页
石化污水通常具有组分复杂、难降解的问题,单纯采用生物法处理难以达到预期目的。将化学预处理与生化结合,即在生物处理前,首先利用化学手段将难降解污染物转化为易生化物质具有较好的应用效果。综述了国内对石化废水的4种预处理工艺,... 石化污水通常具有组分复杂、难降解的问题,单纯采用生物法处理难以达到预期目的。将化学预处理与生化结合,即在生物处理前,首先利用化学手段将难降解污染物转化为易生化物质具有较好的应用效果。综述了国内对石化废水的4种预处理工艺,包括光催化氧化法、芬顿氧化法、湿式氧化法和臭氧氧化法的作用机理与应用情况。鉴于各工艺在降解有机物能力上的显著差异,根据废水特性(如有机物浓度、毒性、水温、压力等)提出了适配的预处理工艺建议。 展开更多
关键词 石化废水 光催化氧化法 芬顿氧化法 湿式氧化法 臭氧氧化法
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InAs/GaSb超晶格台面刻蚀工艺研究综述
20
作者 张翔宇 蒋洞微 +1 位作者 贺雯 王金忠 《航空兵器》 CSCD 北大核心 2024年第5期41-49,共9页
本文综述了InAs/GaSb超晶格台面刻蚀工艺研究。从湿法和干法刻蚀的物理化学机理以及参数调控等方面进行分析,旨在阐明工艺条件对台面形貌的影响,以抑制带隙较窄的长波和甚长波超晶格表面漏电流。结果表明,湿法刻蚀中恰当的腐蚀液配比可... 本文综述了InAs/GaSb超晶格台面刻蚀工艺研究。从湿法和干法刻蚀的物理化学机理以及参数调控等方面进行分析,旨在阐明工艺条件对台面形貌的影响,以抑制带隙较窄的长波和甚长波超晶格表面漏电流。结果表明,湿法刻蚀中恰当的腐蚀液配比可以实现两种组分的均匀性刻蚀,而不会导致粗糙的表面和严重的下切;干法刻蚀中,采用Cl_(2)基和CH 4基混合气体,通过调整刻蚀气体类型及比例可实现物理和化学刻蚀两个过程的平衡,保证台面侧壁平滑性和倾角的垂直度。另外,对于不同组分的超晶格,需要选择不同的工艺参数才能满足InAs和GaSb的协同性刻蚀。最后对InAs/GaSb超晶格台面刻蚀工艺作出了展望。 展开更多
关键词 INAS/GASB超晶格 湿法刻蚀 干法刻蚀 刻蚀机理 工艺优化
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