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碳纳米管聚苯胺薄膜SAWSO2传感器的实验研究 被引量：8
1
作者 文常保 朱长纯 +5 位作者 巨永锋 邱彦章 许宏科 胡小东 吴媛 刘君华 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2009年第2期157-160,共4页
以128°YX-LiNbO3晶体上实现的双声路声表面波(SAW)器件为载体,在器件的测量声路上制作了对SO2气体具有敏感作用的碳纳米管聚苯胺薄膜,提出了一种基于碳纳米管聚苯胺薄膜的SAW SO2气体传感器。该传感器中的双声路结构消除了因外界... 以128°YX-LiNbO3晶体上实现的双声路声表面波(SAW)器件为载体,在器件的测量声路上制作了对SO2气体具有敏感作用的碳纳米管聚苯胺薄膜,提出了一种基于碳纳米管聚苯胺薄膜的SAW SO2气体传感器。该传感器中的双声路结构消除了因外界测量条件改变引起的测量误差,提高了传感器的可靠性和准确性。利用原位法制备的碳纳米管聚苯胺增加了SO2气体的吸附面积,提高了传感器的灵敏度。实验结果表明,基于碳纳米管聚苯胺薄膜的SAW SO2气体传感器在测量范围内对各种浓度的SO2气体具有好的响应特性;当输入体积分数为1×10-6时,传感器的响应灵敏度约为8.3 kHz,比单一聚苯胺薄膜高1.8 kHz。此外,该传感器也具有更好的线性特性。 展开更多
关键词 声表面波器件 碳纳米管聚苯胺薄膜 SO2气体 传感器
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MWCNT-WO_3薄膜双声路SAW NO_2气体传感器 被引量：3
2
作者 文常保 朱长纯 +3 位作者 巨永锋 邱彦章 许宏科 刘君华 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第10期1678-1681,共4页
以金属钨粉,H2O2,CH3OH和多壁碳纳米管(MWCNT)为原料,在双声路声表面波(SAW)器件的测量声路上制作了MWCNT-WO3薄膜,提出并实现了一种MWCNT-WO3薄膜双声路SAW NO2气体传感器。由于MWCNT和WO3对NO2气体都有敏感作用,而且碳纳米管的毛细作... 以金属钨粉,H2O2,CH3OH和多壁碳纳米管(MWCNT)为原料,在双声路声表面波(SAW)器件的测量声路上制作了MWCNT-WO3薄膜,提出并实现了一种MWCNT-WO3薄膜双声路SAW NO2气体传感器。由于MWCNT和WO3对NO2气体都有敏感作用,而且碳纳米管的毛细作用、以及MWCNT的加入都增加了气体的接触面积,提高了NO2气体的吸附和敏感作用。同时,SAW器件的双声路结构消除了由于外界测量条件改变引起的测量误差,也进一步提高了传感器的可靠性和准确性。实验结果表明,该传感器对各种浓度的NO2气体具有好的响应特性,在31.2×10-9到20×10-6范围内,传感器的响应灵敏度为9.8kHz/1×10-6,比单一MWCNT或WO3薄膜对NO2气体具有更好的灵敏度和线性特性。 展开更多
关键词 声表面波器件 MWCNT WO3 NO2气体 传感器
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SAW氢传感器的研究进展 被引量：6
3
作者 周俊静 殷晨波 +1 位作者 涂善东 Daniel Sonnleithner 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2007年第3期1-3,共3页
对声表面波(SAW)氢传感器的研究目前主要集中在改善其敏感性、加快响应速度、增强稳定性以及消除温度的影响。要实现这些目标,一是改善SAW氢传感器的关键部件——敏感薄膜的性能;二是改进传感器的结构。对主要研究机构在这些方面的研究... 对声表面波(SAW)氢传感器的研究目前主要集中在改善其敏感性、加快响应速度、增强稳定性以及消除温度的影响。要实现这些目标,一是改善SAW氢传感器的关键部件——敏感薄膜的性能;二是改进传感器的结构。对主要研究机构在这些方面的研究进行了系统的综述,并提出了发展方向。 展开更多
关键词 声表面波 氢传感器 钯膜
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面向电网应用的SAW温度传感器设计 被引量：5
4
作者 王磊 刘文 卢小荣 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2012年第6期817-819,共3页
针对谐振型声表面波(SAW)传感器,研究了3种不同窗函数加权对SAW传感器谐振响应副瓣抑制的影响,仿真结果表明,凯瑟尔窗在旁瓣抑制上性能最优,阻带最小衰减达-120.2dB。同时制备了以LST切型石英为基片材料,凯瑟尔窗为加权函数的SAW温度传... 针对谐振型声表面波(SAW)传感器,研究了3种不同窗函数加权对SAW传感器谐振响应副瓣抑制的影响,仿真结果表明,凯瑟尔窗在旁瓣抑制上性能最优,阻带最小衰减达-120.2dB。同时制备了以LST切型石英为基片材料,凯瑟尔窗为加权函数的SAW温度传感器。测试和应用试验表明,所设计的传感器性能具有良好的一致性、温度频率特性和旁瓣抑制能力,能较好满足面向电网温度状态监测的应用。 展开更多
关键词 声表面波(saw) 温度传感器 谐振器 凯瑟尔窗 电网应用
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ZnO/IDT/金刚石结构SAW滤波器的设计和制作 被引量：3
5
作者 陈颖慧 郑英彬 +3 位作者 席仕伟 唐彬 王旭光 张慧 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2013年第6期443-447,478,共6页
传统材料制备的声表面波(SAW)滤波器的中心频率f大多位于较低的频段(f<500 MHz),但是无线通信频段逐渐向着高频化的方向发展,因此在SAW器件领域中引入高声速材料如金刚石以提高中心频率成为一种必然趋势。基于金刚石材料、采用ZnO/I... 传统材料制备的声表面波(SAW)滤波器的中心频率f大多位于较低的频段(f<500 MHz),但是无线通信频段逐渐向着高频化的方向发展,因此在SAW器件领域中引入高声速材料如金刚石以提高中心频率成为一种必然趋势。基于金刚石材料、采用ZnO/IDT/金刚石新型结构,设计了交错叉指结构和镜像阻抗连接结构的叉指换能器(IDT)参数。通过优化的工艺制备流程,获得了金刚石SAW滤波器样品。最后采用RF探针台对样品进行了性能测试和数据分析。测试结果表明制备的SAW滤波器样品的测试结果与理论值比较符合,交错叉指结构滤波器获得了很低的插损,镜像阻抗连接结构滤波器有效地提高了带外抑制度。样品IDT指宽2μm,SAW滤波器中心频率可达0.775 GHz。 展开更多
关键词 射频微机电系统(RFMEMS) 声表面波滤波器(saw) 金刚石 氧化锌薄膜 叉指换能器(IDT)
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SAW传感器对神经性毒剂及模拟剂的检测进展 被引量：3
6
作者 王华 杜晓松 +3 位作者 蒋亚东 谢光忠 应智花 何为 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2007年第4期7-10,共4页
基于压电效应和化学特异选择性的有机敏感材料的声表面波(SAW)传感器,因其具有体积小、响应时间快、选择性好、可集成度高等优点而成为对气体实时、在线检测的重要手段之一。介绍了SAW传感器在神经性毒剂及其模拟剂检测中的应用,重点从... 基于压电效应和化学特异选择性的有机敏感材料的声表面波(SAW)传感器,因其具有体积小、响应时间快、选择性好、可集成度高等优点而成为对气体实时、在线检测的重要手段之一。介绍了SAW传感器在神经性毒剂及其模拟剂检测中的应用,重点从SAW传感器测试电路、敏感膜材料、成膜方法及信号处理等方面介绍此领域的研究现状,并对发展趋势进行了展望。 展开更多
关键词 声表面波传感器 敏感膜 质量沉积效应 模式识别
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基于一种改进型DMS结构的极窄带SAW滤波器 被引量：3
7
作者 赵雪梅 郑泽渔 +3 位作者 董加和 伍平 陈彦光 陈正林 《压电与声光》 CAS 北大核心 2022年第2期253-255,共3页
该文采用一种改进型双模声表面波(DMS)结构来设计1.5 GHz的极窄带声表面波(SAW)滤波器。DMS结构两端的反射器采用分布式多周期加权结构能够消除在声通道上传播的多种声反射模式。为灵活设计滤波器阻带抑制及带宽指标,在DMS结构的两个叉... 该文采用一种改进型双模声表面波(DMS)结构来设计1.5 GHz的极窄带声表面波(SAW)滤波器。DMS结构两端的反射器采用分布式多周期加权结构能够消除在声通道上传播的多种声反射模式。为灵活设计滤波器阻带抑制及带宽指标,在DMS结构的两个叉指换能器(IDT)之间加入反射器。结果表明,研制的极窄带SAW滤波器中心频率为1.5 GHz,实测带宽为878.75 kHz,插入损耗为5.8 dB,阻带抑制达到45 dB。 展开更多
关键词 声表面波(saw)滤波器 极窄带 相对带宽 双模声表面波
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无线通信用SAW滤波器的分析与设计 被引量：3
8
作者 肖尚辉 徐继麟 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第5期452-455,共4页
针对声表面波滤波器基本理论及其频域传输函数,应用电网络分析与综合理论作出等效电路,并对梯型结构声表面波滤波器中单端对谐振器的特性进行了分析。根据理论分析设计出单端对谐振器,运用该结构设计了无线通信系统中移动电话用声表面... 针对声表面波滤波器基本理论及其频域传输函数,应用电网络分析与综合理论作出等效电路,并对梯型结构声表面波滤波器中单端对谐振器的特性进行了分析。根据理论分析设计出单端对谐振器,运用该结构设计了无线通信系统中移动电话用声表面波滤波器,并给出了设计结果。 展开更多
关键词 无线通信 saw滤波器 声表面波 单端对声表面波谐振器 移动通信
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基于支持向量机的SAW传感器阵列鉴别毒害气体的研究 被引量：2
9
作者 王建明 刘鑫璐 叶卫平 《北京师范大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2017年第2期159-164,共6页
采用支持向量机技术,对声表面波传感器阵列检测出的气体特征矢量和被测样本信息进行训练和分类,鉴别出被测气体中的毒害气体.实验结果验证了方案的可行性和有效性.
关键词 支持向量机 saw 传感器阵列
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SAW RFID标签在军用测试系统中的应用 被引量：2
10
作者 江城 倪世宏 徐明 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2008年第3期262-264,267,共4页
军用测试系统中设备繁多,各个设备状态不同,不便于管理,射频识别(RFID)标签能对相应的设备进行唯一性的识别。而声表面波(SAW)器件因其自身特点,可制成体积小,无线无源的RFID标签。SAW RFID标签可改进军用测试设备管理。基于SAW技术研究... 军用测试系统中设备繁多,各个设备状态不同,不便于管理,射频识别(RFID)标签能对相应的设备进行唯一性的识别。而声表面波(SAW)器件因其自身特点,可制成体积小,无线无源的RFID标签。SAW RFID标签可改进军用测试设备管理。基于SAW技术研究了SAW RFID的结构、基本原理和接收发送电路结构。研究了基于SAW RFID标签的军用测试设备的管理系统,并设计了相应的软件结构与界面。研究表明,SAW RFID标签的应用可提高军用设备测试水平和精确保障水平。 展开更多
关键词 声表面波(saw) 射频识别(RFID) 军用测试系统 应用
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基于气液相转变效应的SAW气体传感器 被引量：1
11
作者 郭希山 吴坚 王立人 《浙江大学学报（工学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第4期673-678,共6页
针对传统涂敷敏感膜的声表面波(SAW)气敏传感器存在成膜困难、选择性差、重复性差以及再生性差等问题,提出了一种基于气体气液相转变效应来检测痕量挥发性有机气体(VOCs)的SAW气体传感器.建立了气液相转换效应模型,推导出传感器灵敏度... 针对传统涂敷敏感膜的声表面波(SAW)气敏传感器存在成膜困难、选择性差、重复性差以及再生性差等问题,提出了一种基于气体气液相转变效应来检测痕量挥发性有机气体(VOCs)的SAW气体传感器.建立了气液相转换效应模型,推导出传感器灵敏度与温度、有机蒸气质量分数之间的函数关系,并建立了VOCs液相凝聚层负载下的SAW波传模型,仿真计算了波传频散和波传衰减,从理论上阐释了传感器具有高灵敏度.同时引入气相色谱(GC)分离柱作为无敏感膜涂敷SAW气体传感器的选择性虚拟列阵,以解决这种高灵敏度气体传感器用于混合VOCs测量时的选择性问题.初步的实验结果表明,该传感器系统具有灵敏度高(可检测质量分数为10-9的VOCs)、分析时间短、选择性好、微型化、成本低等优势. 展开更多
关键词 气体传感器 声表面波 气液相转变效应 挥发性有机气体
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SAW化学战剂传感器的研究进展 被引量：1
12
作者 赵以贵 刘明 牛洁斌 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2008年第9期1-3,共3页
简要叙述了声表面波(SAW)化学战剂传感器的传感原理和研究进展。详细阐述了高Q低插损SAW振荡电路的设计、敏感膜材料和成膜技术的研究进展,指出了SAW化学战剂传感器发展的趋势。
关键词 声表面波 化学传感器 敏感膜
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EPS用SAW扭矩传感器结构优化及算法 被引量：5
13
作者 李志鹏 马龙祥 +1 位作者 孟旭 史松卓 《传感器与微系统》 CSCD 2019年第1期130-133,共4页
针对市场上已有的车载电动助力转向系统(EPS)扭矩传感器存在易受噪声干扰、供电困难等缺点,结合声表面波(SAW)器件灵敏度高、抗干扰能力强等特点,提出了根据SAW原理对转向扭矩测量的方案。基于车载EPS使用环境复杂、温度变化大的特点,... 针对市场上已有的车载电动助力转向系统(EPS)扭矩传感器存在易受噪声干扰、供电困难等缺点,结合声表面波(SAW)器件灵敏度高、抗干扰能力强等特点,提出了根据SAW原理对转向扭矩测量的方案。基于车载EPS使用环境复杂、温度变化大的特点,提出了一种可以消除温度影响的EPS用SAW扭矩传感器结构设计方案。在信号处理方面,针对M-Rife算法在对频率估计时,估计结果总体会发生频率偏移和误差过大的问题,提出了一种基于Welch和迭代插值算法对M-Rife算法改进的新算法。仿真和试验结果表明:改进的算法在估计EPS用SAW扭矩传感器频率信号方面拥有较好的精度,优于单独使用M-Rife算法。 展开更多
关键词 电动助力转向系统 声表面波 频率估计 温度补偿 M—Rife算法 Welch算法 迭代插值算法
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跨层叉指换能器对复合膜SAW器件影响的研究 被引量：2
14
作者 李志鹏 孟旭 +1 位作者 王博男 张超 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2022年第3期32-35,共4页
利用COMSOL有限元软件建立了复合膜声表面波(SAW)器件结构,并将通常使用的平面叉指换能器(IDT)更新为跨层布局形式。通过COMSOL软件对新结构进行了模态分析与频率响应分析,计算了机电耦合系数,研究了异性电极间距与同性电极间距的改变... 利用COMSOL有限元软件建立了复合膜声表面波(SAW)器件结构,并将通常使用的平面叉指换能器(IDT)更新为跨层布局形式。通过COMSOL软件对新结构进行了模态分析与频率响应分析,计算了机电耦合系数,研究了异性电极间距与同性电极间距的改变对复合膜SAW器件产生的影响。结果表明:跨层IDT布局形式,可以在现有制备条件与水平不变的前提下,大幅度降低器件尺寸,提高特征频率。 展开更多
关键词 声表面波 复合膜结构 叉指换能器 跨层布局 COMSOL软件
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SAW传感器在智能血凝仪中的应用 被引量：1
15
作者 喻洪麟 吴永烽 王远干 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第4期970-972,975,共4页
针对现有血凝仪中所用的光电比浊法和双路磁珠法的不足,提出了一种新的血液凝固检测方法———声表面波(Sur-face Acoustic Wave简称SAW)传感器检测方法,介绍了检测电路和信号处理电路的结构设计和工作原理,对所用SAW传感器进行了相关... 针对现有血凝仪中所用的光电比浊法和双路磁珠法的不足,提出了一种新的血液凝固检测方法———声表面波(Sur-face Acoustic Wave简称SAW)传感器检测方法,介绍了检测电路和信号处理电路的结构设计和工作原理,对所用SAW传感器进行了相关参数的验证,对血液粘度建立了相应的数学模型,实验结果证明了SAW传感器在血凝仪中的可行性和优越性。 展开更多
关键词 声表面波 叉指换能器 瑞利波
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振动对SYK801型SAW VCO频谱性能的影响 被引量：1
16
作者 黄汉生 隆海燕 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2000年第2期68-71,74,共5页
对ＳＹＫ８０１型声表面波压控振荡器（ＳＡＷ ＶＣＯ）在振动条件下的输出频谱性能进行了初步的探索和研究。介绍了这类型振荡器的振动灵敏度系数的表达式，初步分析影响振动灵敏度系数的主要因素，提出改善振动性能的技术措施。测试... 对ＳＹＫ８０１型声表面波压控振荡器（ＳＡＷ ＶＣＯ）在振动条件下的输出频谱性能进行了初步的探索和研究。介绍了这类型振荡器的振动灵敏度系数的表达式，初步分析影响振动灵敏度系数的主要因素，提出改善振动性能的技术措施。测试结果表明所采取的技术措施对改善振荡器的振动性能是有效的。 展开更多
关键词 声表面波 压控振荡器 振动 频谱性能
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SAW多路正交码扩频调制解调器研究
17
作者 刘积学 钟先信 张勋 《电讯技术》 北大核心 2004年第5期117-119,共3页
提出了一种直接序列多路正交码扩频调制解调器的声表面波(SAW)实现方案,并给出了相应的实验结果。
关键词 正交码扩频 调制解调器 声表面波(saw) 直接序列 实现方案 实验结果
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寻呼机用SAW滤波器D281的性能分析
18
作者 陶雄强 陈抗生 +1 位作者 谢炳新 贝伟斌 《电讯技术》 北大核心 1996年第2期30-33,共4页
本文解剖了寻呼机用国外样管Ｄ２８１，并模拟了其衍射频响。实测结果表明，与数值模拟相符。
关键词 声表面波滤波器 saw滤波器 D281 寻呼机
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MEMS-SAW陀螺仪研究
19
作者 李泉溪 银兵 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2010年第11期61-63,66,共4页
采用耦合模(COM)理论对声表面波(SAW)谐振器进行数字模拟,并采用梅森(Mason)正交场模型对陀螺仪和传感器进行模拟设计,最后对SAW谐振器和SAW传感器进行实验评价。这种陀螺仪具有额外的能力,可以作为无线陀螺仪和集成在SAW加速度传感器上。
关键词 微机电系统 声表面波 陀螺仪 saw谐振器 saw传感器
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基于SAW技术的新型裁判无源通信系统
20
作者 李庆亮 邵庆龙 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2010年第12期79-81,共3页
利用声表面波(SAW)技术设计实现了一种用于裁判之间的无线无源联络系统。其基本原理是主裁判携带的收发器发射射频查询脉冲信号,边裁携带的用SAW器件实现的无源信号发生器接收到查询信号后,利用阻抗变化所引起的不同反射性,把由边裁控... 利用声表面波(SAW)技术设计实现了一种用于裁判之间的无线无源联络系统。其基本原理是主裁判携带的收发器发射射频查询脉冲信号,边裁携带的用SAW器件实现的无源信号发生器接收到查询信号后,利用阻抗变化所引起的不同反射性,把由边裁控制的按钮开关的状态调制到对查询信号的反射回波上,收发器通过对接收信号的处理获得边裁的信息。这种方法与通常的无线收发机相比,信号发生器工作在无源状态,无需电池供电,同时利用声波的延迟特性,提高了抗干扰性。实验结果表明:本方法能够有效实现无源信息传输。 展开更多
关键词 声表面波 无线通信 无源 声波反射
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