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题名电容式微加速度传感器偏置电压的设计与分析
被引量：3
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作者
胡雪梅
韩全立
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机构
河南工业职业技术学院
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出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2008年第7期92-94,98,共4页
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文摘
电容式微加速度传感器中偏置电压产生的静电力会干扰加速度传感器的测量和稳定工作条件。文中分析受到加速度信号作用时,不同偏置电压极性对电容加速度传感器稳定工作条件的影响,得到一系列变化曲线。结果表明:若偏置电压极性为正正或正负配置,其反馈是负反馈,且偏置电压极性为正负配置时,加速度传感器承受加速度冲击的能力最强。若偏置电压极性为负负或负正配置,其反馈是正反馈,偏置电压极性为负正配置时,其抗加速度冲击的能力最弱。
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关键词
电容式微加速度传感器
稳定工作范围
偏置电压极性
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Keywords
variable-capaoitance micromechanical acceleration sensor
reliable operation condition
bias voltage polarity
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名新结构的硅一体化微加速度传感器
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作者
王跃林
徐义刚
陈锋
胡鑫松
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机构
浙江大学信电系
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出处
《电子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1994年第8期36-40,共5页
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基金
国家重点自然科学基金
霍英东青年教师基金
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文摘
本文介绍了一种新结构的硅一体化微加速度传感器，理论和实验结果表明，这种传感器与传统硅微机械结构加速度传感器相比具有温度特性好、工艺简单和成品率高等优点。这种结构特别适合制作谐振传感器。
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关键词
硅
微机械结构
加速度
传感器
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Keywords
Silicon micromechanic structure
acceleration
sensor
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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