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275 nm ultraviolet laser with 351 mW continuous-wave output in a Pr:YLF laser pumped by a blue laser diode at 444.2 nm
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作者 ZHENG Quan XIAO Hui-dong +6 位作者 CHEN Xi WANG Yan WANG Yu-ning LIU Hui-zhen TIAN Dong-he WANG Jin-yan YAO Yi 《中国光学(中英文)》 北大核心 2025年第2期376-381,共6页
This paper describes what is thought to be the first generation of a continuous wave deep ultraviolet laser at 275 nm by efficient frequency doubling of a blue-diode-pumped Pr:YLF laser at 550 nm.By employing a novel ... This paper describes what is thought to be the first generation of a continuous wave deep ultraviolet laser at 275 nm by efficient frequency doubling of a blue-diode-pumped Pr:YLF laser at 550 nm.By employing a novel fast-axis collimated blue semiconductor laser as the pump source,combined with a folded cavity and innovation coating technology,and utilizing a Brewster-cut BBO crystal for intracavity frequency doubling,TEM00 mode deep UV laser radiation at 275 nm with an output power of 351 mW is obtained.This marks the first report of achieving 275 nm laser generation based on Pr:LiYF4 to date. 展开更多
关键词 CW ultraviolet laser 275 nm laser Pr:YLF frequency doubling
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面向气体绝缘设备故障检测的高灵敏SO_(2)光声气体传感器 被引量:1
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作者 周阳 李尚志 +5 位作者 袁宇鹏 董磊 崔茹悦 薛积禹 申晓雯 武红鹏 《压电与声光》 北大核心 2025年第2期384-390,共7页
针对气体绝缘开关设备(GIS)中二氧化硫(SO_(2))浓度高灵敏度检测的需求,设计并构建了一种基于LD泵浦全固态调Q激光器的紫外光声气体传感器。该传感器以中心波长为266 nm、发射功率高达36.93 mW的紫外激光器为光声信号激励光源,采用体积... 针对气体绝缘开关设备(GIS)中二氧化硫(SO_(2))浓度高灵敏度检测的需求,设计并构建了一种基于LD泵浦全固态调Q激光器的紫外光声气体传感器。该传感器以中心波长为266 nm、发射功率高达36.93 mW的紫外激光器为光声信号激励光源,采用体积仅0.39 mL的非共振光声池对微弱光声信号进行放大增强,最终通过检测光声信号实现对SO_(2)浓度的在线反演。通过优化调制频率等关键参数,传感器在室温和常压条件的SO_(2)探测灵敏度可达到286.9 ppb(在1 s积分时间内实现),且实验结果表明,当延长积分时间至100 s时,最低检测限低至9.1 ppb。该光声探测传感器具有高灵敏度、良好选择性和长期稳定性,能够为GIS设备潜在故障的早期诊断提供高效、可靠的技术支持。 展开更多
关键词 二氧化硫 痕量气体检测 光声光谱 非共振光声池 紫外激光器
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红外波段激光驱动极紫外光刻光源研究进展
3
作者 吕天皓 宋艳洁 +3 位作者 宗楠 张申金 薄勇 彭钦军 《激光技术》 北大核心 2025年第3期328-335,共8页
激光驱动等离子体产生13.5 nm的极紫外光源,用于目前最先进的光刻机,而10.6μm CO_(2)气体激光是商用极紫外光刻机的驱动光源。固体激光由于插头效率高、输出功率/能量可扩展性强等优点,有望在未来成为新一代驱动光源。归纳了产生极紫... 激光驱动等离子体产生13.5 nm的极紫外光源,用于目前最先进的光刻机,而10.6μm CO_(2)气体激光是商用极紫外光刻机的驱动光源。固体激光由于插头效率高、输出功率/能量可扩展性强等优点,有望在未来成为新一代驱动光源。归纳了产生极紫外光源的激光-等离子体相互作用的物理过程,综述了10.6μm CO_(2)气体激光器、1μm和2μm固体激光3种红外波段激光在驱动等离子体产生极紫外光和光学系统方面的研究进展,讨论了1μm和2μm固体激光器作为驱动光源的优越性。在此基础上,对红外波段激光驱动极紫外光刻光源的研究前景进行了展望。 展开更多
关键词 激光物理 极紫外光刻光源 激光-等离子体作用 固体激光器 转换效率
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激光锡等离子体极紫外光源发射光谱诊断研究
4
作者 胡桢麟 王天泽 +3 位作者 何梁 林楠 冷雨欣 陈卫标 《光谱学与光谱分析》 北大核心 2025年第7期1834-1841,共8页
由于具有发光体积小、能量转换效率高、稳定性高和非相干等特点,激光等离子体极紫外(LPP-EUV)光源在先进半导体制造与量测、材料表面分析和EUV计量学等领域应用广泛。本文开展了1μm固体激光Sn等离子体EUV光源发射光谱诊断研究。首先,... 由于具有发光体积小、能量转换效率高、稳定性高和非相干等特点,激光等离子体极紫外(LPP-EUV)光源在先进半导体制造与量测、材料表面分析和EUV计量学等领域应用广泛。本文开展了1μm固体激光Sn等离子体EUV光源发射光谱诊断研究。首先,在真空中测量了不同激光峰值功率密度下1μm激光激发固体Sn靶等离子体的13.5 nm带内辐射能量、7~24 nm EUV波段和350~750 nm可见光(VIS)波段的发射光谱,计算了能量转换效率(CE)和光谱纯度(SP),分析了激光峰值功率密度对Sn等离子体EUV光谱、VIS光谱、CE和SP的影响规律。在本实验的参数范围内,CE随着激光峰值功率密度的提升先快速增大后缓慢减小,在激光峰值功率密度为5.2×10^(11)W·cm^(-2)时达到最大值2.47%。SP随激光峰值功率密度的提升而增大,在1.5×10^(12)W·cm^(-2)时达到最大值7.52%。然后,基于Sn等离子体VIS波段的时间分辨光谱,采用萨哈-玻尔兹曼图法和斯塔克展宽法计算了等离子体起爆后60~160 ns的电子温度(T_(e))和电子密度(n_(e)),研究了真空中Sn等离子体T_(e)和n_(e)随时间的演化规律,并进一步分析了T_(e)和n_(e)对EUV波段辐射和13.5 nm带内辐射的影响规律。结果表明,激光峰值功率密度的上升会导致等离子体T_(e)和n_(e)的上升,T_(e)和n_(e)的变化影响着不同电荷态离子的分布,进而导致EUV辐射谱分布的变化。在本实验的参数范围内,随着T_(e)和n_(e)增大,CE先增大后减小,而SP一直增大。过低的T_(e)会导致Sn等离子体UTA峰位未达到13.5 nm,过高的T_(e)会导致更多的驱动激光能量转化为13.5 nm以下的EUV辐射,造成CE未达到最优。以上研究结果为固体激光驱动LPP-EUV光源的工程化研发,以及我国自主开展EUV光刻、EUV计量与检测提供了研究基础与技术支持。 展开更多
关键词 极紫外光源 激光等离子体 发射光谱诊断 等离子体温度 电子密度
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激光焦斑尺寸对极紫外辐射影响的理论研究
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作者 蓝翔 李学成 +3 位作者 杨顺熠 唐桧波 况龙钰 胡广月 《强激光与粒子束》 北大核心 2025年第5期52-66,共15页
为了解激光焦斑尺寸对极紫外转换效率影响及产生影响的物理机制,通过理论解析的方式提出了激光烧蚀平面靶产生冕区等离子体的二维瞬态膨胀模型来研究激光焦斑对极紫外光转换效率的影响。发现在激光光强7.45×10^(10) W/cm^(2)、半... 为了解激光焦斑尺寸对极紫外转换效率影响及产生影响的物理机制,通过理论解析的方式提出了激光烧蚀平面靶产生冕区等离子体的二维瞬态膨胀模型来研究激光焦斑对极紫外光转换效率的影响。发现在激光光强7.45×10^(10) W/cm^(2)、半高全宽5 ns、波长1 064 nm时,随着激光焦斑半径从60μm增大到300μm,相应地极紫外转换效率从1%增大到5.5%;而焦斑半径大于300μm后,相应地极紫外转换效率保持在5.5%。这是由于激光烧蚀平面靶产生的冕区等离子体从初始的一维膨胀到随后的二维膨胀过程决定了发射极紫外光的等离子体区的饱和尺寸,并最终决定了极紫外光的转换效率。转换效率随焦斑半径变化的趋势可以解释激光烧蚀锡靶实验观察到的物理现象。 展开更多
关键词 激光等离子体 极紫外辐射 激光焦斑尺寸 理论解析 二维膨胀
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斜切钛酸锶单晶的紫外脉冲激光感生电压特性
6
作者 刘学聪 吕志清 赵昆 《功能材料》 北大核心 2025年第1期1082-1087,共6页
采用波长为248 nm的准分子激光作为辐照光源,研究了SrTiO_(3)单晶的激光感生电压随温度的变化。原位同步辐射高能X射线衍射对SrTiO_(3)多晶颗粒进行了结构表征,在105 K附近没有发现SrTiO_(3)的结构相变。当温度从300 K降至20 K时,外加6... 采用波长为248 nm的准分子激光作为辐照光源,研究了SrTiO_(3)单晶的激光感生电压随温度的变化。原位同步辐射高能X射线衍射对SrTiO_(3)多晶颗粒进行了结构表征,在105 K附近没有发现SrTiO_(3)的结构相变。当温度从300 K降至20 K时,外加60 V偏压下,非斜切SrTiO_(3)单晶的激光感生电压峰值在105 K有一个轻微的转折,无偏压10°斜切[001]-SrTiO_(3)单晶在105 K和40 K均有较为有明显的转变。为提升响应率,给斜切单晶施加了60 V外置电压。结果表明,10°斜切[001]-SrTiO_(3)单晶在300 K的激光感生电压峰值是外加偏压非斜切和无偏压斜切单晶的6.7倍和59.3倍,而且激光感生电压峰值在105和40 K的转变更为清晰。这两个温度分别对应于SrTiO_(3)单晶的立方相-四方相转变和铁电自发极化的相变温度。 展开更多
关键词 紫外光 激光脉冲 钛酸锶 单晶 快速响应 相变
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254 nm连续紫外线与脉冲紫外激光物体表面消毒研究
7
作者 赵洁 赵蕾 +5 位作者 商怡然 吴金辉 衣颖 邓橙 祁建城 张宗兴 《中国感染控制杂志》 北大核心 2025年第3期316-322,共7页
目的对比分析连续紫外线和脉冲紫外激光对病原微生物的杀灭效果。方法采用254 nm紫外汞灯和紫外激光对大肠埃希菌和萎缩芽孢杆菌芽孢染菌玻片进行照射消毒处理,采用载体定量杀灭试验测定在不同辐照剂量下的消毒效果。结果紫外汞灯辐照... 目的对比分析连续紫外线和脉冲紫外激光对病原微生物的杀灭效果。方法采用254 nm紫外汞灯和紫外激光对大肠埃希菌和萎缩芽孢杆菌芽孢染菌玻片进行照射消毒处理,采用载体定量杀灭试验测定在不同辐照剂量下的消毒效果。结果紫外汞灯辐照剂量为245.52 mJ/cm^(2)时,大肠埃希菌和萎缩芽孢杆菌芽孢的杀灭对数值分别为5.00、2.92,平均对数杀灭剂量分别为49.10、84.08 mJ/cm^(2);而紫外激光辐照剂量分别为208.39、206.80 mJ/cm^(2)时,对两种微生物的杀灭对数值分别为6.29、3.32,平均对数杀灭剂量分别为33.13、62.29 mJ/cm^(2)。结论相较于连续紫外线,脉冲紫外激光具有更强的穿透能力,在相同的辐射剂量下对病原微生物的杀灭效果更好,可以对物体表面进行定向消杀。 展开更多
关键词 紫外线 脉冲紫外激光 连接紫外线 消毒 灭菌 杀灭对数值
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阿秒条纹时间延迟及动量振荡振幅的研究
8
作者 谢梦飞 姜维超 《光子学报》 北大核心 2025年第1期201-210,共10页
求解氦原子三维含时薛定谔方程,建立弱场近似经典解析模型,研究光电子中的阿秒条纹时间延迟和动量振荡振幅。发现阿秒条纹时间延迟和动量振荡振幅强烈依赖于极紫外脉冲的光子能量和红外脉冲的波长。阿秒条纹时间延迟对极紫外脉冲持续时... 求解氦原子三维含时薛定谔方程,建立弱场近似经典解析模型,研究光电子中的阿秒条纹时间延迟和动量振荡振幅。发现阿秒条纹时间延迟和动量振荡振幅强烈依赖于极紫外脉冲的光子能量和红外脉冲的波长。阿秒条纹时间延迟对极紫外脉冲持续时间不敏感,而动量振荡振幅随着极紫外脉冲持续时间的增加而减小。 展开更多
关键词 原子光学 强场激光物理学 红外 极紫外 光电离 超快现象
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重复频率可调窄脉宽228 nm紫外激光器 被引量:2
9
作者 王金艳 马放 +3 位作者 郑磊 田东贺 陈曦 郑权 《中国光学(中英文)》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第1期100-107,共8页
紫外激光器是研究紫外共振拉曼光谱的重要工具,拉曼信号可以通过共振拉曼效应得到增强,从而降低拉曼测量的探测极限。本文研究了一种输出波长为228 nm的窄脉宽全固态紫外激光器。首先,以Nd:YVO4作为增益介质,采用电光调Q腔倒空技术,实... 紫外激光器是研究紫外共振拉曼光谱的重要工具,拉曼信号可以通过共振拉曼效应得到增强,从而降低拉曼测量的探测极限。本文研究了一种输出波长为228 nm的窄脉宽全固态紫外激光器。首先,以Nd:YVO4作为增益介质,采用电光调Q腔倒空技术,实现了纳秒量级914 nm基频光输出。然后,经过偏硼酸锂(LBO)晶体产生二次谐波,最终经偏硼酸钡(BBO)晶体获得四次谐波228 nm紫外激光。在此基础上,进一步研究了不同重复频率时基频光和倍频光功率的变化规律,优化了紫外激光器的输出效率。实验结果表明:当总抽运功率为30 W时,在10 kHz重复频率下,可获得最高平均功率为84 mW的228 nm紫外激光输出。228 nm激光在5~25 kHz重复频率范围内连续可调,脉冲宽度保持在2.8~2.9 ns,能够满足紫外光谱检测技术领域的应用需求。 展开更多
关键词 228 nm激光器 紫外激光 腔倒空技术 二次谐波
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266 nm紫外弱聚焦激光触发伪火花开关研究 被引量:1
10
作者 聂少豪 孙国祥 +3 位作者 余锟浩 袁琪 丁卫东 王霞 《强激光与粒子束》 CAS CSCD 北大核心 2024年第11期76-83,共8页
当前对于光触发伪火花开关的研究主要集中在使用紫外激光触发,触发物理机制普遍认为是光电发射。然而,当紫外弱聚焦激光在低电场环境中照射光电材料(靶材)时,由光电发射产生的种子电子非常有限。为了进一步揭示紫外弱聚焦激光触发物理机... 当前对于光触发伪火花开关的研究主要集中在使用紫外激光触发,触发物理机制普遍认为是光电发射。然而,当紫外弱聚焦激光在低电场环境中照射光电材料(靶材)时,由光电发射产生的种子电子非常有限。为了进一步揭示紫外弱聚焦激光触发物理机制,利用266 nm紫外弱聚焦激光,搭建了开关测试实验平台和种子电子测试实验平台,研究了激光能量、开关电压、气压、靶材料、触发位置对开关触发特性的影响,分析了种子电子的来源和对触发开关的贡献。研究结果表明,在阴极背面孔边缘触发时,光电发射产生的瞬发电子不是种子电子的主要来源,与烧蚀等离子有关的超快电子才是。因此,当在阴极背面孔边缘触发时,密度和熔沸点低,易烧蚀的材料更适合作为紫外弱聚焦激光触发伪火花开关的靶材。经测试,当在阴极背面孔边缘触发,工作电压为−15 kV,气压为80 Pa(氦气)时,以镁为靶材的开关能实现稳定触发导通的最低激光能量为2 mJ,远低于铜(6 mJ)和钼(8 mJ)。此外,在上述相同条件下,激光在开关阴极孔内壁触发时,触发时延和抖动分别为36.9 ns和1.41 ns,远低于在阴极背面孔边缘触发时的时延和抖动(116.4 ns和5.39 ns)。 展开更多
关键词 紫外弱聚焦激光 伪火花开关 触发特性 超快电子 靶材料
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深紫外飞秒脉冲准分子激光放大同步特性研究
11
作者 范军 杨礼昭 +4 位作者 游利兵 戎丹丹 王宏伟 寸超 方晓东 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第2期278-288,共11页
为了获得大能量的深紫外超短脉冲,将深紫外飞秒种子光通过ArF准分子放大器进行放大。通过对种子光信号和准分子放大器的荧光信号进行测量,在不同环境下,针对种子光信号与放大器放电信号之间的延时对脉冲单程放大特性的影响进行了研究。... 为了获得大能量的深紫外超短脉冲,将深紫外飞秒种子光通过ArF准分子放大器进行放大。通过对种子光信号和准分子放大器的荧光信号进行测量,在不同环境下,针对种子光信号与放大器放电信号之间的延时对脉冲单程放大特性的影响进行了研究。研究结果表明,放大系统实现了种子光与准分子放大器的低抖动精确同步,空气和氮气环境下脉冲能量最高分别为197.2μJ和312.6μJ,且氮气环境下脉冲展宽较空气平均降低99.2 fs。相较于空气环境,氮气环境可有效降低深紫外超短脉冲的能量衰减与脉冲展宽,且同步抖动对放大特性影响较小。 展开更多
关键词 激光技术 同步特性 准分子放大 深紫外飞秒激光
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氩气环境对激光诱导击穿光谱法检测钢中C、P、S元素的影响研究
12
作者 张佳伟 吴东升 +2 位作者 周洋 李洋 孙兰香 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第10期2834-2839,共6页
激光诱导击穿光谱技术在实现钢水成分在线分析上展现了强大的应用潜力。然而,在测量钢中非常重要的C、P、S组成元素时,由于其有效的发射谱线无法在空气中远距离传输,这些元素的探测一直是个挑战。该论文工作研究了在1.5 m长探枪下,探枪... 激光诱导击穿光谱技术在实现钢水成分在线分析上展现了强大的应用潜力。然而,在测量钢中非常重要的C、P、S组成元素时,由于其有效的发射谱线无法在空气中远距离传输,这些元素的探测一直是个挑战。该论文工作研究了在1.5 m长探枪下,探枪中氩气环境对检测钢中C、P、S元素的影响规律,发现氩气流量过大或过小都不利于光谱测量,在气流量设置为11 L·min^(-1)时,获得的光谱最稳定且谱线强度最大。使用14个标准钢样本,在最优气流量下对C、P、S三种元素实现了明显检出以及定量分析。通过内标标定后,三种元素获得的检出限(LOD)分别为0.009%、0.04%、0.015%,相对标准偏差(RSD)分别为2.34%、1.05%、1.01%,相关系数(R)分别为0.998、0.997、0.987,均方根误差(RMSE)分别为0.02%、0.02%、0.03%。该论文研究成果验证了该探枪设计的有效性,为实现钢水成分中C、P、S在线分析提供了重要的设计依据。 展开更多
关键词 激光诱导击穿光谱 真空紫外光谱 长距离 氩气流量 元素检测
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有源区掺杂的AlGaN基深紫外激光二极管性能优化
13
作者 尹孟爽 张傲翔 +4 位作者 张鹏飞 贾李亚 王芳 刘俊杰 刘玉怀 《原子与分子物理学报》 北大核心 2024年第3期170-175,共6页
为了改善深紫外激光二极管的性能,本文提出了有源区量子势垒n掺杂、p掺杂和n-p掺杂三种结构.利用Crosslight软件,对原始结构和有源区掺杂的三种结构进行仿真研究,比较四种结构的P-I特性曲线、V-I特性曲线、载流子浓度、辐射复合速率和... 为了改善深紫外激光二极管的性能,本文提出了有源区量子势垒n掺杂、p掺杂和n-p掺杂三种结构.利用Crosslight软件,对原始结构和有源区掺杂的三种结构进行仿真研究,比较四种结构的P-I特性曲线、V-I特性曲线、载流子浓度、辐射复合速率和能带图.仿真结果表明,有源区量子势垒n-p掺杂结构的性能更优,其阈值电压和阈值电流分别为4.40V和23.8mA;辐射复合速率达到1.64×10^(28)cm^(-3)/s;同一注入电流下电光转换效率达到42.1%,比原始结构增加了3.9%;改善了深紫外激光二极管的工作性能. 展开更多
关键词 ALGAN 有源区 量子势垒 掺杂 深紫外激光二极管
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掺铽氟化物晶体可见光激光器研究进展
14
作者 刘子琪 徐学森 +1 位作者 蒋艳梅 郭永瑞 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第11期1871-1882,共12页
掺铽氟化物晶体激光器由于可直接产生覆盖500~700 nm可见光波段激光输出,相对于传统变频可见光激光器,具有结构紧凑、转换效率高等优势,因此在科学研究和工业领域具有广阔的应用前景。当前,掺铽氟化物晶体可见光激光器发展的关键在于提... 掺铽氟化物晶体激光器由于可直接产生覆盖500~700 nm可见光波段激光输出,相对于传统变频可见光激光器,具有结构紧凑、转换效率高等优势,因此在科学研究和工业领域具有广阔的应用前景。当前,掺铽氟化物晶体可见光激光器发展的关键在于提升激光输出功率。本文首先从掺铽氟化物晶体的基质、晶体结构及光谱特性等方面展开介绍;然后,重点分析了基于倍频的光泵浦半导体激光器(2ω-OPSL)和可见激光二极管(LD)泵浦的掺铽氟化物晶体可见光激光器在连续激光、脉冲激光和深紫外激光输出方面的发展历程;最后,分析了掺铽氟化物晶体可见光激光器当前存在的问题并展望了该激光器的发展前景。 展开更多
关键词 掺铽氟化物晶体 可见光激光器 连续激光 脉冲激光 深紫外激光
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掩模辅助激光切割PDMS的工艺实验研究
15
作者 齐立涛 刘津先 +1 位作者 马丽丽 李存涛 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2024年第5期691-697,共7页
为了提高紫外纳秒固体激光切割聚二甲基硅氧烷(PDMS)的加工质量,提出了一种掩模辅助激光切割PDMS的方法。采用聚酰亚胺薄膜作为掩模材料,进行了无掩模及不同厚度掩模下紫外纳秒固体激光切割PDMS实验,分析了PDMS材料表面微裂纹的形成机理... 为了提高紫外纳秒固体激光切割聚二甲基硅氧烷(PDMS)的加工质量,提出了一种掩模辅助激光切割PDMS的方法。采用聚酰亚胺薄膜作为掩模材料,进行了无掩模及不同厚度掩模下紫外纳秒固体激光切割PDMS实验,分析了PDMS材料表面微裂纹的形成机理,获得了激光主要工艺参数对微槽的槽深、槽宽及加工质量的影响规律。结果表明,掩模条件下激光切割PDMS的表面加工质量较好,无微裂纹产生且玻璃态转化较少;槽深和槽宽均随激光脉冲能量、扫描速率的增加而增大;掩模厚度为15μm和50μm、扫描速率为40μm/s和50μm/s、脉冲能量高于0.40 mJ时,微槽表面热影响区较小。本研究为提高紫外纳秒固体激光切割PDMS的加工质量提供了一种方法。 展开更多
关键词 激光技术 紫外纳秒固体激光加工 聚二甲基硅氧烷 工艺实验 聚酰亚胺掩模 加工质量
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可磁场调控的三维自组装结构及其应用
16
作者 张聪 李瑞 +1 位作者 张亚超 陈超 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2024年第1期12-16,共5页
机械力诱导平面薄膜自组装为三维结构是一种重要的结构成型方法。本文通过飞秒激光将聚合物薄膜切割为二维图案化结构,并利用紫外光刻在二维结构上加工磁性层,随后经机械力诱导自组装为三维磁响应结构,并探讨了该方法制作的结构在仿生... 机械力诱导平面薄膜自组装为三维结构是一种重要的结构成型方法。本文通过飞秒激光将聚合物薄膜切割为二维图案化结构,并利用紫外光刻在二维结构上加工磁性层,随后经机械力诱导自组装为三维磁响应结构,并探讨了该方法制作的结构在仿生抓手、仿生舌头等方面的应用。仿真结果表明:通过有限元分析可精确预测二维平面结构在机械力诱导自组装后三维结构形貌。实验表明:三维结构依托其上磁性层可对外界磁场做出快速响应,实现对三维自组装结构的可逆非接触形貌调控。 展开更多
关键词 磁响应 自组装 飞秒激光 紫外光刻 仿生
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He-Ne激光对小麦幼苗增强UV-B辐射损伤修复的影响 被引量:31
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作者 韩榕 王勋陵 +1 位作者 岳明 齐智 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第10期1182-1187,共6页
采用 He-Ne激光 ( 5m W/ mm2 )来辐照处理经增强 UV-B( 1 0 .8k J· m- 2 · d- 1)辐射损伤的小麦幼苗 ,通过荧光光谱测定其中双链 DNA( ds DNA)的含量 ,分析研究了 He-Ne激光对小麦 DNA UV-B损伤的切除修复的影响和机制 ,以探... 采用 He-Ne激光 ( 5m W/ mm2 )来辐照处理经增强 UV-B( 1 0 .8k J· m- 2 · d- 1)辐射损伤的小麦幼苗 ,通过荧光光谱测定其中双链 DNA( ds DNA)的含量 ,分析研究了 He-Ne激光对小麦 DNA UV-B损伤的切除修复的影响和机制 ,以探明激光对 UV-B损伤的修复途径及机制 .结果表明 :He-Ne激光能明显增强 UV-B辐射处理后小麦种子的萌发力 ;小麦对 UV-B辐射损伤具有一定的切除修复能力 ,切除修复的高峰期发生在 UV-B辐射后 4~ 6 h内 ;He-Ne激光主要通过促进小麦的切除修复途径影响小麦对 UV-B损伤的修复 ,而且能增强小麦的切除修复能力 ,其促进作用在修复高峰期 ( 5h)表现尤为明显 . 展开更多
关键词 小麦 UV-B HE-NE激光 DNA 损伤修复 幼苗 辐射损伤
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几种典型石油类污染物紫外激光诱导荧光光谱特性研究 被引量:20
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作者 冯巍巍 王锐 +2 位作者 孙培艳 高振会 陈令新 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2011年第5期1168-1170,共3页
为实现海岸带石油类污染物的快速与非接触性检测,文章基于激光诱导荧光探测技术,利用紫外激光作为激发光源,建立了石油类污染物荧光探测系统。利用此系统测量了多种石油类样品的荧光光谱信号,结果表明,不同种类的石油样品荧光信号存在... 为实现海岸带石油类污染物的快速与非接触性检测,文章基于激光诱导荧光探测技术,利用紫外激光作为激发光源,建立了石油类污染物荧光探测系统。利用此系统测量了多种石油类样品的荧光光谱信号,结果表明,不同种类的石油样品荧光信号存在较大差异,因此,荧光光谱可以作为石油类污染物分类识别的一种依据。 展开更多
关键词 石油污染 紫外激光 激光诱导荧光 海岸带环境监测
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高效率LD端面抽运准连续355nm激光器 被引量:7
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作者 李玉瑶 王菲 +2 位作者 焦正超 车英 王晓华 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第3期332-336,共5页
报道了一台激光二极管(LD)端面抽运Nd∶YVO4晶体腔内倍频和腔外和频相结合的声光调Q准连续355 nm紫外激光器。采用LD端面抽运双侧翼键合YVO4基质的Nd∶YVO4晶体,在腔内置入Ⅰ类相位匹配的LiB3O5(LBO)晶体进行倍频实现1 064 nm和532 nm... 报道了一台激光二极管(LD)端面抽运Nd∶YVO4晶体腔内倍频和腔外和频相结合的声光调Q准连续355 nm紫外激光器。采用LD端面抽运双侧翼键合YVO4基质的Nd∶YVO4晶体,在腔内置入Ⅰ类相位匹配的LiB3O5(LBO)晶体进行倍频实现1 064 nm和532 nm双波长准连续激光输出,通过消色差透镜将双波长激光聚焦耦合到Ⅱ类相位匹配的LBO晶体中进行和频,并采用双向和频光路,获得了高效率、高光束质量、高重复频率的准连续355 nm紫外激光输出。在抽运功率为28.6 W、重复频率为20 kHz时,355 nm激光最大输出功率4.2 W,脉宽为20.6 ns,光-光转换效率为14.7%,激光器光束质量因子Mx2和My2分别为1.29和1.23。 展开更多
关键词 全固态激光器 355 nm紫外激光器 端面抽运 声光调Q 和频
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激光等离子体13.5 nm极紫外光刻光源进展 被引量:23
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作者 宗楠 胡蔚敏 +5 位作者 王志敏 王小军 张申金 薄勇 彭钦军 许祖彦 《中国光学》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第1期28-42,共15页
半导体产业是高科技、信息化时代的支柱。光刻技术,作为半导体产业的核心技术之一,已成为世界各国科研人员的重点研究对象。本文综述了激光等离子体13.5 nm极紫外光刻的原理和国内外研究发展概况,重点介绍了其激光源、辐射靶材和多层膜... 半导体产业是高科技、信息化时代的支柱。光刻技术,作为半导体产业的核心技术之一,已成为世界各国科研人员的重点研究对象。本文综述了激光等离子体13.5 nm极紫外光刻的原理和国内外研究发展概况,重点介绍了其激光源、辐射靶材和多层膜反射镜等关键系统组成部分。同时,指出了在提高激光等离子体13.5 nm极紫外光源输出功率的研究进程中所存在的主要问题,包括提高转换效率和减少光源碎屑。特别分析了目前已实现百瓦级输出的日本Gigaphoton公司和荷兰的ASML公司的极紫外光源装置。最后对该项技术的发展前景进行了总结与展望。 展开更多
关键词 13.5 nm极紫外光刻技术 激光等离子体 极紫外光源 转换效率 光源碎屑 预脉冲激光
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