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衬底温度对ZnO薄膜生长过程及微观结构的影响研究被引量：13: 1; 作者边继明李效民 +1 位作者高相东于伟东《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第3期641-646,共6页; 以醋酸锌水溶液为前驱体,采用改进的超声喷雾热解法在Si(100)衬底上沉积ZnO薄膜,以X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)等手段分析所得ZnO薄膜的晶体结构和微观形貌,着重考察了衬底温度对ZnO薄膜生长过程及微观结构的影响.结果表明,在衬底温... 展开更多; 关键词氧化锌薄膜超声雾化热分解; 在线阅读下载PDF 职称材料

超声喷雾热解法制备ZnO薄膜及性能研究被引量：5: 2; 作者周佳韩高荣《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第4期576-579,共4页; 以醋酸锌水溶液为前驱体溶液，使用自制的超声喷雾热解系统在玻璃基板上制备得到了ZnO薄膜。经X射线衍射（XRD），扫描电镜（SEM）分析得到ZnO薄膜的晶体结构和微观形貌。测试结果表明，ZnO薄膜为六角纤锌矿结构，在450～500℃下制备的... 展开更多; 关键词 ZNO 超声喷雾热解法取向生长 XRD; 在线阅读下载PDF 职称材料

超声雾化气相沉积法制备ZnO薄膜被引量：2: 3; 作者温媛杨成韬张树人《压电与声光》 CSCD 北大核心 2007年第3期311-314,共4页; 采用超声雾化气相沉积工艺,以醋酸锌水溶液为前驱体溶液,在SiO2/Si衬底上成功的制备出ZnO薄膜。通过X-射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)对所得ZnO薄膜的晶体结构和微观形貌进行分析,发现随着衬底温度升高,ZnO薄膜c轴取... 展开更多; 关键词氧化锌薄膜超声雾化; 在线阅读下载PDF 职称材料

超声喷雾热解法制备CeO_2薄膜及性能研究被引量：1: 4; 作者刘晨刘胜利 +2 位作者王海云程杰李兴鳌《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第11期3019-3024,共6页; 以硝酸铈(Ce(NO_3)_3·6H_2O)水溶液为前驱溶液,采用自制超声喷雾热解装置在石英衬底上沉积制备CeO_2薄膜,并通过X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、紫外可见分光光度计等分析薄膜晶体结构、微观形貌及光学特性。结果表明,随着沉积温... 展开更多; 关键词 CEO2 择优生长取向超声喷雾热解透过率; 在线阅读下载PDF 职称材料

前驱体浓度对超声雾化热解法制备ZnO薄膜性能的影响被引量：1: 5; 作者周佳韩高荣李敏睿《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第1期120-122,共3页; 采用超声雾化技术,以醋酸锌水溶液为前驱体溶液,在加热的玻璃衬底上制备得到ZnO薄膜。研究了不同前驱体溶液浓度和不同加热温度条件下制得的ZnO薄膜的微观结构和光学性能。测试结果表明,ZnO薄膜为六角纤锌矿结构,在合适的条件下可以制... 展开更多; 关键词 ZNO 超声雾化热解法取向生长; 在线阅读下载PDF 职称材料

Cd_(1-x)Zn_xS薄膜结构表征与光电化学性能研究被引量：1: 6; 作者谢锐郭烈锦《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第6期936-940,共5页; 利用超声喷雾热分解方法在ITO导电玻璃上成功制备了高质量低成本的Cd1-xZnxS薄膜,并利用X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、紫外可见光谱(UV-vis)等表征手段对其进行了结构、形貌和光学性质表征,并采用锁相放大技术研究了Cd1-xZnxS电极的... 展开更多; 关键词喷雾热分解光电化学硫锌镉氢半导体; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名衬底温度对ZnO薄膜生长过程及微观结构的影响研究被引量：13: 1; 作者边继明李效民高相东于伟东; 机构中国科学院上海硅酸盐研究所高性能陶瓷和超微结构国家重点实验室; 出处《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第3期641-646,共6页; 基金国家"973"基金(2002CB613306) 上海市科技发展基金(022261035); 文摘以醋酸锌水溶液为前驱体,采用改进的超声喷雾热解法在Si(100)衬底上沉积ZnO薄膜,以X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)等手段分析所得ZnO薄膜的晶体结构和微观形貌,着重考察了衬底温度对ZnO薄膜生长过程及微观结构的影响.结果表明,在衬底温度为500℃下所得ZnO薄膜表面均匀光滑,属六方纤锌矿结构,且沿c轴择优生长,晶粒尺寸的为40～50nm;衬底温度对ZnO薄膜生长过程影响显著,随衬底温度的升高,薄膜生长速率存在一极限值,且ZnO薄膜的c轴取向趋势增强,晶粒尺寸得到细化.; 关键词氧化锌薄膜超声雾化热分解; Keywords zinc oxide thin film ultrasonic spray pyrolysis (usp); 分类号 O482 [理学—固体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名超声喷雾热解法制备ZnO薄膜及性能研究被引量：5: 2; 作者周佳韩高荣; 机构浙江大学材化学院材料系硅材料国家重点实验室; 出处《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第4期576-579,共4页; 基金国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2001AA320202); 文摘以醋酸锌水溶液为前驱体溶液，使用自制的超声喷雾热解系统在玻璃基板上制备得到了ZnO薄膜。经X射线衍射（XRD），扫描电镜（SEM）分析得到ZnO薄膜的晶体结构和微观形貌。测试结果表明，ZnO薄膜为六角纤锌矿结构，在450～500℃下制备的薄膜显示出良好的结晶性能，并且沿（002）晶面择优取向生长，薄膜具有优良的均匀性和致密性。同时，制备得到的薄膜在可见光区也表现出80％以上的高透过率。; 关键词 ZNO 超声喷雾热解法取向生长 XRD; Keywords ZnO ultrasonic spray pyrolysis （usp） preferential orientation XRD; 分类号 TN304.2 [电子电信—物理电子学] O484.1 [理学—固体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名超声雾化气相沉积法制备ZnO薄膜被引量：2: 3; 作者温媛杨成韬张树人; 机构电子科技大学电子薄膜与集成器件重点实验室; 出处《压电与声光》 CSCD 北大核心 2007年第3期311-314,共4页; 基金国家"九七三"计划基金资助项目(51310Z); 文摘采用超声雾化气相沉积工艺,以醋酸锌水溶液为前驱体溶液,在SiO2/Si衬底上成功的制备出ZnO薄膜。通过X-射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)对所得ZnO薄膜的晶体结构和微观形貌进行分析,发现随着衬底温度升高,ZnO薄膜c轴取向趋势增强,表面趋于光滑平整。研究表明,在前驱体溶液浓度为0.1 mol/L,衬底温度为320℃,载气流量为0.1 L/min,喷口到衬底的距离为60 cm、沉积30 min的实验条件下,生长出的ZnO薄膜为六方纤锌矿结构,且具有的高度c轴取向。; 关键词氧化锌薄膜超声雾化; Keywords zinc oxide thin film ultrasonic spray pyrolysis （usp）; 分类号 TM22 [一般工业技术—材料科学与工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名超声喷雾热解法制备CeO_2薄膜及性能研究被引量：1: 4; 作者刘晨刘胜利王海云程杰李兴鳌; 机构南京邮电大学电子科学与工程学院南京大学(苏州)高新技术研究院南京邮电大学理学院先进功能陶瓷研究中心南京邮电大学材料科学与工程学院; 出处《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第11期3019-3024,共6页; 基金江苏省自然科学基金青年基金(BK20130376 BK20130855) +5 种基金国家自然科学基金(51172110 11405089) 南邮校级科研项目(NY214131); 文摘以硝酸铈(Ce(NO_3)_3·6H_2O)水溶液为前驱溶液,采用自制超声喷雾热解装置在石英衬底上沉积制备CeO_2薄膜,并通过X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、紫外可见分光光度计等分析薄膜晶体结构、微观形貌及光学特性。结果表明,随着沉积温度升高,薄膜择优生长取向逐渐变为(200);当沉积温度为500℃时,薄膜具有良好的致密性;薄膜在可见光区表现出近85%的高透过率,同时发现随着沉积温度升高,薄膜透过率逐渐增大,光吸收逐渐由缺陷吸收转变为本征吸收。; 关键词 CEO2 择优生长取向超声喷雾热解透过率; Keywords CeO_2 preferred growth orientation ultrasonic spray pyrolysis(usp) transmittance; 分类号 O484.1 [理学—固体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名前驱体浓度对超声雾化热解法制备ZnO薄膜性能的影响被引量：1: 5; 作者周佳韩高荣李敏睿; 机构浙江大学材化学院材料系硅材料国家重点实验室; 出处《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第1期120-122,共3页; 基金国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2001AA320202); 文摘采用超声雾化技术,以醋酸锌水溶液为前驱体溶液,在加热的玻璃衬底上制备得到ZnO薄膜。研究了不同前驱体溶液浓度和不同加热温度条件下制得的ZnO薄膜的微观结构和光学性能。测试结果表明,ZnO薄膜为六角纤锌矿结构,在合适的条件下可以制备出沿(002)晶面取向生长的样品,具有优良的均匀性和致密性。同时在可见光区也表现出80％以上的高透过率。; 关键词 ZNO 超声雾化热解法取向生长; Keywords ZnO, ultrasonic spray pyrolysis （usp）, preferential orientation; 分类号 TN304.21 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名Cd_(1-x)Zn_xS薄膜结构表征与光电化学性能研究被引量：1: 6; 作者谢锐郭烈锦; 机构西安交通大学动力工程多相流国家重点实验室; 出处《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第6期936-940,共5页; 基金国家重点基础研究发展计划(2009CB220000) 国家自然科学基金(50821064 90610022); 文摘利用超声喷雾热分解方法在ITO导电玻璃上成功制备了高质量低成本的Cd1-xZnxS薄膜,并利用X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、紫外可见光谱(UV-vis)等表征手段对其进行了结构、形貌和光学性质表征,并采用锁相放大技术研究了Cd1-xZnxS电极的光电流作用谱图。结果表明,利用喷雾热分解方法能制备出结晶完好均匀致密的Cd1-xZnxS薄膜,其中CdS呈六角相,Cd1-xZnxS(0<x<1)为固溶体结构,随着Zn含量的增多Cd1-xZnxS的带隙线性增大。在0.1mol/L Na2SO3和0.1mol/L Na2S的混合电解质溶液中,0.3V(相对于饱和甘汞电极)电极电势下CdS具有最高的光电流转换效率(IPCE),在420nm处超过了20%。; 关键词喷雾热分解光电化学硫锌镉氢半导体; Keywords ultrasonic spray pyrolysis（usp） photoeletrochemistry Cd1-xZnxS, hydrogen semiconductor; 分类号 TK91 [动力工程及工程热物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	衬底温度对ZnO薄膜生长过程及微观结构的影响研究	边继明李效民高相东于伟东	《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心	2004	13	在线阅读下载PDF 职称材料
2	超声喷雾热解法制备ZnO薄膜及性能研究	周佳韩高荣	《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心	2006	5	在线阅读下载PDF 职称材料
3	超声雾化气相沉积法制备ZnO薄膜	温媛杨成韬张树人	《压电与声光》 CSCD 北大核心	2007	2	在线阅读下载PDF 职称材料
4	超声喷雾热解法制备CeO_2薄膜及性能研究	刘晨刘胜利王海云程杰李兴鳌	《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2015	1	在线阅读下载PDF 职称材料
5	前驱体浓度对超声雾化热解法制备ZnO薄膜性能的影响	周佳韩高荣李敏睿	《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心	2006	1	在线阅读下载PDF 职称材料
6	Cd_(1-x)Zn_xS薄膜结构表征与光电化学性能研究	谢锐郭烈锦	《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2011	1	在线阅读下载PDF 职称材料