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隧道式加速度传感器的制备
被引量：
2
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作者
陈德英
《传感器技术》
CSCD
2000年第6期4-6,共3页
隧道式加速度传感器具有高的灵敏度而被用来测试微小加速度，介绍了扭摆－隧道式加速度传感器的工作原理，结构特点，关键工艺及工艺制备的结果。
关键词
隧道式加速度传感器
扭摆式
工艺制备
工作原理
在线阅读
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职称材料
题名
隧道式加速度传感器的制备
被引量：
2
1
作者
陈德英
机构
东南大学微电子中心
出处
《传感器技术》
CSCD
2000年第6期4-6,共3页
文摘
隧道式加速度传感器具有高的灵敏度而被用来测试微小加速度，介绍了扭摆－隧道式加速度传感器的工作原理，结构特点，关键工艺及工艺制备的结果。
关键词
隧道式加速度传感器
扭摆式
工艺制备
工作原理
Keywords
tunneling - based acceleration sensor
sway
antisymmetry
preparation
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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作者
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1
隧道式加速度传感器的制备
陈德英
《传感器技术》
CSCD
2000
2
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