一种用于胎压监测的MEMS压力传感器设计 被引量：16

1

作者 张鉴 戚昊琛 +2 位作者 杨文华 黄正峰 胡智文 《电子测量与仪器学报》 CSCD 北大核心 2015年第10期1424-1430,共7页

无线胎压监测系统是近年来得到高度关注的一种汽车主动安全装置。为对胎压监测系统实现高线性的压力测量,提出了一种球冠形底部固定极板与复合膜可动上极板相结合的电容式MEMS压力传感器。该结构改变了经典的两极板接触过程,并在下极板... 无线胎压监测系统是近年来得到高度关注的一种汽车主动安全装置。为对胎压监测系统实现高线性的压力测量,提出了一种球冠形底部固定极板与复合膜可动上极板相结合的电容式MEMS压力传感器。该结构改变了经典的两极板接触过程,并在下极板底部中心设置基于深刻蚀工艺的深孔结构,使传感器几乎完全工作在线性区间。针对汽车胎压的量程,分析了复合膜厚度对极板接触状态及线性度的影响,并利用有限元分析法对结构进行了模拟与验证,最后给出了工艺流程说明。该方案的提出,可为工作于100～800 kPa的汽车胎压监测提供一种新的MEMS传感器实现方式。 展开更多

关键词 胎压监测 MEMS压力传感器 高线性 接触式 有限元分析

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高性能MEMS电容压力传感器的设计及其热分析 被引量：10

2

作者 吕浩杰 胡国清 +2 位作者 邹卫 吴灿云 陈羽锋 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第5期1166-1174,共9页

为了进一步提高接触式电容压力传感器的性能,设计了一种高性能双凹槽结构的接触式电容压力传感器,并对该传感器在高温环境中的总体性能进行了分析。推导了热传导和热弹性理论,并对影响传感器热分析的各个因素与温度的依赖关系进行了描述... 为了进一步提高接触式电容压力传感器的性能,设计了一种高性能双凹槽结构的接触式电容压力传感器,并对该传感器在高温环境中的总体性能进行了分析。推导了热传导和热弹性理论,并对影响传感器热分析的各个因素与温度的依赖关系进行了描述;在整个分析过程中,使用ANSYS软件并结合有限元方法对全尺寸传感器的热效应进行模拟。结果表明,在接触工作状态双凹槽接触式电容压力传感器的温度对输入(压力)-输出(电容)特性的影响是线性的,且线性范围内初始压力随温度的升高而降低;当温度载荷为550 K时,双凹槽结构的灵敏度为1.21×10-6pF/Pa,比传统单凹槽的0.8×10-6pF/Pa高出50%,表明该压力传感器有着非常优异的高温特性。 展开更多

关键词 双凹槽接触式电容压力传感器(DTMCPS) 热分析 有限元法

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新型接触式电容压力传感器 被引量：18

3

作者 郭强 吕浩杰 胡国清 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2008年第3期1-3,共3页

与其他类型压敏器件相比,接触式电容压力传感器(TMCPS)有着明显的优点,例如较好的线性,高灵敏度和大过载保护能力等。为了达到更好的性能,设计了一种新型的接触式电容压力传感器(DTMCPS),这种新型的结构是在传统的TMCPS的底部电极上刻... 与其他类型压敏器件相比,接触式电容压力传感器(TMCPS)有着明显的优点,例如较好的线性,高灵敏度和大过载保护能力等。为了达到更好的性能,设计了一种新型的接触式电容压力传感器(DTMCPS),这种新型的结构是在传统的TMCPS的底部电极上刻蚀了一个浅槽。与现有的接触式电容压力传感器相比,这种结构可以实现更好的线性和更大的线性范围。使用有限元分析软件对膜片的变形进行了分析并阐述了传感器的结构和工艺过程。分析结果表明这种新型结构的传感器可以在保持传统结构优点的同时实现更高的灵敏度,更好的线性和更大的线性范围。 展开更多

关键词 接触式电容压力传感器(TMCPS) 有限元分析 DTMCPS

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MEMS接触电容式高温压力传感器的温度效应 被引量：29

4

作者 郑志霞 冯勇建 《电子测量与仪器学报》 CSCD 2013年第12期1141-1147,共7页

介绍了一种基于SOI／硅片键合技术制作的接触电容式高温压力传感器结构，并对传感器的测试装置、测试方法进行详细的介绍后，对传感器进行压力测试和温度特性测试。压力测试结果表明，传感器线性工作区压力为110～280kPa，灵敏度约为0．... 介绍了一种基于SOI／硅片键合技术制作的接触电容式高温压力传感器结构，并对传感器的测试装置、测试方法进行详细的介绍后，对传感器进行压力测试和温度特性测试。压力测试结果表明，传感器线性工作区压力为110～280kPa，灵敏度约为0．14pF／kPa；温度特性测试结果表明，传感器具有正温度效应，在30～300％，传感器输出误差约为0．5％。文中还分析了热胀冷缩及介电常数温度系数对传感器温度效应的影响，以及设计了参考电容及运算放大器式传感器测量电路来消除温度效应。 展开更多

关键词 接触电容 传感器 压力测量 温度效应 运算放大器

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双动极板电容式压力敏感结构特性分析 被引量：5

5

作者 揣荣岩 张冰 +2 位作者 杨宇新 张贺 李新 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2021年第6期1-5,共5页

在接触电容式MEMS压力敏感结构基础上,为扩展线性响应范围提高线性度,提出了双动极板电容式MEMS压力敏感结构。这种结构中电容的上极板和下极板均感压可动,其可动下极板对两极板的受压接触有缓冲调节作用,改善了响应性能。使用有限元法... 在接触电容式MEMS压力敏感结构基础上,为扩展线性响应范围提高线性度,提出了双动极板电容式MEMS压力敏感结构。这种结构中电容的上极板和下极板均感压可动,其可动下极板对两极板的受压接触有缓冲调节作用,改善了响应性能。使用有限元法对结构的特性进行了仿真分析,讨论了结构参数对压力敏感结构性能的影响,结果表明双动极板电容式压力敏感结构和普通接触式相比线性响应范围可增大1倍以上,同时显著降低了非线性度。 展开更多

关键词 压力传感器 双动薄膜 电容式 接触式 线性响应

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双面接触式电容压力传感器的设计及制造工艺流程 被引量：2

6

作者 许高攀 陈广文 +1 位作者 胡国清 李志博 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2001年第9期33-35,共3页

双面接触式电容压力传感器除了具有单面接触式电容压力传感器的优点 ,还有它的特别之处 :双面接触式电容压力传感器被施加同样的压力时 ,可以得到比单面接触式电容压力传感器增大一倍的电容量和灵敏度 ,而且不会因此增加多少成本 ;工作... 双面接触式电容压力传感器除了具有单面接触式电容压力传感器的优点 ,还有它的特别之处 :双面接触式电容压力传感器被施加同样的压力时 ,可以得到比单面接触式电容压力传感器增大一倍的电容量和灵敏度 ,而且不会因此增加多少成本 ;工作时可靠性更高 ,即使一面失灵还有另一面可以正常工作。文中就双面接触式电容压力传感器的工艺进行了初步设计。 展开更多

关键词 双面接触式电容压力传感器 工艺流程 自停止腐蚀 设计 制造

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接触电容式压力传感器的设计与模拟 被引量：1

7

作者 彭韶华 周闵新 +1 位作者 秦明 黄庆安 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2003年第12期78-80,共3页

针对大气测量的气压计应用,根据接触电容式压力传感器的工作原理,优化设计了绝对压力传感器的圆形膜结构。通过有限元分析软件ANSYS进行了验证,最后讨论了这种结构的非线性度。

关键词 接触电容式压力传感器 圆形膜结构 ANSYS 非线性度 气压计

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探春宝钗管理模式的对比 被引量：6

8

作者 陈秋玲 《上海大学学报（社会科学版）》 CSSCI 1999年第6期98-101,共4页

文章从红学及管理学角度入手 ,通过对《红楼梦》第五十五、五十六回中探春、宝钗的管理模式对比分析 ,提出两者管理模式存在着本质的差别 ,认为探春运用的是“责权利相结合”的管理模式 ,而宝钗提出的则是“以人情为本”

关键词 管理模式 责权利相结合 以人情为本 人情式管理

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接触式电容微加速度传感器的设计与分析(英文)

9

作者 刘妤 陈松 顾雯雯 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2014年第2期158-161,共4页

设计了一种新型接触式电容微加速度传感器。针对传感器结构,建立了考虑接触效应的周边固支圆形膜片在载荷作用下与基底"接触"前后的简化分析模型,并给出了接触半径的计算公式。为接触式传感器的研制奠定了理论基础。

关键词 MEMS加速度传感器 接触式 电容传感 圆膜片

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非连奏法共振频率探究 被引量：1

10

作者 胥必海 《黄钟（武汉音乐学院学报）》 CSSCI 北大核心 2010年第1期151-160,共10页

与人的发声原理一样,音色决定于发声的内容和声音中的共振频率。研究国内外大量钢琴声学文献,得出不同奏法对钢琴共鸣腔产生不同影响从而产生不同音色的已知命题。在钢琴3种基本弹奏法中,选例最能代表钢琴"金属性"音色特征的... 与人的发声原理一样,音色决定于发声的内容和声音中的共振频率。研究国内外大量钢琴声学文献,得出不同奏法对钢琴共鸣腔产生不同影响从而产生不同音色的已知命题。在钢琴3种基本弹奏法中,选例最能代表钢琴"金属性"音色特征的非连奏法(non legato)为研究对象,通过"VOICE-BOX,The MATLAB toolboxfor speech processing"软件,在立式"卡瓦依"钢琴上用不同奏法和相同奏法下不同触键方式的采样、切割对比分析,用求得的物理量和趋势线形图对已知命题加以证明,探究非连奏法中触键方式的不同,对共振频率的具体影响。 展开更多

关键词 非连奏 钢琴音色 触键技巧 振动方式 共振频率

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服务设计用户接触点重塑过程中失效分析方法 被引量：1

11

作者 王伟伟 宋静玲 +3 位作者 陈健 王毅 杨延璞 廖轲 《计算机集成制造系统》 EI CSCD 北大核心 2022年第5期1524-1536,共13页

针对服务设计过程中用户接触点数量庞大,涉及范围广泛,重塑过程中失效分析指向不确定的问题,提出一种用户接触点失效分析方法,以指导用户接触点重塑方向,从而提升服务质量。该方法在传统服务设计重塑用户接触点过程的基础上,构建了服务... 针对服务设计过程中用户接触点数量庞大,涉及范围广泛,重塑过程中失效分析指向不确定的问题,提出一种用户接触点失效分析方法,以指导用户接触点重塑方向,从而提升服务质量。该方法在传统服务设计重塑用户接触点过程的基础上,构建了服务设计用户接触点失效分析与重塑模型,将用户感知当作失效因素确定权重指标,从而更加全面地考虑用户感受。识别梳理在特定服务过程中的用户接触点;对识别到的用户接触点进行重要性满意性评估分析量化,确定关键用户接触点;将用户感知作为失效因素建立失效分析模型,以全面评估关键用户接触点的失效性,进而针对用户接触点提供重塑方向。以突发公共卫生危机后企业复工人员在复工途中服务过程为例,验证了所提方法的有效性和可行性。 展开更多

关键词 用户行为 用户接触点 关键用户接触点 重要性满意性分析 失效模式与效应分析

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移动触摸设备对老年人认知卸载的影响

12

作者 金涛 何家敏 +1 位作者 王文睿 吴正新 《东北大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第12期1798-1804,共7页

老年人身体机能和认知能力的下降影响了其与移动设备的交互能力,优化移动设备的交互方式是降低老年人认知负担的有效途径.采用改进的模式复制任务,结合主观评价法,探究移动触摸设备的输入和反馈方式对老年人认知卸载的影响.结果表明,输... 老年人身体机能和认知能力的下降影响了其与移动设备的交互能力,优化移动设备的交互方式是降低老年人认知负担的有效途径.采用改进的模式复制任务,结合主观评价法,探究移动触摸设备的输入和反馈方式对老年人认知卸载的影响.结果表明,输入方式主效应显著,其中手写笔条件下的老年人卸载了更多的工作记忆;反馈方式主效应显著,其中视听觉组合反馈下的老年人卸载了更多的工作记忆;输入和反馈方式均会影响老年人的满意度,其中老年人对手写笔和视听觉组合反馈满意度最高.移动触摸设备的输入与反馈方式是影响老年人认知卸载行为的重要因素,该结论为优化移动触摸设备的交互方式、降低老年人的认知负担提供了重要的参考依据. 展开更多

关键词 移动触摸设备 老年人 认知卸载 输入方式 反馈方式

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电容触摸屏的抗共模噪声性能测试 被引量：4

13

作者 吴东梅 任新颖 《电子测量技术》 2016年第2期118-121,共4页

使用电容触摸屏的智能机插上充电器时,充电器产生的共模噪声会干扰电容屏的正常使用,严重时出现乱报点、无响应等异常。本文阐述了充电器对触摸屏的干扰原理,并根据原理设计了测试系统,使用信号源发出幅度可调的扫频信号来模拟不同充电... 使用电容触摸屏的智能机插上充电器时,充电器产生的共模噪声会干扰电容屏的正常使用,严重时出现乱报点、无响应等异常。本文阐述了充电器对触摸屏的干扰原理,并根据原理设计了测试系统,使用信号源发出幅度可调的扫频信号来模拟不同充电器的共模噪声,测量电容屏的抗共模噪声性能。实验结果表明,手机抗共模噪声能力越强,能承受的模拟噪声电压越高,这和手机插上充电器的触控体验的结果一致,证明了本测试方案的有效性。 展开更多

关键词 电容触摸屏 共模噪声 充电器 信号源

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城市道路工况全触屏模式下空调操作风险特性

14

作者 王畅 任苗 +2 位作者 葛振振 赵霞 李朝 《重庆交通大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2024年第4期110-116,共7页

针对全触屏空调操作给驾驶过程带来的潜在风险,以典型城市道路工况为对象,设计搭建了全触屏和传统人机交互两类驾驶实验平台,采集了19名被试在40、60 km/h速度情况下的空调操作过程人-车系统数据。采用单因素方差分析和线性拟合对数据... 针对全触屏空调操作给驾驶过程带来的潜在风险,以典型城市道路工况为对象,设计搭建了全触屏和传统人机交互两类驾驶实验平台,采集了19名被试在40、60 km/h速度情况下的空调操作过程人-车系统数据。采用单因素方差分析和线性拟合对数据进行分析。结果表明:与按键式相比,触屏式完成任务总时间(T TD)更长;单次注视时间(S GD)大于1.5 s的占比增大20%左右,车辆运行风险更大;方向盘转角标准差(S DSWA)更小,接近于0。单次手部操作时间(S HOD)与次任务步骤数呈正比关系;随车速增加,按键模式下次任务的单次注视时间(S GD)大于1.5 s占比减少10%左右,车辆运行风险降低;完成任务总时间(T TD)、单次注视时间(S GD)及单次手部操作时间(S HOD)的均值数据均无显著变化。因此,在全触屏交互界面普及的今天,应保留处理空调类操作任务的按键,并优化按键布局或按动效果。 展开更多

关键词 车辆工程 全触屏 空调操作模式 城市道路工况 单因素方差分析 线性拟合

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采用触摸屏技术的自助式工资信息服务系统的实现 被引量：1

15

作者 吴狄 《现代电子技术》 2011年第15期144-146,149,共4页

通过对工资信息查询需求的分析,提出了一种利用触摸屏技术为交互手段,采用C/S模式进行软件的编程设计,基于大型数据库SQL实现数据共享与查询的工资信息服务系统的实现方案。该方案的实施,解决了普遍存在的工资条发放困难、存在泄露个人... 通过对工资信息查询需求的分析,提出了一种利用触摸屏技术为交互手段,采用C/S模式进行软件的编程设计,基于大型数据库SQL实现数据共享与查询的工资信息服务系统的实现方案。该方案的实施,解决了普遍存在的工资条发放困难、存在泄露个人收入隐私的问题,为人们提供了一种操作简单、数据准确、过程私密安全、可提供纸质明细单据打印的自助式工资信息查询服务系统。 展开更多

关键词 自助服务系统 触摸屏技术 C/S模式的程序设计 工资信息服务系统

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基于本体手势-触觉感知的机器手抓取

16

作者 张晓鹏 张阳阳 +2 位作者 李莉萍 赵吉 张东彦 《无线电通信技术》 2022年第3期433-441,共9页

遥操作机器人为从事各种风险工作的人们提供智能和方便的支持,成为机器人人机交互领域中关键技术之一。而触觉感知及反馈技术能够很好地辅助操作者完成精细遥操作机器人抓握控制,研究触觉反馈在遥操作中的协同作用有助于提高机器人遥操... 遥操作机器人为从事各种风险工作的人们提供智能和方便的支持,成为机器人人机交互领域中关键技术之一。而触觉感知及反馈技术能够很好地辅助操作者完成精细遥操作机器人抓握控制,研究触觉反馈在遥操作中的协同作用有助于提高机器人遥操作性能。在基于数据手套及触觉感知阵列的遥操作机器人控制系统下,构建了包含视觉及触觉双模态的反馈体系。采用上位机实时显示的方式解析机器人作业状态,同时构建了基于电刺激的力触觉临场感反馈模型,实现对机器人灵巧手的精准控制及抓握作业情况和握力的再现,增加操作者的本体感。针对不同的用户使用情况进行了交叉验证,实验结果表明,触觉反馈技术能够提高遥操作机器人的作业性能,同时基于视-触双模态反馈技术能够实现对触觉力的大小及遥操作机器人作业状态更优的反馈性能,实现了操作者在视觉受阻碍状况下对机器人灵巧手进行遥操作并完成稳定抓取的任务。 展开更多

关键词 遥操作机器人 视-触双模态反馈 抓取 触觉临场感

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