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基于微形变分析的电容式MEMS加速度计温漂误差精密估计方法
1
作者
齐兵
程建华
+1 位作者
赵砚驰
汪籽粒
《系统工程与电子技术》
EI
CSCD
北大核心
2024年第7期2437-2445,共9页
针对传统的电容式微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)加速度计(capacitive MEMS accelerometers,CMA)温漂误差(temperature drift error,TDE)补偿方法存在非精准溯源TDE致使TDE估计精度低、反复尝试估计模型构型导致构...
针对传统的电容式微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)加速度计(capacitive MEMS accelerometers,CMA)温漂误差(temperature drift error,TDE)补偿方法存在非精准溯源TDE致使TDE估计精度低、反复尝试估计模型构型导致构建过程复杂繁琐的问题,提出基于微形变分析的CMA TDE精密补偿方法。首先,通过微形变分析内部结构精准溯源TDE,基于径向基函数神经网络(radial basis function neural network,RBFNN)构建改进型TDE精密估计模型;其次,基于专家经验和模糊理论提出Expert-Fuzzy辅助决策下TDE估计模型辨识方法,为改进模型提供有效的构型指导;然后,设计升温试验测试CMA,构建传统模型和改进模型并通过对比其输出偏置稳定性评估TDE估计性能。实验结果表明,改进模型构建过程大大简化,补偿后CMA偏置稳定性提升约35%。本方法能够更加精准地估计TDE,有效解耦硅基材料的温度依赖性并提升CMA的环境适应性。
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关键词
微机电系统
温漂误差估计
微形变分析
Expert-Fuzzy辅助决策
径向基函数神经网络
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职称材料
干涉式光纤陀螺仪温漂误差补偿系统的设计
被引量：
7
2
作者
程建华
齐兵
赵琳
《系统工程与电子技术》
EI
CSCD
北大核心
2016年第6期1383-1389,共7页
针对干涉式光纤陀螺仪温漂误差补偿准确性不高的问题,设计了基于RBF神经网络的改进型温漂误差补偿系统。根据对热致非互易相位延迟的深入分析,对不同条件下的热致非互异性相位延迟进行了定性的分析和定量的仿真;建立了基于温度、温度变...
针对干涉式光纤陀螺仪温漂误差补偿准确性不高的问题,设计了基于RBF神经网络的改进型温漂误差补偿系统。根据对热致非互易相位延迟的深入分析,对不同条件下的热致非互异性相位延迟进行了定性的分析和定量的仿真;建立了基于温度、温度变化量和温度相乘量的温漂误差模型;设计了基于升降温实验的温漂误差补偿模型辨识方法,并采用RBF神经网络精确辨识该温漂误差模型参数;基于TMS320F28335、高精度温度测量单元、解编码电路和辅助电路设计,完成了温漂误差补偿系统设计;提出了用于评估温漂误差补偿系统的均方差评估公式。论文给出了温漂误差补偿系统的设计方法和实现步骤。温补实验对比结果表明,该温漂误差补偿系统的补偿精度高、可靠性好,能够将光纤陀螺仪输出精度提高一个数量级,可广泛用于干涉式光纤陀螺仪的温漂误差补偿。
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关键词
干涉式光纤陀螺仪
温漂误差
RBF神经网络
温度乘积量
均方差评估
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职称材料
题名
基于微形变分析的电容式MEMS加速度计温漂误差精密估计方法
1
作者
齐兵
程建华
赵砚驰
汪籽粒
机构
哈尔滨工程大学智能科学与工程学院
出处
《系统工程与电子技术》
EI
CSCD
北大核心
2024年第7期2437-2445,共9页
基金
国家自然科学基金(62003108,62073093,61773132,61803115,62003109)资助课题。
文摘
针对传统的电容式微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)加速度计(capacitive MEMS accelerometers,CMA)温漂误差(temperature drift error,TDE)补偿方法存在非精准溯源TDE致使TDE估计精度低、反复尝试估计模型构型导致构建过程复杂繁琐的问题,提出基于微形变分析的CMA TDE精密补偿方法。首先,通过微形变分析内部结构精准溯源TDE,基于径向基函数神经网络(radial basis function neural network,RBFNN)构建改进型TDE精密估计模型;其次,基于专家经验和模糊理论提出Expert-Fuzzy辅助决策下TDE估计模型辨识方法,为改进模型提供有效的构型指导;然后,设计升温试验测试CMA,构建传统模型和改进模型并通过对比其输出偏置稳定性评估TDE估计性能。实验结果表明,改进模型构建过程大大简化,补偿后CMA偏置稳定性提升约35%。本方法能够更加精准地估计TDE,有效解耦硅基材料的温度依赖性并提升CMA的环境适应性。
关键词
微机电系统
温漂误差估计
微形变分析
Expert-Fuzzy辅助决策
径向基函数神经网络
Keywords
micro-electro-mechanical system(MEMS)
temperature
drift
error
(
tde
)
estimation
micro-deformation analysis
Expert-Fuzzy aided decision-making
radial basis function neural network(RBFNN)
分类号
TH714 [机械工程—测试计量技术及仪器]
TN409 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
干涉式光纤陀螺仪温漂误差补偿系统的设计
被引量：
7
2
作者
程建华
齐兵
赵琳
机构
哈尔滨工程大学自动化学院
出处
《系统工程与电子技术》
EI
CSCD
北大核心
2016年第6期1383-1389,共7页
基金
国家自然科学基金(61374007
61273081
+1 种基金
61104036)
中央高校基本科研业务费专项资金(HEUCFX41309)资助课题
文摘
针对干涉式光纤陀螺仪温漂误差补偿准确性不高的问题,设计了基于RBF神经网络的改进型温漂误差补偿系统。根据对热致非互易相位延迟的深入分析,对不同条件下的热致非互异性相位延迟进行了定性的分析和定量的仿真;建立了基于温度、温度变化量和温度相乘量的温漂误差模型;设计了基于升降温实验的温漂误差补偿模型辨识方法,并采用RBF神经网络精确辨识该温漂误差模型参数;基于TMS320F28335、高精度温度测量单元、解编码电路和辅助电路设计,完成了温漂误差补偿系统设计;提出了用于评估温漂误差补偿系统的均方差评估公式。论文给出了温漂误差补偿系统的设计方法和实现步骤。温补实验对比结果表明,该温漂误差补偿系统的补偿精度高、可靠性好,能够将光纤陀螺仪输出精度提高一个数量级,可广泛用于干涉式光纤陀螺仪的温漂误差补偿。
关键词
干涉式光纤陀螺仪
温漂误差
RBF神经网络
温度乘积量
均方差评估
Keywords
interferometric fiber optical gyroscopes（IFOG）
temperature
drift
error
s （
tde
）
radial basis function artificial neural network （RBF-ANN）
temperature
product term
mean square deviation
分类号
U666.1 [交通运输工程—船舶及航道工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于微形变分析的电容式MEMS加速度计温漂误差精密估计方法
齐兵
程建华
赵砚驰
汪籽粒
《系统工程与电子技术》
EI
CSCD
北大核心
2024
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
干涉式光纤陀螺仪温漂误差补偿系统的设计
程建华
齐兵
赵琳
《系统工程与电子技术》
EI
CSCD
北大核心
2016
7
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职称材料
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