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题名用于特殊环境的薄膜应变计的制备与表征
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作者
张丛春
康志鹏
雷鹏
闫博
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机构
上海交通大学微米/纳米加工技术国家重点实验室
上海交通大学电子信息与电气工程学院
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出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2024年第4期589-596,共8页
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基金
2023年度“慧眼行动”项目。
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文摘
使用磁控溅射制备了卡玛合金薄膜应变计,研究了退火温度对薄膜微观结构的影响,测试了薄膜的电学性能以及压阻响应特性,并进行了环境实验。结果表明,随着退火温度升高,薄膜的电阻率逐渐下降,电阻温度系数则逐渐升高,在室温下有最小的电阻温度系数(TCR),约为59.9×10^(-6)/℃,经过200℃退火处理的薄膜应变计的应变灵敏度系数(GF)为2.2,TCR为64.4×10^(-6)/℃。经历温湿循环、盐雾、霉菌试验后,薄膜的压阻特性变化不大,能耐受海洋特殊环境。
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关键词
磁控溅射
薄膜应变计
电阻温度系数
应变因子
环境实验
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Keywords
magnetron sputtering
thin-film strain gauge
resistance temperature coefficient
strain factor
environmental experiments
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分类号
TP212.11
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名膜厚对多晶硅纳米薄膜压阻温度特性的影响
被引量：3
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作者
刘晓为
潘慧艳
揣荣岩
王喜莲
李金锋
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机构
哈尔滨工业大学MEMS中心
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出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第11期2421-2425,共5页
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文摘
重掺杂多晶硅纳米薄膜具有良好的压阻温度特性,用它制作高温压阻式传感器灵敏度高、成本低,具有广阔的应用前景.为优化多晶硅纳米薄膜的压阻温度特性,本文采用低压化学气相淀积(LPCVD)技术制作了不同膜厚(30～250 nm)的多晶硅薄膜,分别测试了应变系数、薄膜电阻率与工作温度的关系.利用扫描电镜(SEM)和X射线衍射实验(XRD)对薄膜进行了表征,在此基础上结合隧道压阻模型分析了膜厚对多晶硅薄膜压阻温度特性的影响,结果表明,对于淀积温度620℃、掺杂浓度2.3×1020 cm-3的多晶硅纳米薄膜,膜厚的最佳值在80 nm厚左右.
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关键词
多晶硅纳米膜
压阻温度特性
应变系数
电阻率温度系数(TCR)
应变系数的温度系数(tcgf)
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Keywords
polysilicon nanofilm
piezoresistive temperature properties
gauge factor
temperature coefficient of resistance(TCR)
temperature coefficient of gauge factor(tcgf)
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分类号
TP212.1
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名Pd-Cr薄膜应变计的研制
被引量：3
- 3
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作者
周勇
李超
宋阳
蒋书文
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机构
电子科技大学
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出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2014年第10期105-107,共3页
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文摘
采用射频磁控溅射法在镍基高温合金拉伸件上制备Pd-Cr薄膜应变计.研究了800℃大气退火对Pd-Cr薄膜结构、表面形貌、方决电阻的影响,并且测试了Pd-Cr薄膜应变计的电学及应变性能.结果表明：Pd-Cr薄膜是一种结构为面心立方的单相材料.800℃大气退火后,Pd-Cr薄膜表面生成一层致密的Cr2O3,且薄膜方阻减小.在20～400℃范围内,应变计电阻同温度呈线性变化,电阻温度系数（TCR）约为230 ～ 260 ppm/℃.室温和300℃下的灵敏系数（GF）分别为1.97和2.63.
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关键词
磁控溅射
Pd—Cr
薄膜应变计
灵敏系数
电阻温度系数
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Keywords
magnetron sputtering
Pd-Cr
thin film strain gauge
gauge factor
temperature coefficient of resistance
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名ITO/Pt复合薄膜应变计制备及耐高温性能研究
被引量：2
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作者
姚雪
李硕林
谭秋林
张磊
董和磊
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机构
省部共建动态测试技术国家重点实验室
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出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2022年第5期32-36,41,共6页
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基金
国家自然科学基金项目(52175525)
山西省应用基础研究计划青年项目(20210302124274)
山西省“1331工程”重点学科建设基金资助项目。
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文摘
针对极端环境下发动机涡轮叶片的应变测试需求,采用脉冲激光沉积和磁控溅射的镀膜工艺在氧化铝陶瓷基底上制备了以ITO/Pt复合薄膜为应变层的高温薄膜应变计,并研究了复合薄膜中ITO薄膜与Pt薄膜的厚度比对ITO/Pt复合薄膜应变计耐高温性能的影响。研究表明,复合薄膜厚度比为5.5∶1时,ITO/Pt复合薄膜应变计在高温(1200℃)环境下具有比较稳定的电阻温度系数(TCR),为564.52×10^(-6)℃^(-1)。此外,还对ITO/Pt复合薄膜应变计常温下的电阻随应变的变化情况进行了测试,测试结果表明,应变计的电阻随应变呈线性变化,其应变灵敏系数(GF)为3.10。
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关键词
薄膜应变计
脉冲激光沉积
磁控溅射
耐高温性能
电阻温度系数
应变灵敏系数
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Keywords
thin film strain gauge
pulsed laser deposition
magnetron sputtering
thermostable performance
temperature coefficient of resistance
strain gauge factor
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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