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非晶态TeO2／36°Y-X LiTaO3 SAW基板
1
作者
商晓莉
公勋
+1 位作者
熊军
章德
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2009年第1期4-5,8,共3页
研究了非晶态TeO2/36°Y-X LiTaO3层状结构的延迟温度系数(TCD),并计算了该结构中声表面波(SAW)的其他重要特性,如声波模式和机电耦合系数(k2)。非晶态TeO2薄膜作为一种新型具有负温度系数的材料,当将其沉积于具有正温度系数的36...
研究了非晶态TeO2/36°Y-X LiTaO3层状结构的延迟温度系数(TCD),并计算了该结构中声表面波(SAW)的其他重要特性,如声波模式和机电耦合系数(k2)。非晶态TeO2薄膜作为一种新型具有负温度系数的材料,当将其沉积于具有正温度系数的36°Y-X LiTaO3上时,在膜厚仅为传统SiO2薄膜的1/3情况下就可实现零延迟温度系数。另外,该结构中被利用的1阶Love波模式很纯,没有和其他模式明显的耦合,而且其k2高达8.61%。故此结构是一种具有广泛应用前景的新型复合SAW应用材料。
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关键词
延迟温度系数(
tcd
)
非晶态TeO2薄膜
36°Y-X
LITAO3
LOVE波
层状结构
声表面波(SAW)
在线阅读
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职称材料
AIN/128°Y-X LiNbO_3层结构的声表面波特性研究
2
作者
陈岗
《湖南师范大学自然科学学报》
CAS
1991年第3期227-231,共5页
本文对A1N/128°Y-X LiNbO_3层结构的声表面波特性进行了研究。得到此层结构在较小的A1N膜厚时,不但具有延时温度系数(TCD)为零的特性;而且,在零TCD时,有高的机电耦合系数(k)及良好的频响特性。
关键词
层结构
声表面波
延时温度系数
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职称材料
题名
非晶态TeO2／36°Y-X LiTaO3 SAW基板
1
作者
商晓莉
公勋
熊军
章德
机构
南京大学电子科学与工程系
出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2009年第1期4-5,8,共3页
基金
国家自然科学基金资助项目(10404014)
文摘
研究了非晶态TeO2/36°Y-X LiTaO3层状结构的延迟温度系数(TCD),并计算了该结构中声表面波(SAW)的其他重要特性,如声波模式和机电耦合系数(k2)。非晶态TeO2薄膜作为一种新型具有负温度系数的材料,当将其沉积于具有正温度系数的36°Y-X LiTaO3上时,在膜厚仅为传统SiO2薄膜的1/3情况下就可实现零延迟温度系数。另外,该结构中被利用的1阶Love波模式很纯,没有和其他模式明显的耦合,而且其k2高达8.61%。故此结构是一种具有广泛应用前景的新型复合SAW应用材料。
关键词
延迟温度系数(
tcd
)
非晶态TeO2薄膜
36°Y-X
LITAO3
LOVE波
层状结构
声表面波(SAW)
Keywords
temperature
coefficient
of
delay
（
tcd
）
amorphous TeO2 film
36°Y-X LiTaO3 Love wave
layered structure
SAW
分类号
O42 [理学—声学]
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职称材料
题名
AIN/128°Y-X LiNbO_3层结构的声表面波特性研究
2
作者
陈岗
机构
湖南师范大学职业技术学院
出处
《湖南师范大学自然科学学报》
CAS
1991年第3期227-231,共5页
文摘
本文对A1N/128°Y-X LiNbO_3层结构的声表面波特性进行了研究。得到此层结构在较小的A1N膜厚时,不但具有延时温度系数(TCD)为零的特性;而且,在零TCD时,有高的机电耦合系数(k)及良好的频响特性。
关键词
层结构
声表面波
延时温度系数
Keywords
surface acoustic wave(SAW)
layered structure
temperature
coefficient
of
delay
(
tcd
)
electromechanical coupling
coefficient
(K)
frequency response
inter digital transducers
stiffen
分类号
O424 [理学—声学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
非晶态TeO2／36°Y-X LiTaO3 SAW基板
商晓莉
公勋
熊军
章德
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2009
0
在线阅读
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职称材料
2
AIN/128°Y-X LiNbO_3层结构的声表面波特性研究
陈岗
《湖南师范大学自然科学学报》
CAS
1991
0
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职称材料
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参考文献
引证文献
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