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基于TCAD工具的超突变结变容二极管设计
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作者 杨勇 郝达兵 +1 位作者 王玉林 李智群 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2009年第6期553-556,共4页
根据超突变结变容二极管设计和工艺特点,报道了利用SILVACO公司工艺模拟软件Athena、器件模拟软件Atlas等完成超突变结变容二极管的几何结构、浓度分布、工艺参数、电学参数等的设计,根据设计参数通过某型号Si超突变结变容二极管生产情... 根据超突变结变容二极管设计和工艺特点,报道了利用SILVACO公司工艺模拟软件Athena、器件模拟软件Atlas等完成超突变结变容二极管的几何结构、浓度分布、工艺参数、电学参数等的设计,根据设计参数通过某型号Si超突变结变容二极管生产情况验证设计参数和电参数的吻合情况,改进实际工艺参数和模拟参数的容差系数;分别利用离子注入-扩散法和双离子注入法完成器件工艺制作,提高了的工艺重复性和成品率。采用TCAD技术大大缩短了研制周期、降低了费用。 展开更多
关键词 计算机辅助设计技术 超突变结变容二极管 离子注入 注入-扩散法 工艺重复性
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体硅nFinFET总剂量效应三维TCAD仿真研究 被引量:4
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作者 黄云波 李博 +3 位作者 杨玲 郑中山 李彬鸿 罗家俊 《微电子学与计算机》 CSCD 北大核心 2018年第8期42-47,共6页
本文利用Sentaurus TCAD仿真软件对体硅鳍形场效应晶体管(FinFET)的总剂量效应(TID)进行了详细的数值模拟研究.基于良好校准后的器件模型,仿真结果表明:高沟道阻挡层掺杂浓度,大鳍宽,锥形鳍截面形状的FinFET器件对总剂量效应有良好的抑... 本文利用Sentaurus TCAD仿真软件对体硅鳍形场效应晶体管(FinFET)的总剂量效应(TID)进行了详细的数值模拟研究.基于良好校准后的器件模型,仿真结果表明:高沟道阻挡层掺杂浓度,大鳍宽,锥形鳍截面形状的FinFET器件对总剂量效应有良好的抑制作用.进一步的Gamma总剂量辐射仿真展示了辐照过程中浅槽隔离(STI)氧化层中陷阱空穴的形成.最后,利用Sentaurus TCAD软件混合仿真模式对电路级别的总剂量响应进行了模拟分析,结果表明电路的性能和可靠性在总剂量辐照之后均受到了极大的影响. 展开更多
关键词 鳍形场效应晶体管 总剂量效应(TID) 浅槽隔离(STI) tcad
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计算机辅助的印染色彩模拟与优化技术 被引量:1
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作者 邹星 毛开梅 《印染助剂》 CAS 2024年第9期53-57,共5页
随着计算机技术的发展,计算机辅助设计技术在印染艺术中的应用有助于提高设计效率和创作质量。随着消费者对纺织品色彩和质量要求的不断提高,传统的印染艺术设计方法难以满足现代化生产需求。计算机辅助设计技术以其强大的视觉模拟支持... 随着计算机技术的发展,计算机辅助设计技术在印染艺术中的应用有助于提高设计效率和创作质量。随着消费者对纺织品色彩和质量要求的不断提高,传统的印染艺术设计方法难以满足现代化生产需求。计算机辅助设计技术以其强大的视觉模拟支持可以让设计师在设计阶段准确预见最终产品的色彩效果,提高印染设计的色彩准确性和视觉效果。基于印染艺术设计和色彩理论,探讨计算机辅助的印染色彩模拟与优化技术,以期为纺织印染行业的数字化转型提供理论参考。 展开更多
关键词 计算机辅助技术 印染艺术设计 色彩模拟 优化
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基于计算机辅助技术的医疗器械设计 被引量:1
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作者 杨盼 《集成电路应用》 2024年第1期208-209,共2页
阐述计算机辅助技术在医疗器械设计和应用中的特点,包括三维建模、虚拟仿真、快速原型制造等技术。分析设计与开发中的关键问题和用户需求,提出基于计算机辅助技术的设计与优化方案。
关键词 计算机辅助技术 三维建模 虚拟仿真 医疗器械设计
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界面电荷位置对短沟道pMOS器件阈值电压的影响 被引量:2
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作者 孙瑞泽 刘毅 +2 位作者 张准 贺威 曹建民 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2016年第5期369-373,共5页
通过二维数值模拟的方法,研究了短沟道器件中不同位置的界面电荷对pMOS器件阈值电压的影响。把pMOS器件栅氧化层等分成不同的区域,随即可以在不同的区域设置不同的界面电荷,从而很好地模拟了器件界面电荷处于不同位置时阈值电压漂移的... 通过二维数值模拟的方法,研究了短沟道器件中不同位置的界面电荷对pMOS器件阈值电压的影响。把pMOS器件栅氧化层等分成不同的区域,随即可以在不同的区域设置不同的界面电荷,从而很好地模拟了器件界面电荷处于不同位置时阈值电压漂移的变化情况,并同时考虑了不同漏极偏置的影响;为了探究其变化机制,还提取和比较了一些特殊情况下器件的表面势。这些研究有助于明确器件哪些位置的界面电荷对阈值电压漂移影响更大,这对深刻理解带漏极偏置的负偏压温度不稳定性效应有一定的帮助和促进。 展开更多
关键词 金属氧化物半导体场效应晶体管器件 负偏压温度不稳定性 器件模拟 界面电荷
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建筑设计中CAD技术应用现状与发展研究 被引量:4
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作者 梅小妹 苏剑鸣 张荔军 《合肥工业大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2007年第7期899-902,907,共5页
文章分析了目前建筑设计中CAD利用方面所存在的问题,探讨了这些问题产生的原因。从目前在建筑设计领域中计算机利用的现状出发,对其将来的发展做出了展望,并提出了计算机建筑辅助设计进一步发展所应具备的必要条件。
关键词 计算机辅助建筑设计 设计思考支援 形态生成 模拟技术 专家系统
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面向对象的粒子模拟CAD建模系统 被引量:2
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作者 周俊 刘大刚 刘盛纲 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第3期556-561,共6页
针对当前粒子模拟软件建模效率普遍偏低的问题,在软件设计中引入了计算机辅助设计(CAD)技术,考虑到粒子模拟具有复杂多样的物理模型和计算环境,采用面向对象的方法将整个CAD系统划分为基本设置、算法设置、结构建模、观测设置、模拟控... 针对当前粒子模拟软件建模效率普遍偏低的问题,在软件设计中引入了计算机辅助设计(CAD)技术,考虑到粒子模拟具有复杂多样的物理模型和计算环境,采用面向对象的方法将整个CAD系统划分为基本设置、算法设置、结构建模、观测设置、模拟控制和数据处理等六个功能模块,以及用户界面、数据管理和计算接口等三个系统层次,并分别对每个功能模块和系统层次进行了详细分析与设计.最后,将所实现的CAD系统与核心计算程序整合,形成一套较为实用的粒子模拟软件,并应用到高功率微波器件的设计中,结果表明该系统具有很高的实用性. 展开更多
关键词 粒子模拟 计算机辅助设计 面向对象方法
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用CAD技术实现复杂三维粒子模拟建模
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作者 周俊 廖臣 +2 位作者 刘大刚 吴振华 张开春 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第2期242-246,共5页
将计算机辅助设计技术用于粒子模拟建模,能极大地提高粒子模拟方法的实用性。在对复杂真空电子学微波源、毫米波源和太赫兹源的建模需求分析基础上,采用面向对象和模块化设计方法,实现了三维粒子模拟CAD建模系统。该系统可以对各类复杂... 将计算机辅助设计技术用于粒子模拟建模,能极大地提高粒子模拟方法的实用性。在对复杂真空电子学微波源、毫米波源和太赫兹源的建模需求分析基础上,采用面向对象和模块化设计方法,实现了三维粒子模拟CAD建模系统。该系统可以对各类复杂器件进行可视化建模,并生成提供给核心计算程序使用的器件参量描述文件。使用该系统分别在圆柱坐标系和直角坐标系下建模,模拟了磁绝缘线振荡器和扩展互作用振荡器。结果表明,三维粒子模拟CAD建模系统具有很好的实用性。 展开更多
关键词 计算机辅助设计 扩展互作用振荡器 磁绝缘线振荡器 粒子模拟
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电子阻挡层Al组分对Si衬底GaN基黄光LED内量子效率的影响 被引量:4
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作者 胡耀文 高江东 +4 位作者 全知觉 张建立 潘拴 刘军林 江风益 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第9期1102-1107,共6页
为了探究具有双层电子阻挡层设计的GaN基黄光LED中首层电子阻挡层(EBL-1)Al组分对内量子效率的影响以及其中载流子注入的主要物理机制,首先使用硅衬底GaN基黄光LED外延与芯片工艺,在外延过程中通过控制三甲基铝(TMAl)流量,分别获得EBL-... 为了探究具有双层电子阻挡层设计的GaN基黄光LED中首层电子阻挡层(EBL-1)Al组分对内量子效率的影响以及其中载流子注入的主要物理机制,首先使用硅衬底GaN基黄光LED外延与芯片工艺,在外延过程中通过控制三甲基铝(TMAl)流量,分别获得EBL-1含有Al组分约20%、50%、80%的硅衬底GaN基黄光LED;随后使用半导体仿真软件Silvaco Atlas对这3种样品的实际测试内量子效率曲线进行拟合。结果表明,EBL-1中Al组分对内量子效率的影响主要体现在两方面:一是EBL-1的Al组分越高越有利于空穴从V形坑侧壁注入到多量子阱有源区;二是EBL-1中过高的Al组分会降低p型GaN晶体质量,导致空穴浓度下降;综合表现为Al组分约50%的EBL-1在这种双层电子阻挡层的设计下最有利于提高硅衬底GaN基黄光LED的内量子效率。 展开更多
关键词 GAN 黄光LED 电子阻挡层 半导体仿真
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硅肖特基结自滤波窄带近红外光探测器的研究
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作者 刘浩 徐艳 +2 位作者 宋龙梅 夏宇 于永强 《合肥工业大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2022年第3期342-346,共5页
窄带近红外光探测器因对特定波长有很高的灵敏度,在临床诊断、治疗设备或可穿戴的功能性监测设备等生物医学领域具有广阔的应用前景。文章基于硅基光吸收及肖特基结光生载流子收集特性的分析,首次采用Silvaco TCAD设计了光谱可调的硅/... 窄带近红外光探测器因对特定波长有很高的灵敏度,在临床诊断、治疗设备或可穿戴的功能性监测设备等生物医学领域具有广阔的应用前景。文章基于硅基光吸收及肖特基结光生载流子收集特性的分析,首次采用Silvaco TCAD设计了光谱可调的硅/石墨烯肖特基二极管窄带近红外光探测器。利用湿法转移石墨烯电极制备了硅/石墨烯肖特基二极管,光电特性表征发现,器件具有自滤光的、可见光盲的近红外窄带响应,中心波长为1010 nm,半峰宽为180 nm,成功验证了硅基肖特基窄带近红外光探测器的设计。研究结果为窄带近红外光探测器等新型光电探测器的设计提供一定的理论支持和实验参考。 展开更多
关键词 肖特基结 tcad仿真 近红外光探测器 窄带
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数值模拟技术在射孔枪设计中的应用 被引量:1
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作者 陶亮 周志华 《测井技术》 CAS CSCD 2005年第B02期33-36,共4页
基于拉格朗日和欧拉方法的理论为射孔器设计提供了理论基础,其后处理的强大图形功能能够再现射孔的过程,为设计者提供设计依据。仅以射孔器设计中的几个案例说明数值模拟技术的应用状况。
关键词 射孔枪设计 数值模拟技术 力学 计算机辅助工程(CAE)
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Impact of proton-induced alteration of carrier lifetime on single-event transient in SiGe heterojunction bipolar transistor
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作者 Jia-Nan Wei Chao-Hui He +2 位作者 Pei Li Yong-Hong Li Hong-Xia Guo 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2019年第7期375-380,共6页
This paper presents an investigation into the impact of proton-induced alteration of carrier lifetime on the singleevent transient(SET) caused by heavy ions in silicon–germanium heterojunction bipolar transistor(SiGe... This paper presents an investigation into the impact of proton-induced alteration of carrier lifetime on the singleevent transient(SET) caused by heavy ions in silicon–germanium heterojunction bipolar transistor(SiGe HBT).The ioninduced current transients and integrated charge collections under different proton fluences are obtained based on technology computer-aided design(TCAD) simulation.The results indicate that the impact of carrier lifetime alteration is determined by the dominating charge collection mechanism at the ion incident position and only the long-time diffusion process is affected.With a proton fluence of 5 × 1013 cm-2, almost no change is found in the transient feature, and the charge collection of events happened in the region enclosed by deep trench isolation(DTI), where prompt funneling collection is the dominating mechanism.Meanwhile, for the events happening outside DTI where diffusion dominates the collection process, the peak value and the duration of the ion-induced current transient both decrease with increasing proton fluence, leading to a great decrease in charge collection. 展开更多
关键词 silicon–germanium heterojunction bipolar transistor(SiGe HBT) proton irradiation MINORITY carrier lifetime single-event transient technology COMPUTER-aided design(tcad) simulation
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28 nm工艺开发中的器件局域失配研究
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作者 蔡恩静 高金德 +2 位作者 朱巧智 魏文 李强 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2018年第9期714-719,共6页
在集成电路28 nm和14 nm等先进制造工艺开发中,采用纳米探针锁定失配器件后,依然无法通过物性分析找出失效原因,成为提升低压良率的最大瓶颈。通过对存储失效单元器件特性的分析提出了失效模型,采用计算机辅助设计技术(TCAD)工具对器... 在集成电路28 nm和14 nm等先进制造工艺开发中,采用纳米探针锁定失配器件后,依然无法通过物性分析找出失效原因,成为提升低压良率的最大瓶颈。通过对存储失效单元器件特性的分析提出了失效模型,采用计算机辅助设计技术(TCAD)工具对器件失配进行模拟,给出失效现象的直观解释和工艺改善方向并优化了工艺条件。结果表明在常规器件分析流程中引入TCAD器件模拟是一种更有效的研究低压良率器件局域失配的方法,能大大缩短工艺开发周期。同时,采用热运动的麦克斯韦-玻耳兹曼分布对器件局域失配进行讨论计算,认为注入杂质热运动引起的扩散是导致因离子注入随机波动引起器件局域失配的主导因素。 展开更多
关键词 低压(Vmin)良率 器件局域失配 离子注入随机波动(RDF) 计算机辅助设计技术(tcad)模拟 麦克斯韦-玻耳兹曼分布
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