具有布喇格反射层谐振器带内横模抑制结构设计

1

作者 李磊 帅垚 +5 位作者 李金晔 范维 吴达豪 罗文博 吴传贵 张万里 《压电与声光》 北大核心 2025年第2期262-267,共6页

研究了基于X切铌酸锂材料且具有布喇格反射层结构的谐振器,通过有限元(FEM)仿真模拟计算了面内旋转角和Al电极厚度对机电耦合系数、相速度和阻抗比的影响。搭建三维有限元(3D FEM)结构探究了谐振器带内的横向模式与半周期的关系,并对比... 研究了基于X切铌酸锂材料且具有布喇格反射层结构的谐振器,通过有限元(FEM)仿真模拟计算了面内旋转角和Al电极厚度对机电耦合系数、相速度和阻抗比的影响。搭建三维有限元(3D FEM)结构探究了谐振器带内的横向模式与半周期的关系,并对比了两种小锤结构对横向模式的抑制作用,小锤结构无法对SMR谐振器的横向模式进行有效抑制。设计了3种加权谐振器结构,分别是加权无假指、加权有假指和加权有小锤。实验对比了普通谐振器与3种加权谐振器的性能。结果表明,3种加权谐振器的机电耦合系数(K^(2))都超过了15%,阻抗比约为60 dB,均对带内横向模式有明显的抑制作用。 展开更多

关键词 声表面波谐振器 S_(0)模态 X切LN 横向模式抑制 加权结构

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适合于液相检测的乐甫波传感器 被引量：6

2

作者 潘海峰 朱惠忠 冯冠平 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2003年第3期10-12,共3页

乐甫波 (Lovewave)是声表面波的一种 ,它是在沉淀于压电基片表面的薄层声波导中传播的表面剪切横波。论述了基片为ST切压电石英晶体、声波导层分别为聚甲基丙烯酸甲酯 (PM MA)和熔融石英 (SiO2 )的乐甫波器件的制作。通过测量器件的传... 乐甫波 (Lovewave)是声表面波的一种 ,它是在沉淀于压电基片表面的薄层声波导中传播的表面剪切横波。论述了基片为ST切压电石英晶体、声波导层分别为聚甲基丙烯酸甲酯 (PM MA)和熔融石英 (SiO2 )的乐甫波器件的制作。通过测量器件的传输参数S2 1和插损 ,比较了瑞利波器件和不同声波导层构成的乐甫波器件在气相和液相的特性 ,证明了乐甫波传感器适合于液相检测而瑞利波传感器不适合 ,而且 ,SiO2 展开更多

关键词 乐甫波器件 乐甫波传感器 液相 插损 声表面波

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新型声表面波式小波变换器件插入损耗的研究 被引量：4

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作者 卢文科 朱长纯 +2 位作者 刘君华 方建安 文常保 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期371-373,共3页

小波式叉指换能器使用机电耦合系数比较大的基片(如YZ-L iNbO3基片)时,其频率特性曲线不光滑,但插入损耗小;小波式叉指换能器使用机电耦合系数比较小的基片(如X 112°Y-L iTaO3基片)时,其频率特性曲线光滑,但插入损耗大.声表面波器... 小波式叉指换能器使用机电耦合系数比较大的基片(如YZ-L iNbO3基片)时,其频率特性曲线不光滑,但插入损耗小;小波式叉指换能器使用机电耦合系数比较小的基片(如X 112°Y-L iTaO3基片)时,其频率特性曲线光滑,但插入损耗大.声表面波器件的指条对数N越少,其带宽Δf/f越大,插入损耗越大,所以,指条对数N要取的合适,不宜过少.在声表面波式小波变换器件中,发射叉指换能器的条对数N取57,接收叉指换能器的指条对数是57的四分之一到三分之一之间. 展开更多

关键词 声表面波 小波变换器件 插入损耗 又指换能器

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应用耦合模理论分析S型声表面波器件特性 被引量：2

4

作者 章安良 朱大中 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2005年第3期557-560,共4页

报道了在128°旋转Y切割X传播方向的LiNbO3基片上研制的结构新型的S型声表面波器件,它将输入换能器激发的声表面波中心对称分成两路,分别由各自输出换能器检测输出。应用耦合模理论详细分析了该声表面波器件的特性,并应用网络分析... 报道了在128°旋转Y切割X传播方向的LiNbO3基片上研制的结构新型的S型声表面波器件,它将输入换能器激发的声表面波中心对称分成两路,分别由各自输出换能器检测输出。应用耦合模理论详细分析了该声表面波器件的特性,并应用网络分析仪测量该声表面波器件的特性以验证分析结果的正确性。结果表明,理论计算值与实验结果相近。 展开更多

关键词 声表面波 耦合模参数 插入损耗

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高频声表面横波谐振器研制 被引量：2

5

作者 周卫 杨正兵 +6 位作者 曾武 付金桥 汤旭东 朱明 陈峻 伍平 邵静 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2013年第1期13-15,共3页

声表面横波具有比瑞利波高1.6倍的波速,声表面横波谐振器具有一阶温度系数(TFC)为0,工作频率高,损耗小,耐功率能力强及振动灵敏度低等特点。该文叙述了声表面横波工作原理,研制出了频率达到1 439MHz、1 989MHz、2 491MHz的声表面横波谐... 声表面横波具有比瑞利波高1.6倍的波速,声表面横波谐振器具有一阶温度系数(TFC)为0,工作频率高,损耗小,耐功率能力强及振动灵敏度低等特点。该文叙述了声表面横波工作原理,研制出了频率达到1 439MHz、1 989MHz、2 491MHz的声表面横波谐振器。 展开更多

关键词 声表面横波 谐振器 损耗 品质因数(Q)值

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2.4GHz石英窄带低损耗声表面横波谐振滤波器 被引量：2

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作者 周卫 刘善群 +10 位作者 陈峻 邵静 刘积学 吴燕 朱明 赖彬 喻卫兵 许东辉 田亚睿 曾武 伍平 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2015年第3期405-407,共3页

该文描述了一种工作频率在S波段的低损耗极窄带声表面横波谐振滤波器,解决了整机系统在高频率S波段载波近端的杂波抑制。采用一阶温度系数为0的石英基片及比瑞利型声表面波波速高1.6倍的声表面横波,制作出3dB带宽大于1‰的低损耗窄带谐... 该文描述了一种工作频率在S波段的低损耗极窄带声表面横波谐振滤波器,解决了整机系统在高频率S波段载波近端的杂波抑制。采用一阶温度系数为0的石英基片及比瑞利型声表面波波速高1.6倍的声表面横波,制作出3dB带宽大于1‰的低损耗窄带谐振滤波器,其工作频率达2.4GHz,损耗为5.77dB,3dB带宽为3.0 MHz,在50Ω测试系统中测试,偏离中心频率±7 MHz的阻带抑制为25dB;在-40^+85℃内,频率漂移仅为705kHz。 展开更多

关键词 声表面横波 谐振器 滤波器

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Cu/15°YX-LiNbO_(3)SAW谐振器的横向模抑制研究 被引量：4

7

作者 肖强 董加和 +5 位作者 白涛 陈彦光 陈尚权 李桦林 陈正林 马晋毅 《压电与声光》 CAS 北大核心 2022年第2期202-204,共3页

Cu/15°YX-LiNbO_(3)声表面波(SAW)谐振器作为宽带SAW滤波器的核心单元,其横向模式的存在极大地影响了SAW滤波器的通带性能,将引起带内波纹,增大器件插损,从而降低系统信噪比,引起信号误读。该文基于Piston技术抑制Cu/15°YX-Li... Cu/15°YX-LiNbO_(3)声表面波(SAW)谐振器作为宽带SAW滤波器的核心单元,其横向模式的存在极大地影响了SAW滤波器的通带性能,将引起带内波纹,增大器件插损,从而降低系统信噪比,引起信号误读。该文基于Piston技术抑制Cu/15°YX-LiNbO_(3) SAW谐振器的横向模式,利用有限元仿真优化了指条末端尺寸。仿真结果表明,慢速区域尺寸占空比为0.692,长度约为0.65λ(λ为波长)时,主模附近的横向模得到完全抑制,并通过实验验证了其有效性。这为Piston技术应用于Cu/15°YX-LiNbO_(3)宽带SAW滤波器的横向模抑制提供了指导。 展开更多

关键词 声表面波(SAW)谐振器 宽带声表面波(SAW)滤波器 横向模式 Piston技术

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通讯用高基频带通声表面波滤波器的设计 被引量：1

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作者 许四科 刘刚 +1 位作者 高益 于军 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2006年第2期127-129,共3页

简述了声表面波滤波器当前的发展,讨论了单端谐振型声表面波带通滤波器设计原理和设计要点,得到了一种较好的设计方案,并给出了主要参数的推导过程。通过对滤波器滤波特性影响因素的分析,改进了谐振电路结构和参数,并成功设计了中心频率... 简述了声表面波滤波器当前的发展,讨论了单端谐振型声表面波带通滤波器设计原理和设计要点,得到了一种较好的设计方案,并给出了主要参数的推导过程。通过对滤波器滤波特性影响因素的分析,改进了谐振电路结构和参数,并成功设计了中心频率为902.5 MHz,带宽为25 MHz的声表面波滤波器。 展开更多

关键词 谐振器 声表面波滤波器 插入损耗

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SAW氢气传感器频率特性分析 被引量：1

9

作者 吴礼峰 殷晨波 +2 位作者 朱亚军 杨柳 唐光大 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2015年第3期1-2,6,共3页

基于ANSYS13.0建立了声表面波(SAW)传感器的三维有限元模型,选择金属钯膜作为传感器敏感薄膜,选用128°YX铌酸锂作为基底材料,输入和输出叉指电极(IDT)耦合在基底表面。给输入IDT施加单位阶跃信号,并对所得到的时域响应数据进行傅... 基于ANSYS13.0建立了声表面波(SAW)传感器的三维有限元模型,选择金属钯膜作为传感器敏感薄膜,选用128°YX铌酸锂作为基底材料,输入和输出叉指电极(IDT)耦合在基底表面。给输入IDT施加单位阶跃信号,并对所得到的时域响应数据进行傅里叶变换得到传感器的中心频率和插入损耗。将仿真所得频率特性与实验结果进行对比,得到了可以降低插入损耗、提高传感器性能的方法。 展开更多

关键词 声表面波(SAW) 中心频率 插入损耗

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GHz石英基片声表面横波谐振器和谐振滤波器 被引量：3

10

作者 周卫 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2018年第2期192-194,共3页

压电石英基片上激励的声表面波,具有一阶温度系数为0的特点。声表面横波器件,高品质因数Q值的谐振器在频率源中作为频率控制元件,窄带谐振滤波器可滤除信号近端的杂波,具有工作频率高,损耗小的特点。该文描述了采用声表面横波模式制作... 压电石英基片上激励的声表面波,具有一阶温度系数为0的特点。声表面横波器件,高品质因数Q值的谐振器在频率源中作为频率控制元件,窄带谐振滤波器可滤除信号近端的杂波,具有工作频率高,损耗小的特点。该文描述了采用声表面横波模式制作的吉赫兹谐振器,有载Q值可达3 813;频率达1GHz的窄带低损耗谐振滤波器,损耗仅为2.74dB。 展开更多

关键词 石英 基片 声表面横波 谐振器 品质因数(Q值) 谐振滤波器

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1GHz声表面横波谐振器的研究及应用 被引量：2

11

作者 周卫 《应用声学》 CSCD 北大核心 2000年第1期46-48,共3页

本文介绍声表面横波谐振器的设计及制作，并报导了我们研制的频率为１．１ＧＨｚ；插损３ｄＢ；有载 Ｑ值大于 ２０００的声表面横波谐振器及其应用。

关键词 谐振器 声表面横波 结构 参数

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基于SOI衬底的宽带低损耗声表面波滤波器研究 被引量：1

12

作者 苗湘 闫坤坤 +3 位作者 黄歆 姜靖雯 黄小东 王文 《压电与声光》 CAS 北大核心 2022年第5期718-721,共4页

使用结构为42°Y-X LiTaO_(3)(600 nm)/SiO_(2)(500 nm)/Si的SOI衬底,通过抑制横向模式等优化设计,研制了单端谐振器和声表面波滤波器。经测试,谐振器的谐振频率为1.5 GHz,品质因数(Q)值高达4000;滤波器的中心频率为1370 MHz,插入... 使用结构为42°Y-X LiTaO_(3)(600 nm)/SiO_(2)(500 nm)/Si的SOI衬底,通过抑制横向模式等优化设计,研制了单端谐振器和声表面波滤波器。经测试,谐振器的谐振频率为1.5 GHz,品质因数(Q)值高达4000;滤波器的中心频率为1370 MHz,插入损耗为-1.2 dB,1 dB带宽为74 MHz,相对带宽达到5.4%,阻带抑制大于40 dB,且温度系数在-55~+85℃时优于-9×10^(-6)/℃。该产品具有高频、宽带、低损耗、低温漂、高阻带抑制的特点,其性能指标优异,具有很好的实用性。 展开更多

关键词 SOI衬底 大带宽 横向模式 谐振器 声表面波滤波器

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级联型声表面横波滤波器

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作者 周卫 王岚 黎亮 《压电与声光》 CAS 北大核心 2019年第6期841-843,共3页

该文介绍了在压电石英基片上具有一阶温度系数为0的声表面横波滤波器,制作出高频、高带外抑制窄带滤波器,并采用两只声表面横波滤波器联级后的方式,提高带外抑制性能。测试结果表明,滤波器的频率为1219.4MHz,损耗为9.38dB,-1dB带宽为0.7... 该文介绍了在压电石英基片上具有一阶温度系数为0的声表面横波滤波器,制作出高频、高带外抑制窄带滤波器,并采用两只声表面横波滤波器联级后的方式,提高带外抑制性能。测试结果表明,滤波器的频率为1219.4MHz,损耗为9.38dB,-1dB带宽为0.743MHz,-3dB带宽为1.06MHz,-40dB带宽为2.94MHz,群延时波动在偏离中心频率-100~100kHz时的值小于100ns,且输入、输出端驻波均小于2。 展开更多

关键词 声表面横波 滤波器 群延时波动 带内波纹 插入损耗 驻波

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SAW谐振器谐振频率微秒级快速检测方法

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作者 王威威 卢孜筱 +1 位作者 田亚会 李红浪 《应用声学》 CSCD 北大核心 2022年第1期119-123,共5页

针对高速旋转环境下的谐振式声表面波(SAW)传感器信号快速检测,提出基于回波损耗测量原理的SAW谐振器谐振频率微妙级快速检测方法。对SAW谐振器进行线性扫频激励的过程中,将反射信号经功率检波与比较器转换为数字脉冲信号,使用计时器实... 针对高速旋转环境下的谐振式声表面波(SAW)传感器信号快速检测,提出基于回波损耗测量原理的SAW谐振器谐振频率微妙级快速检测方法。对SAW谐振器进行线性扫频激励的过程中,将反射信号经功率检波与比较器转换为数字脉冲信号,使用计时器实时计算脉冲信号中心对应频率快速求得SAW传感器谐振频率。在8000 r/min转速范围内对SAW谐振器在700 kHz带宽内进行检测实验,最多用时35µs,相对于毫秒级的传统SAW谐振器谐振频率检测方法,速度提高了两个数量级。 展开更多

关键词 声表面波 谐振频率 回波损耗 快速检测

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