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激光扫描三角法大型曲面测量中影响参数分析 被引量:15
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作者 杨耀权 施仁 +1 位作者 于希宁 高镗年 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第7期15-18,45,共5页
介绍了基于光学三角理论的激光扫描大型曲面测量原理.详细分析了影响其测量精度的几个主要因素,即被测物体表面的光学性能、物面倾斜、光学系统畸变及散斑等对测量精度的影响.针对大范围测量时,光斑图像占用多个像素及诸多因素造成... 介绍了基于光学三角理论的激光扫描大型曲面测量原理.详细分析了影响其测量精度的几个主要因素,即被测物体表面的光学性能、物面倾斜、光学系统畸变及散斑等对测量精度的影响.针对大范围测量时,光斑图像占用多个像素及诸多因素造成的光斑图像强度分布不均,以致于很难读取真正光斑几何中心的问题,文中提出了基于Hough变换的光斑中心提取方法. 展开更多
关键词 曲面测量 误差分析 激光扫描三角法
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光学元件检测技术的研究 被引量:11
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作者 余景池 孙侠菲 +1 位作者 郭培基 丁泽钊 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2002年第S1期15-18,共4页
介绍了光学非球面加工精磨阶段和抛光阶段的检测技术、柱面镜面形的测量方法、超高精度球面面形的测量方法和光学元件参数的高精度测量技术。
关键词 光学元件 非球面 面形测量
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表面粗糙度、表面微观轮廓及微位移激光测量集成化方法的研究 被引量:7
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作者 李文杰 张涛 黄伟 《四川大学学报(工程科学版)》 EI CAS CSCD 2000年第6期78-81,共4页
通过研究激光散射法测量表面粗糙度、三角法测量微位移、干涉法测量表面微观轮廓三种几何量测量技术的共性 ,设计新型光路 ,将三种光电测量技术集成为一个测量仪 ,使其成为采用同一光源、基本同一光路、同一光敏接收器的新型光电精密测... 通过研究激光散射法测量表面粗糙度、三角法测量微位移、干涉法测量表面微观轮廓三种几何量测量技术的共性 ,设计新型光路 ,将三种光电测量技术集成为一个测量仪 ,使其成为采用同一光源、基本同一光路、同一光敏接收器的新型光电精密测量仪器 ,而同时具有三种测量功能 . 展开更多
关键词 表面微观轮廓 激光测量 表面粗糙度 激光散射法 微位移 集成化方法
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高陡度保形光学镜面多段拼接测量方法 被引量:2
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作者 贾立德 王家伍 +2 位作者 尹自强 郑子文 李圣怡 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第10期1159-1162,共4页
针对高陡度保形光学镜面的检测问题,提出了一种基于多段拼接的坐标测量方法。首先,将保形光学镜面轮廓划分为具有一定重叠区域的数段较短面形轮廓;然后,通过测量系统与被测工件之间的相对转角与平移位移调整被测工件的姿态,以实现分段... 针对高陡度保形光学镜面的检测问题,提出了一种基于多段拼接的坐标测量方法。首先,将保形光学镜面轮廓划分为具有一定重叠区域的数段较短面形轮廓;然后,通过测量系统与被测工件之间的相对转角与平移位移调整被测工件的姿态,以实现分段轮廓的测量;最后通过拼接算法将各段面形轮廓拼接起来,重构出被测工件的面形误差。建立了高陡度保形光学镜面多段拼接测量方法的最小二乘数学模型,并在此基础上开发了高精度的测量试验系统。对口径为120mm、长径比为1.2的椭球形保形头罩进行了实测试验。测量试验表明,该方法能够高精度的重构出面形轮廓,方法简单实用。 展开更多
关键词 坐标测量 保形光学 轮廓拼接 轮廓测量 面形误差
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表面微观轮廓的高分辨率光学测量方法 被引量:18
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作者 王富生 谭久彬 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2000年第4期309-315,共7页
较全面地介绍了用于表面微观轮廓测量的几种高分辨率甚至可达亚纳米的光学测量方法及其最新进展。文中重点描述了以扫描共焦显微检测法、离焦误差检测法为代表的光触针法 ,以 TOPO轮廓仪、Nomarski显微镜、外差干涉轮廓仪、双焦干涉轮... 较全面地介绍了用于表面微观轮廓测量的几种高分辨率甚至可达亚纳米的光学测量方法及其最新进展。文中重点描述了以扫描共焦显微检测法、离焦误差检测法为代表的光触针法 ,以 TOPO轮廓仪、Nomarski显微镜、外差干涉轮廓仪、双焦干涉轮廓仪和同轴干涉轮廓仪为代表的干涉测量法和以扫描近场光学显微镜及光子扫描隧道显微镜为代表的近场光学法三种适用于表面微观轮廓测量的光学测量方法 ,分别介绍了其工作原理、特性、发展现状及存在问题 ,通过对这些方法的对比和总结 ,阐述了表面微观轮廓纳米级光学测量的发展趋势。 展开更多
关键词 表面微观轮廓 光学测量方法 高分辨率
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光学自由曲面计算机控制加工中的形面检测研究 被引量:5
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作者 李全胜 成晔 +1 位作者 张伯鹏 蔡复之 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1999年第3期89-96,共8页
光学自由曲面可以实现特殊的成像效果,给光学设计提供了更大的自由度,计算机控制加工方法可以在低精度设备上加工出高精度的光学自由曲面。自由曲面的形面检测是决定其最终加工精度的关键因素。本文讨论了自由曲面的形面检测方法,研... 光学自由曲面可以实现特殊的成像效果,给光学设计提供了更大的自由度,计算机控制加工方法可以在低精度设备上加工出高精度的光学自由曲面。自由曲面的形面检测是决定其最终加工精度的关键因素。本文讨论了自由曲面的形面检测方法,研究了自由曲面的坐标测量法,提出了快速自由曲面坐标测量法,并进行了验证。结果表明采用快速自由曲面测量法可以大大缩短测量时间,测量精度在测量机的精度范围内。 展开更多
关键词 光学自由曲面 计算机控制加工 形面检测
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用于超光滑表面无损检测的光学轮廓仪 被引量:4
7
作者 杨甬英 卓永模 杨明建 《光电工程》 CAS CSCD 1999年第6期12-16,共5页
所述的光学轮廓仪是利用双焦透镜产生的偏振光束经被检面反射后形成了一共路干涉体系 ,因此该干涉体系可对超光滑表面做非接触无损检测而无需标准参考面 ;同时 ,利用双通道电子共模抑制技术可有效地抑制系统的各类噪声 ;计算机控制测量 ... 所述的光学轮廓仪是利用双焦透镜产生的偏振光束经被检面反射后形成了一共路干涉体系 ,因此该干涉体系可对超光滑表面做非接触无损检测而无需标准参考面 ;同时 ,利用双通道电子共模抑制技术可有效地抑制系统的各类噪声 ;计算机控制测量 ,即时给出表面粗糙度参数 ,测量结果与计量用 WYKO轮廓仪比对 ,结果吻合。仪器特别适合于均方根值 Rq为纳米及亚纳米量级的表面的测试 ,尤其是软质金属材料及膜层表面。其横向分辨率为 1μm,纵向分辨率为 0 .1 nm。 展开更多
关键词 光学轮廓仪 无损检测 超光滑表面
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具有在线形貌矫正能力的组织体光学参数测量系统 被引量:2
8
作者 赵会娟 闫盼盼 +4 位作者 戚彩霞 李同心 陈玮婷 赵宽心 高峰 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第8期135-142,共8页
针对具有复杂形貌的大面积组织体,基于空间频率域方法,提出并搭建了一种具有在线形貌矫正能力的绝对光学参数测量系统.首先利用相位轮廓术获取组织体三维表面轮廓,用余弦辐射公式法矫正由组织体表面复杂形貌引起的光照度的差异.然后,采... 针对具有复杂形貌的大面积组织体,基于空间频率域方法,提出并搭建了一种具有在线形貌矫正能力的绝对光学参数测量系统.首先利用相位轮廓术获取组织体三维表面轮廓,用余弦辐射公式法矫正由组织体表面复杂形貌引起的光照度的差异.然后,采用漫反射板代替传统方法中的参考仿体,基于空间频率域测量模式进行绝对光学参数测量,并利用提出的光学参数反演方法实现组织体吸收系数的重建.组织仿体实验结果表明,对于表面高度小于29mm的仿体,经矫正后,吸收系数的测量相对误差从60%下降到13%. 展开更多
关键词 生物医学光子学 光学系统 相位轮廓术 空间频率域 绝对测量 复杂形貌 光学参数
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表面微观形貌测量中光探针大小对测量结果的影响
9
作者 梁嵘 李达成 +1 位作者 曹芒 赵洋 《光电工程》 CAS CSCD 1999年第2期30-34,共5页
以AFM测量的表面微观形貌为基础,采用数值仿真技术,定量地分析光探针直径对表面微观形貌测量的影响。结果表明:评定参数Ra,Rq,Ry,Rz,Rku以及平均轮廓斜率和最大轮廓斜率都随光探针直径的增加而减小,Rsm随光探... 以AFM测量的表面微观形貌为基础,采用数值仿真技术,定量地分析光探针直径对表面微观形貌测量的影响。结果表明:评定参数Ra,Rq,Ry,Rz,Rku以及平均轮廓斜率和最大轮廓斜率都随光探针直径的增加而减小,Rsm随光探针直径的增大而增大,而Rsk不随光探针直径单调变化。 展开更多
关键词 轮廓测量 光学探针 SPM 扫描探针显微镜
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基于采样定理的白光干涉SEST算法研究
10
作者 冯奎景 廖广兰 +1 位作者 史铁林 王海珊 《计算机工程与应用》 CSCD 北大核心 2008年第1期79-81,共3页
研究了基于采样定理的白光干涉测量算法——Square-envelop function Estimation by Sampling Theory(SEST)算法,该算法采样间隔是传统算法的数倍,最大可达1.425"m,大大提高了测量速度。在该算法基础上,提出应用循环缓冲器来定位... 研究了基于采样定理的白光干涉测量算法——Square-envelop function Estimation by Sampling Theory(SEST)算法,该算法采样间隔是传统算法的数倍,最大可达1.425"m,大大提高了测量速度。在该算法基础上,提出应用循环缓冲器来定位相干区间,减少了存储的采样值及计算量,提高了数据处理速度。仿真结果表明,该算法是快速、有效的。 展开更多
关键词 光学测量 SEST算法 白光干涉 表面形貌
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表面形貌的全息式非接触光学测量方法
11
作者 王晓飞 罗鸿逵 郭鸿禧 《北方交通大学学报》 CSCD 北大核心 1998年第4期79-82,共4页
讨论了关于表面形貌的一种全息式非接触光学测量新方法.此方法采用全息光学元件HOE替代普通光学元件,作为离焦检测元件,提高了测量精度和范围.
关键词 表面形貌 全息光学元件 非接触光学测量
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长程面形仪稳定系统的设计
12
作者 杨斌 高俊翔 +2 位作者 李明 汤善志 杨福贵 《北京理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第10期1085-1090,1095,共7页
分析了温度梯度、空气扰动、振动以及漂移误差对长程面形仪测量精度的影响,设计了一种以双层铝合金材料为主体带夹层内水循环的封闭性防护罩结构的长程面形仪稳定系统.通过封闭性的结构设计,以及夹层内增加焊点的方式,减小了空气扰动的... 分析了温度梯度、空气扰动、振动以及漂移误差对长程面形仪测量精度的影响,设计了一种以双层铝合金材料为主体带夹层内水循环的封闭性防护罩结构的长程面形仪稳定系统.通过封闭性的结构设计,以及夹层内增加焊点的方式,减小了空气扰动的影响;通过导热性较好的铝合金材料和内循环水系统,提高了温度的稳定性;通过在内壁粘贴石墨导热膜,有效地避免了局部温升过大,提高温度分布的均匀性.运用ANSYS软件对稳定系统结构强度进行了校核,优化了焊点分布方案,进一步提高了结构刚度.实际测试结果表明:温度的稳定性由0.234K提高到0.186K,稳定性提高了20.5%;温度的均匀性由0.294K提高到0.232K,均匀性提高了21.1%,完全达到了应用要求;对K-B镜样品的实际测试表明,配有稳定系统的长程面形仪测量装置面形测量精度更高,噪声更小;自准直仪的性能测试表明,安装稳定系统后自准直仪的噪声得到了高效抑制,检测性能大幅提高. 展开更多
关键词 长程面形仪 光学测量 面形检测 误差分析 稳定系统
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