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倾斜小锤结构对SAW谐振器性能的影响研究
1
作者 李强 帅垚 +2 位作者 吴传贵 罗文博 张万里 《压电与声光》 北大核心 2025年第3期484-489,共6页
为了提升5G时代高频滤波器的性能,研究了基于X-37°Y LiNbO3为压电衬底的固态装配型谐振器(SMR)结构的声表面波(SAW)谐振器。通过二维和三维有限元仿真,研究了谐振器结构参数对其性能的影响,并通过流片验证了仿真结果。结果表明,该... 为了提升5G时代高频滤波器的性能,研究了基于X-37°Y LiNbO3为压电衬底的固态装配型谐振器(SMR)结构的声表面波(SAW)谐振器。通过二维和三维有限元仿真,研究了谐振器结构参数对其性能的影响,并通过流片验证了仿真结果。结果表明,该结构下旋转角37°时谐振器性能最优,且倾斜角度的增加可增强对横向模态杂散的抑制效果,当倾斜角度超过18°后效果减弱并引入新的杂散。倾斜小锤结构在一定程度上能提高谐振器的品质因数(Q)值,由此确定其最佳倾斜角度为15°~18°,且能在抑制杂散和保持Q值间取得平衡,这为高频SAW滤波器提供了设计指导。 展开更多
关键词 固态装配型谐振器(SMR) 声表面波谐振器 有限元仿真 倾斜小锤结构 品质因数
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具有布喇格反射层谐振器带内横模抑制结构设计
2
作者 李磊 帅垚 +5 位作者 李金晔 范维 吴达豪 罗文博 吴传贵 张万里 《压电与声光》 北大核心 2025年第2期262-267,共6页
研究了基于X切铌酸锂材料且具有布喇格反射层结构的谐振器,通过有限元(FEM)仿真模拟计算了面内旋转角和Al电极厚度对机电耦合系数、相速度和阻抗比的影响。搭建三维有限元(3D FEM)结构探究了谐振器带内的横向模式与半周期的关系,并对比... 研究了基于X切铌酸锂材料且具有布喇格反射层结构的谐振器,通过有限元(FEM)仿真模拟计算了面内旋转角和Al电极厚度对机电耦合系数、相速度和阻抗比的影响。搭建三维有限元(3D FEM)结构探究了谐振器带内的横向模式与半周期的关系,并对比了两种小锤结构对横向模式的抑制作用,小锤结构无法对SMR谐振器的横向模式进行有效抑制。设计了3种加权谐振器结构,分别是加权无假指、加权有假指和加权有小锤。实验对比了普通谐振器与3种加权谐振器的性能。结果表明,3种加权谐振器的机电耦合系数(K^(2))都超过了15%,阻抗比约为60 dB,均对带内横向模式有明显的抑制作用。 展开更多
关键词 声表面波谐振器 S_(0)模态 X切LN 横向模式抑制 加权结构
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基于矢量阅读器的声表面波传感器频率估计优化
3
作者 卢铭瑞 徐静宁 +2 位作者 蔡飞达 张勇斌 赵万生 《压电与声光》 北大核心 2025年第2期238-245,共8页
在进行无线无源声表面波(SAW)传感器测量时,谐振频率估计的稳定性不佳会限制声表面波阅读器测量系统的性能。为提高频率估计的稳定性,基于传统功率谱频率估计方法引入了相位检波技术,设计了一种矢量阅读器架构以获取矢量频谱,并提出了... 在进行无线无源声表面波(SAW)传感器测量时,谐振频率估计的稳定性不佳会限制声表面波阅读器测量系统的性能。为提高频率估计的稳定性,基于传统功率谱频率估计方法引入了相位检波技术,设计了一种矢量阅读器架构以获取矢量频谱,并提出了一种结合相位测量和滤波处理的优化方法。该方法采用逆快速傅里叶变换(IFFT)和有限冲激响应(FIR)滤波方法提升回波信号的信噪比,并结合多种模型拟合方法,针对不同峰型特征的谐振频率进行优化估计。为验证该方法的有效性,构建了SAW传感器无线无源测试平台,并开展了无线频率测试实验。采集多组SAW回波信号数据进行处理。实验结果表明,经过滤波处理后,回波信号的信噪比提升了约17 dB,而结合拟合方法优化后,谐振频率估计的标准差低于0.5 kHz。该方法能有效提高声表面波阅读器系统的频率估计灵敏度和稳定性。 展开更多
关键词 声表面波 谐振频率估计 无线无源矢量阅读器 有限冲激响应滤波 信号拟合方法
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基于二氧化钒的可重构声表面波谐振器
4
作者 宫傲 何伟 +3 位作者 郭乙龙 白焱 黄秋钦 黄文 《压电与声光》 北大核心 2025年第2期203-208,共6页
仿真设计了一款新颖的可重构声表面波(SAW)谐振器。该设计将相变材料二氧化钒(VO_(2))与谐振器集成在同一芯片上,实现了紧凑的可重构谐振器。利用VO_(2)的相变特性,以VO_(2)替代SAW谐振器的部分电极。通过温度控制SAW谐振器中VO_(2)电... 仿真设计了一款新颖的可重构声表面波(SAW)谐振器。该设计将相变材料二氧化钒(VO_(2))与谐振器集成在同一芯片上,实现了紧凑的可重构谐振器。利用VO_(2)的相变特性,以VO_(2)替代SAW谐振器的部分电极。通过温度控制SAW谐振器中VO_(2)电极的工作状态,实现SAW谐振器频率在两种不同状态之间的调谐。设计的电极宽度为1.15μm(理论波长λ为4.6μm)的可重构谐振器,仿真结果显示其频率可在472 MHz和774 MHz两种状态下进行调谐,机电耦合系数分别为7.1%和5.6%,同时调谐范围高达302 MHz。为使设计的可重构谐振器具有更优的性能,对可重构谐振器的电极厚度进行参数化仿真,当电极厚度为0.12λ时,SAW谐振器的机电耦合系数最高,为后续可重构SAW滤波器提供了更大的带宽。同时还提出了基于VO_(2)的可重构SAW谐振器的工艺流程思路,这为设计应用于实际提供了指导。 展开更多
关键词 声表面波谐振器 二氧化钒 频率调谐 电极厚度 机电耦合系数
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声表面波谐振器无损测量多结构薄膜几何参数的仿真
5
作者 刘卓 肖夏 +1 位作者 张晋菘 张立 《压电与声光》 北大核心 2025年第3期465-473,共9页
提出了一种基于铌酸锂(LiNbO3)的便携式单端口声表面波(SAW)谐振器无损检测多种结构薄膜几何特征的新方法,测量的薄膜结构包括单层金属薄膜、双层薄膜和大马士革结构薄膜。采用有限元法进行仿真得到S参数曲线,再拟合得到一定范围内的SA... 提出了一种基于铌酸锂(LiNbO3)的便携式单端口声表面波(SAW)谐振器无损检测多种结构薄膜几何特征的新方法,测量的薄膜结构包括单层金属薄膜、双层薄膜和大马士革结构薄膜。采用有限元法进行仿真得到S参数曲线,再拟合得到一定范围内的SAW谐振器谐振频率与相应几何参数的关系曲线,并用三阶多项式表示。结果表明,拟合曲线可决系数R2均大于0.999 0,说明所得拟合多项式能较为准确地表征几何特征与谐振器谐振频率的关系。通过所提方法测量未知几何尺寸样片的谐振频率后代入相应关系式,即可计算出对应的样片几何尺寸。验证了SAW谐振器在薄膜几何特征的快速无损检测方面具有较大潜力。 展开更多
关键词 无损检测 声表面波谐振器 有限元法 薄膜 大马士革结构
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基于声表面波传感器的转子叶片应变无线测量研究 被引量：3
6
作者 杨正兵 肖潇 +1 位作者 彭斌 吴亚锋 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2024年第1期6-9,共4页
声表面波传感器可以实现无线无源工作,该特性使其在高速旋转部件测试中有重要的应用前景。利用硅酸镓镧压电晶体设计并制备了谐振型SAW传感器,研究了其应变敏感特性,并成功应用于转子叶片应变的无线测试试验。结果表明,所制备的SAW传感... 声表面波传感器可以实现无线无源工作,该特性使其在高速旋转部件测试中有重要的应用前景。利用硅酸镓镧压电晶体设计并制备了谐振型SAW传感器,研究了其应变敏感特性,并成功应用于转子叶片应变的无线测试试验。结果表明,所制备的SAW传感器的谐振频率为217.794 MHz,品质因子达到5807,应变灵敏度为-317 Hz/με。在3000~15000 r/min转速下,无线测试了转子叶片应变,测试结果与电阻应变计测量结果及有限元仿真计算结果基本一致。研究结果可以为SAW传感器在高速旋转设备的无线测试工程应用提供参考。 展开更多
关键词 声表面波 谐振频率 无线测量 转子叶片 应变
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基于软件无线电方案无线无源SAW温度阅读器设计 被引量：1
7
作者 王其豪 曹俊豪 +1 位作者 张光祖 罗为 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第1期22-25,共4页
目前谐振型声表面波(SAW)阅读器射频电路大多采取分立器件设计,针对系统整体工作频段受限,硬件设计繁琐的问题,该文提出了一种软件无线电方案。软件无线电系统主体由ZYNQ和AD9361组成,射频收发端口添加LNA、PA进行信号功率放大,使用射... 目前谐振型声表面波(SAW)阅读器射频电路大多采取分立器件设计,针对系统整体工作频段受限,硬件设计繁琐的问题,该文提出了一种软件无线电方案。软件无线电系统主体由ZYNQ和AD9361组成,射频收发端口添加LNA、PA进行信号功率放大,使用射频开关隔离收发。通过发射步进频率5 kHz、带宽1 MHz扫频信号,并对回波进行频谱分析求取最大值,最终得到谐振频率。针对SAW传感器回波持续时间较短而导致FFT计算分辨率的不足,使用重复采集增加数据长度,将阅读器的分辨率提高到468.75 Hz。实验结果表明,该阅读器能够正确探测传感器温度变化。 展开更多
关键词 声表面波 SAW谐振器 AD9361 软件无线电 ZYNQ
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面内传播方向对SAW滤波器性能的影响研究
8
作者 朱建宇 魏子杰 +7 位作者 范维 李沛然 钱一聪 帅垚 吴传贵 罗文博 潘忻强 张万里 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第4期435-438,共4页
为了满足窄带声表面波滤波器对品质因数Q值和带外抑制日益增长的需求,提出了一种窄带滤波器设计方法。在基于新型POI结构谐振器的基础上,通过旋转谐振器达到改变波传播角度的目的,并利用二维全模型得到准确的实验数据,与原结构谐振器分... 为了满足窄带声表面波滤波器对品质因数Q值和带外抑制日益增长的需求,提出了一种窄带滤波器设计方法。在基于新型POI结构谐振器的基础上,通过旋转谐振器达到改变波传播角度的目的,并利用二维全模型得到准确的实验数据,与原结构谐振器分别代入滤波器设计中进行比较。实验结果表明,该方法在一定程度上能够有效地增加带外抑制,对过渡带抑制能力有2~4 dB的提升,且具有设计简便,占用空间小等优点。 展开更多
关键词 声表面波(SAW) 窄带 谐振器 带外抑制 压电材料
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具有片上电感的改进型梯形声表面波滤波器
9
作者 杨茂坤 帅垚 +3 位作者 魏子杰 吴传贵 罗文博 张万里 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第4期439-442,共4页
针对小体积声表面波(SAW)滤波器性能受封装影响较大的问题,提出了一种新型SAW梯形滤波器电路拓扑结构。通过分析滤波器高频受封装影响造成的远端抑制上翘的现象,从电路结构出发,改变版图设计,实现了片上电感。采用传统梯形滤波器结构和... 针对小体积声表面波(SAW)滤波器性能受封装影响较大的问题,提出了一种新型SAW梯形滤波器电路拓扑结构。通过分析滤波器高频受封装影响造成的远端抑制上翘的现象,从电路结构出发,改变版图设计,实现了片上电感。采用传统梯形滤波器结构和利用纵向耦合双模谐振器型滤波器(DMS)特殊接地结构相结合的电路拓扑结构,有助于提高带外抑制和设计灵活性。在标准的42°Y-X钽酸锂(LiTaO_(3))基板上制作滤波器,通过仿真分析得到中心频率2580 MHz、带宽50 MHz、插入损耗小于2.5 dB的高阶梯形射频SAW滤波器的最优拓扑结构。测试结果表明,通过改变电路拓扑结构关键参数和引入新的传输零点,可改善在高频段内的带外抑制特性。 展开更多
关键词 封装 声表面波(SAW)滤波器 片上电感 DMS结构 传输零点 带外抑制
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LGS声学特性分析及自然单向性抑制方法
10
作者 孙铭辰 胡梵冰 +1 位作者 程利娜 王文 《压电与声光》 北大核心 2024年第6期890-893,共4页
(0°,138.5°,26.5°)硅酸镓镧(LGS)基底存在的自然单向性导致声能叠加不完全,出现了能量泄露。分析了表面负载不同厚度的Pt薄层时,(0°,138.5°,26.5°)LGS衬底的声学特性变化,结果表明,Pt薄层的归一化厚度在2... (0°,138.5°,26.5°)硅酸镓镧(LGS)基底存在的自然单向性导致声能叠加不完全,出现了能量泄露。分析了表面负载不同厚度的Pt薄层时,(0°,138.5°,26.5°)LGS衬底的声学特性变化,结果表明,Pt薄层的归一化厚度在2%~3%时,LGS基底慢度曲线对称性显著改善。采用有限元法,结合三维周期性模型频响曲线验证了理论计算结果的有效性,并进一步分析了归一化厚度为2.5%~2.9%的Pt/LGS频响结果。结果表明,h/λ=2.7%和2.8%时第二谐振峰完全消失,基底自然单向性被完全抑制。为抑制(0°,138.5°,26.5°)LGS基底自然单向性提供了最佳Pt电极厚度,能有效抑制双谐振峰的出现,减少能量泄露,为高性能谐振器设计提供了理论基础。 展开更多
关键词 硅酸镓镧(LGS) 声表面波(SAW) 谐振器 自然单向性 有限元法
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一种高精度声表面波扭矩传感器
11
作者 周硕 高孜航 +2 位作者 肖强 王为标 范彦平 《压电与声光》 北大核心 2024年第6期865-870,877,共7页
扭矩测量是衡量动力系统输出功率是否满足运行指标的重要手段,是动力设备运行状态和故障预警的关键信息来源。声表面波(SAW)传感器无源无线的特点有利于旋转工况下的转轴扭矩测量,避免了有源扭矩传感器在扭矩测量中能量和信号难以传输... 扭矩测量是衡量动力系统输出功率是否满足运行指标的重要手段,是动力设备运行状态和故障预警的关键信息来源。声表面波(SAW)传感器无源无线的特点有利于旋转工况下的转轴扭矩测量,避免了有源扭矩传感器在扭矩测量中能量和信号难以传输的问题。为实现高精度的声表面波扭矩传感,从压电基底材料选择、高品质因数(Q)值谐振器设计以及高精度SAW传感器回波信号频率解调算法三方面考虑,设计了一种高精度声表面波扭矩传感器。对所设计的声表面波扭矩传感器进行测试,结果表明,扭矩传感器的加载非线性误差为0.183%,卸载非线性误差为0.160%,加载重复性为0.260%,卸载重复性为0.103%,迟滞为0.299%,实现了一种高精度的无源扭矩传感。 展开更多
关键词 声表面波 扭矩传感器 谐振器设计 有限元 频率解调算法
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飞机结冰探测技术 被引量：57
12
作者 张杰 周磊 +1 位作者 张洪 叶林 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第12期1578-1586,共9页
飞机结冰探测对于保障飞机飞行安全具有重要的意义,目前国外飞机结冰传感技术发展已较为成熟。文中根据结冰传感器不同的工作原理,分别按光学法、热学法、电学法、机械法、波导法等进行分类,对国内外已成型的结冰传感器或正在研发的新... 飞机结冰探测对于保障飞机飞行安全具有重要的意义,目前国外飞机结冰传感技术发展已较为成熟。文中根据结冰传感器不同的工作原理,分别按光学法、热学法、电学法、机械法、波导法等进行分类,对国内外已成型的结冰传感器或正在研发的新技术作了一个概述,介绍了各自的工作原理、性能特点及研究现状。 展开更多
关键词 结冰传感器 光纤 谐振 磁致伸缩 声表面波 声板波
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声表面波谐振器的时域响应特性研究 被引量：13
13
作者 李平 文玉梅 +1 位作者 王军峰 黄尚廉 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2003年第2期87-90,97,共5页
由于电磁波的速度比声表面波的速度快得多,叉指换能器在进行电声转换的同时,也降低了信号能量流的速度,在一定时间内蓄积了电磁能量,所以当电磁激励结束后的一定时间内,声表面波器件仍然有瞬态输出,这是声表器件实现无源无线传感的物理... 由于电磁波的速度比声表面波的速度快得多,叉指换能器在进行电声转换的同时,也降低了信号能量流的速度,在一定时间内蓄积了电磁能量,所以当电磁激励结束后的一定时间内,声表面波器件仍然有瞬态输出,这是声表器件实现无源无线传感的物理基础。该文通过推导声表面波谐振器各部分的冲激响应函数,得到谐振器的冲激响应,据此分析研究声表面波谐振器在各种激励下的响应波形和特征。分析表明声表面波谐振器的瞬态响应完全反映了器件的性能参数。 展开更多
关键词 声表面波 声表面波器件 声表面波谐振器 时域分析
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高接收信噪比的远距离SAW传感系统研究 被引量：6
14
作者 李平 谢华 +2 位作者 文玉梅 蔡飞 杨玲玲 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第6期1293-1298,共6页
远距离的声表面波传感系统具有广泛的应用前景。为增加查询距离,需提高接收通道回波信噪比。针对接收通道干扰信号与传感响应信号频率一致且难以消除等问题,提出了一种能够在接收期间通过调节发射信号频率改变干扰信号与响应信号频率差... 远距离的声表面波传感系统具有广泛的应用前景。为增加查询距离,需提高接收通道回波信噪比。针对接收通道干扰信号与传感响应信号频率一致且难以消除等问题,提出了一种能够在接收期间通过调节发射信号频率改变干扰信号与响应信号频率差,以频率不同抑制干扰信号,进而提高信噪比的方法。设计并测试了实验系统。实验结果表明,该方法能有效提高回波信号信噪比10.68 dB,实测查询距离大于16 m。该方法为远程无源无线传感测量提供了保证,具有实际应用价值。 展开更多
关键词 声表面波 谐振器 无源无线传感
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智能PKE系统设计 被引量：9
15
作者 刘正琼 韦康 +1 位作者 吴玺 孙述鹏 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第S1期319-322,346,共5页
随着汽车越来越向智能化和人性化发展,PKE系统将会成为汽车门禁系统的主流。本文介绍了一种新的汽车智能无匙门控系统设计方案,给出具体的软、硬件设计,并对设计中的关键技术进行详细的描述。该系统功耗低、收发距离远、可靠性及安全性... 随着汽车越来越向智能化和人性化发展,PKE系统将会成为汽车门禁系统的主流。本文介绍了一种新的汽车智能无匙门控系统设计方案,给出具体的软、硬件设计,并对设计中的关键技术进行详细的描述。该系统功耗低、收发距离远、可靠性及安全性高,具有很好的应用前景。 展开更多
关键词 被动无匙门控 智能应答器 KEELOQ滚码编码 声表面波谐振器
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基于COMSOL的声表面波标签仿真 被引量：12
16
作者 卢旭 陈智军 +2 位作者 黄鑫 陈涛 夏前亮 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2012年第4期494-497,共4页
以有限元法为基础,利用有限元软件COMSOL对声表面波标签进行仿真。声表面波标签的基片材料为铌酸锂压电单晶,叉指换能器与反射栅采用金属铝电极。通过频率特性仿真,提取了标签的谐振频率和反谐振频率,分析了叉指换能器金属电极对谐振频... 以有限元法为基础,利用有限元软件COMSOL对声表面波标签进行仿真。声表面波标签的基片材料为铌酸锂压电单晶,叉指换能器与反射栅采用金属铝电极。通过频率特性仿真,提取了标签的谐振频率和反谐振频率,分析了叉指换能器金属电极对谐振频率的影响,获得了标签的幅频特性曲线。通过回波特性仿真,研究了不同反射栅编码对应的回波脉冲,分析了反射栅金属电极对回波脉冲的影响。 展开更多
关键词 声表面波标签 有限元 叉指换能器 反射栅 谐振频率 回波脉冲
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声表面波阅读器的发射链路设计与实现 被引量：5
17
作者 黄鑫 陈智军 +2 位作者 李庆亮 陈涛 高智翔 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2013年第2期165-169,173,共6页
在声表面波射频识别系统的实现过程中,性能稳定的阅读器发射链路不可或缺。在典型发射链路结构的基础上进行改进,设计了声表面波阅读器的发射链路。其改进结构采用零中频调制原理,通过射频开关实现了发射信号的调制和收发隔离,省略了上... 在声表面波射频识别系统的实现过程中,性能稳定的阅读器发射链路不可或缺。在典型发射链路结构的基础上进行改进,设计了声表面波阅读器的发射链路。其改进结构采用零中频调制原理,通过射频开关实现了发射信号的调制和收发隔离,省略了上变频电路和环形器,在简化电路的同时减小了干扰。对本振、功放、射频开关等重要的发射链路组成部分进行了研究,完成了发射链路各功能电路的模块化设计与制作,并通过实验对设计要求进行了验证。 展开更多
关键词 声表面波 阅读器 发射链路 本振 功放 射频开关
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一种谐振型声表面波传感器 被引量：4
18
作者 蔡萍 马伟方 施文康 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2000年第7期4-5,共2页
文中阐述了一种谐振型声表面波传感器的结构和工作原理 ,介绍其测试机理和数据处理方法。通过实验证明了其在理论和技术上的可行性。
关键词 声表面波 谐振 传感器 测试装置 数据处理
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高阻带抑制宽带低损耗声表面波滤波器研究 被引量：7
19
作者 毛世平 曾庆高 +2 位作者 陈彦光 蒋世义 彭昱皓 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2018年第3期337-339,共3页
基于分布间隙纵向耦合五换能器结构,加入谐振器单元,采用41°Y-X LiNbO_3基片材料,通过优化设计,研制出中心频率232 MHz,3dB带宽23.2 MHz的声表面波滤波器。该产品的插入损耗为-1.9dB,相对带宽达到10%,矩形系数2.2,阻带抑制大于50dB... 基于分布间隙纵向耦合五换能器结构,加入谐振器单元,采用41°Y-X LiNbO_3基片材料,通过优化设计,研制出中心频率232 MHz,3dB带宽23.2 MHz的声表面波滤波器。该产品的插入损耗为-1.9dB,相对带宽达到10%,矩形系数2.2,阻带抑制大于50dB,产品综合性能指标优异,有很好的实用性。 展开更多
关键词 大带宽 声表面波滤波器 五换能器 谐振器
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梯形谐振式结构与纵向耦合结构相结合的滤波器 被引量：5
20
作者 刘久玲 何世堂 梁勇 《应用声学》 CSCD 北大核心 2005年第5期269-274,共6页
为了消除纵向耦合谐振式滤波器高端带外邻近通带处的肩膀,本文提出将滤波器与梯形结构相结合,用来改善其近阻带抑制,给出了理论模拟及实验结果。这些结果都验证了方案的可行性。
关键词 声表面波 梯形谐振滤波器 纵向耦合谐振滤波器 近阻带抑制 纵向耦合 滤波器 结构相 谐振式 梯形 理论模拟 通带 阻带
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