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二元Cu-Ti合金系统表面择优溅射研究 被引量:2
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作者 张邦维 《湖南大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 1992年第1期9-13,共5页
本文用低能离子散射谱(ISS)和Auger电子谱(AES)研究了二元非晶态Cu-Ti合金系的表面溅射.实验结果表明Cu是表面择优溅射元素,而控制择优溅射的主要因素是组元的表面化学键合能.随着入射离子能量的增加,贫缺元素Cu在表面上的贫缺程度在Ne^... 本文用低能离子散射谱(ISS)和Auger电子谱(AES)研究了二元非晶态Cu-Ti合金系的表面溅射.实验结果表明Cu是表面择优溅射元素,而控制择优溅射的主要因素是组元的表面化学键合能.随着入射离子能量的增加,贫缺元素Cu在表面上的贫缺程度在Ne^+入射时是减少的,而在He^+入射时则是增加的,文章中讨论了可能的原因. 展开更多
关键词 二元合金 非晶态材料 溅射 ISS AES
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