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软X射线双频光栅设计及制作
被引量：
2
1
作者
刘正坤
刘颖
+2 位作者
邱克强
徐向东
付绍军
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第7期1780-1785,共6页
以软X射线双频光栅作为剪切干涉元件,研究了剪切干涉法在激光等离子体诊断实验中的应用。为提高实验成功率,研究了双频光栅栅线的平行度及光栅效率。根据软X射线双频光栅栅线平行度与剪切干涉系统的干涉图像的关系,理论计算得出光栅平...
以软X射线双频光栅作为剪切干涉元件,研究了剪切干涉法在激光等离子体诊断实验中的应用。为提高实验成功率,研究了双频光栅栅线的平行度及光栅效率。根据软X射线双频光栅栅线平行度与剪切干涉系统的干涉图像的关系,理论计算得出光栅平行度的指标要求。在全息曝光工艺中,通过衍射光斑位置检测法和莫尔条纹法确认光栅平行性,保证光栅平行度达到0.01°。利用合肥国家同步辐射实验室计量站对双频光栅的两组-1级衍射效率进行测试。测试结果显示,光栅平行性满足系统要求,光栅的两组-1级衍射效率均达到10%。软X射线双频光栅剪切干涉实验结果表明,双频光栅平行度及衍射效率满足激光等离子体诊断实验需求。
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关键词
软X射线双频光栅
全息曝光
剪切干涉仪
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职称材料
题名
软X射线双频光栅设计及制作
被引量：
2
1
作者
刘正坤
刘颖
邱克强
徐向东
付绍军
机构
中国科学技术大学国家同步辐射实验室
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第7期1780-1785,共6页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.10975135)
文摘
以软X射线双频光栅作为剪切干涉元件,研究了剪切干涉法在激光等离子体诊断实验中的应用。为提高实验成功率,研究了双频光栅栅线的平行度及光栅效率。根据软X射线双频光栅栅线平行度与剪切干涉系统的干涉图像的关系,理论计算得出光栅平行度的指标要求。在全息曝光工艺中,通过衍射光斑位置检测法和莫尔条纹法确认光栅平行性,保证光栅平行度达到0.01°。利用合肥国家同步辐射实验室计量站对双频光栅的两组-1级衍射效率进行测试。测试结果显示,光栅平行性满足系统要求,光栅的两组-1级衍射效率均达到10%。软X射线双频光栅剪切干涉实验结果表明,双频光栅平行度及衍射效率满足激光等离子体诊断实验需求。
关键词
软X射线双频光栅
全息曝光
剪切干涉仪
Keywords
soft x-ray double frequency grating
holographic exposure
shearing interferometer
分类号
O436.1 [机械工程—光学工程]
TH744.3 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
软X射线双频光栅设计及制作
刘正坤
刘颖
邱克强
徐向东
付绍军
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013
2
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