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Development and Prospect of SiC Power Devices in Power Grid 被引量:42
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作者 SHENG Kuang GUO Qing ZHANG Junming QIAN Zhaoming 《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2012年第30期I0001-I0001,3,共1页
碳化硅作为一种宽禁带材料,具有高击穿场强、高饱和电子漂移速率、高热导率等优点,可以实现高压、大功率、高频、高温应用的新型功率半导体器件。该文对碳化硅功率半导体器件的最新发展进行回顾,包括碳化硅功率二极管、MOSFET、IGBT和... 碳化硅作为一种宽禁带材料,具有高击穿场强、高饱和电子漂移速率、高热导率等优点,可以实现高压、大功率、高频、高温应用的新型功率半导体器件。该文对碳化硅功率半导体器件的最新发展进行回顾,包括碳化硅功率二极管、MOSFET、IGBT和晶闸管,对其在电力系统的应用现状与前景进行展望。高压大容量碳化硅功率半导体器件的迅速发展,将对电力系统的发展带来深远的影响。 展开更多
关键词 功率器件 电网 SiC 电力电子系统 可再生能源资源 展望 半导体开关 能源技术
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陡电压上升率下功率半导体器件封装用有机硅凝胶击穿特性研究
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作者 苏大智 曾福平 +3 位作者 黄萌 钟恒鑫 陈日荣 唐炬 《电机与控制学报》 北大核心 2025年第6期63-70,共8页
现有研究表明,功率器件封装用有机硅凝胶的绝缘强度受脉冲电压边沿时刻的电压上升率影响较大,为此本文聚焦有机硅凝胶在陡电压上升率下的击穿特性开展研究。基于电气设备的典型绝缘结构搭建陡电压上升率击穿实验平台,重点研究不均匀电... 现有研究表明,功率器件封装用有机硅凝胶的绝缘强度受脉冲电压边沿时刻的电压上升率影响较大,为此本文聚焦有机硅凝胶在陡电压上升率下的击穿特性开展研究。基于电气设备的典型绝缘结构搭建陡电压上升率击穿实验平台,重点研究不均匀电场下有机硅凝胶在不同电压上升率的陡波击穿特性,并围绕有机硅凝胶的击穿过程展开初步讨论。结果表明:场致电离理论能够较好地解释有机硅凝胶的击穿过程,气隙缺陷的产生将导致碰撞电离加强,促使缺陷区域逐步扩展,并最终击穿;在稍不均匀电场和极不均匀电场下,有机硅凝胶的击穿场强均随着电压上升率的上升而呈下降趋势,对于绝缘介质的破坏作用也随之增加,但因气隙缺陷内空间电荷的调制作用使击穿场强逐渐趋于稳定;稍不均匀电场下存在明显“面积效应”,使得有机硅凝胶在稍不均匀电场下试样的击穿场强小于极不均匀电场下的击穿场强。研究结果可为IGBT等功率半导体器件的封装可靠性提升提供理论支撑。 展开更多
关键词 有机硅凝胶 陡电压上升率 击穿特性 功率器件 封装绝缘
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三维集成压电与声光器件
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作者 王梓霖 王喆垚 《压电与声光》 北大核心 2025年第1期1-19,共19页
压电与声光器件是组成电子和信息系统必不可少的功能器件。然而,多数压电与声光器件采用特殊材料和工艺制造,难以与硅基的集成电路进行集成,进而影响到系统的性能、体积和成本。近年来三维集成技术的发展为不同材料、不同工艺的压电与... 压电与声光器件是组成电子和信息系统必不可少的功能器件。然而,多数压电与声光器件采用特殊材料和工艺制造,难以与硅基的集成电路进行集成,进而影响到系统的性能、体积和成本。近年来三维集成技术的发展为不同材料、不同工艺的压电与声光器件与硅基电路芯片的异质异构集成开辟了新途径。该文介绍了三维集成的概念、分类和实现方法,并重点介绍了光电、压电材料与器件和硅基电路的异质异构集成方案和研究进展,特别是光子器件以及压电声学器件与电子芯片的集成。 展开更多
关键词 三维集成 压电器件 声光器件 硅芯片
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本征光背入射的平面碳化硅光导开关响应特性
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作者 卢柯润 刘福印 +3 位作者 王日品 刘宇宸 王朗宁 荀涛 《强激光与粒子束》 北大核心 2025年第6期111-116,共6页
平面碳化硅光导开关因可采用本征光触发而具有实现高光电增益的特点,但正面与背面光入射两种触发方式在响应特性上存在显著差异。基于TCAD数值仿真软件,对本征光背入射的平面碳化硅(SiC)光导开关的光电流响应进行研究,对比本征光触发下... 平面碳化硅光导开关因可采用本征光触发而具有实现高光电增益的特点,但正面与背面光入射两种触发方式在响应特性上存在显著差异。基于TCAD数值仿真软件,对本征光背入射的平面碳化硅(SiC)光导开关的光电流响应进行研究,对比本征光触发下不同衬底厚度、不同光功率下器件正面与背面入光输出光电流,并对器件内部电流与电场分布状态进行对比分析,最终对厚度为50μm的平面SiC光导开关进行了正面、背面触发实验测试。实验结果表明,40 kW峰值光功率下,与正面触发相比,背面触发器件的导通电阻减少了40%,验证了背面入光器件光电转换效率高的特点,且背面触发器件内部电场、电流更加均匀,更有利于提高器件高功率容量。结果为平面光导开关本征触发提供仿真与实验参考。 展开更多
关键词 光导开关 碳化硅 背面光入射 平面型器件 半导体仿真
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基于器件物理的高压SiC MOSFET短路故障行为模型
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作者 巫以凡 李驰 +2 位作者 徐云飞 郑泽东 郝一 《电工技术学报》 北大核心 2025年第16期5013-5028,共16页
碳化硅(SiC)MOSFET器件的短路耐受能力差是阻碍其广泛应用的关键难题,对于国产高压SiC MOSFET器件,其短路保护研发缺乏有力的技术、经验支撑。同时,缺乏快速、准确的仿真模型也是国产高压SiC MOSFET器件应用研发面临的核心问题之一。为... 碳化硅(SiC)MOSFET器件的短路耐受能力差是阻碍其广泛应用的关键难题,对于国产高压SiC MOSFET器件,其短路保护研发缺乏有力的技术、经验支撑。同时,缺乏快速、准确的仿真模型也是国产高压SiC MOSFET器件应用研发面临的核心问题之一。为此,该文提出一种适用于高压SiC MOSFET器件的、考虑器件实际物理特性的、可准确描述器件短路故障中电流、电压等外特性的行为模型。该行为模型针对高压SiC MOSFET的特点修正沟道电流模型中的电压,并基于元胞层面的电流路径对JFET区及漂移区电阻进行建模。该模型考虑了国产高压SiC MOSFET的实际器件设计、工艺等因素的影响,依据半导体、器件物理计算模型的关键参数,提升模型在短路故障仿真中的精度。并且,该文明确了模型所用参数的提取方法,其中关键参数获取自器件设计环节,建立起器件设计者与应用者之间的桥梁。最后,对国网智能电网研究院有限公司研制的6.5 kV/400 A SiC MOSFET器件开展短路测试实验,仿真结果与实验结果表现出较好的一致性,短路电流关键特征的相对误差小于2.5%,验证了该行为模型的准确性。 展开更多
关键词 碳化硅MOSFET 高压功率器件 行为模型 短路故障 参数提取
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一种新型可调驱动电压的SiC/Si混合开关驱动电路 被引量:1
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作者 付永升 任海鹏 《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2024年第7期2774-2785,I0021,共13页
为提高碳化硅金属氧化物半导体场效应晶体管(silicon carbide metal oxide semiconductor filed effect transistor,SiC-MOSFET)与硅基绝缘栅极双极晶体管(silicon insulated gate bipolar transistor,Si-IGBT)并联混合开关(SiC/Si hybr... 为提高碳化硅金属氧化物半导体场效应晶体管(silicon carbide metal oxide semiconductor filed effect transistor,SiC-MOSFET)与硅基绝缘栅极双极晶体管(silicon insulated gate bipolar transistor,Si-IGBT)并联混合开关(SiC/Si hybrid switch,SiC/Si HyS)的可靠性与适用性,该文提出一种可变驱动电压的SiC/Si HyS栅极驱动电路结构,采用一路脉冲宽度调制(pulse width modulation,PWM)控制信号和一个驱动芯片产生不同电压幅值的栅极控制信号,分别控制SiC/Si HyS中的SiC-MOSFET和Si-IGBT。相比于传统采用2个独立驱动电路的SiC/Si HyS驱动结构,该驱动电路大幅度降低SiC/Si HyS栅极驱动电路的复杂度,降低SiC-MOSFET关断过程中Si-IGBT误导通的可能性,提升混合开关的工作可靠性。该文首先分析所设计驱动电路工作原理,给出驱动电压调节方法;其次,建立耦合电容端电压纹波和系统启动时电容端电压暂态数学模型,通过仿真和实验验证模型准确性;搭建2 kW的SiC/Si混合开关Buck电路,验证该文所提混合开关驱动电路可行性,从SiC/Si HyS功率器件关断损耗、驱动电路功率损耗、成本以及体积4个方面分析所提驱动结构的优势。 展开更多
关键词 宽禁带半导体器件 碳化硅金属氧化物半导体场效应晶体管 硅基绝缘栅极双极晶体管 混合开关 门极驱动电路 耦合电容
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MEMS高温压力传感器耐高温引线结构优化 被引量:2
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作者 刘润鹏 雷程 +1 位作者 梁庭 杜康乐 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第3期386-391,共6页
绝缘体上硅(SOI)高温压力传感器可在高温(高于125℃)下工作。通常情况下构成惠斯通电桥的电阻单独处于压力敏感区,以提高其灵敏度,但在其工作期间压力传感器器件区电阻重掺区与金属引线连接处存在一定高度差,在加压加电高温环境下此处... 绝缘体上硅(SOI)高温压力传感器可在高温(高于125℃)下工作。通常情况下构成惠斯通电桥的电阻单独处于压力敏感区,以提高其灵敏度,但在其工作期间压力传感器器件区电阻重掺区与金属引线连接处存在一定高度差,在加压加电高温环境下此处热应力变大,金属引线因过热而出现金属引线断裂或失效,无法满足高温需求。在此基础上研究了一种硅引线技术,使其与压敏电阻处于同一高度层,金属引线平铺在硅引线上端,经退火后形成良好的欧姆接触。实验测试表明,该方案能使压力传感器在300℃高温环境下正常工作,金属引线与电阻区连接完好,传感器敏感区应力降低接近50%,且优化后传感器灵敏度符合设计要求。 展开更多
关键词 绝缘体上硅(SOI) 高温压力传感器 器件区电阻 高度差 硅引线
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不同结构及新型材料在硅基光电探测器上的应用展望 被引量:1
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作者 李浩杰 冯松 +3 位作者 胡祥建 后林军 欧阳杰 郭少凯 《航空兵器》 CSCD 北大核心 2024年第1期13-22,共10页
硅基光电探测器是硅光子集成电路中的核心器件,在导弹制导系统中起着高效探测目标并精确跟踪目标的关键作用。本文综述了国内外关于硅基光电探测器的研究进展和应用前景,并探讨了不同结构和材料对探测器性能的影响。通过回顾相关文献并... 硅基光电探测器是硅光子集成电路中的核心器件,在导弹制导系统中起着高效探测目标并精确跟踪目标的关键作用。本文综述了国内外关于硅基光电探测器的研究进展和应用前景,并探讨了不同结构和材料对探测器性能的影响。通过回顾相关文献并分析研究成果,重点关注了PIN结构、肖特基结构、GeSn材料和二维材料在硅基光电探测器中的应用情况。随着研究的深入,硅基光电探测器的响应速度和灵敏度得到了显著提高,并且实现了对从紫外波段到红外波段宽范围内的探测需求,旨在提高硅基光电探测器的响应度、缩短响应时间和降低暗电流的同时,探索新的结构和材料,以进一步拓展硅基光电探测器在红外成像和光通信系统等领域的应用范围。 展开更多
关键词 硅基 硅光子学 硅光子器件 光电探测器 导弹制导 红外成像
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硅基InGaN/GaN多量子阱微盘器件的发光、探测和数据传输 被引量:2
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作者 秦飞飞 卢雪瑶 +6 位作者 王潇璇 吴佳启 曹越 张蕾 樊学峰 朱刚毅 王永进 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第6期978-985,共8页
光源和探测器的集成可有效促进轻量化和小型化光电系统的发展,InGaN/GaN多量子阱器件中发光与探测共存现象为收发一体芯片的设计提供了可能。本文采用标准半导体工艺制备了硅片上集成的圆盘形InGaN/GaN多量子阱阵列器件,并对其发光、探... 光源和探测器的集成可有效促进轻量化和小型化光电系统的发展,InGaN/GaN多量子阱器件中发光与探测共存现象为收发一体芯片的设计提供了可能。本文采用标准半导体工艺制备了硅片上集成的圆盘形InGaN/GaN多量子阱阵列器件,并对其发光、探测以及基本通信特性进行了研究。微盘型器件中的共振模式有助于提升其探测特性,同时各向同性的辐射特性有助于器件作为光源时与探测器在空间上的耦合。作为光源,该器件的开启电压为2.5 V,中心波长455 nm,-3 dB带宽为5.4 MHz。作为探测器,该器件对紫外到蓝光波段的光有响应,探测性能随波长增加而减弱,截止波长450 nm。在365 nm光源激发下,该器件具有最高开关比7.2×10^(4),下降沿时间为0.41 ms。同时,基于单个微盘器件,本文构建并演示了半双工通信系统,在不同频段实现数据传输。这项研究对于电驱动光源制备以及收发一体的光通信具有重要意义。 展开更多
关键词 硅基InGaN/GaN 多量子阱器件 发光与探测 半双工通信
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硅光子调制器行波电极研究进展
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作者 江汉 高维宇 +5 位作者 李天文 范永杰 张志群 桂进斌 陈华 方青 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2024年第6期998-1004,共7页
硅光子调制器是硅基光学链路中重要的电光转换元件,而行波电极作为硅光调制器承载微波信号的关键部分,其性能是决定调制器的调制效率和传输损耗的关键因素。目前,行波电极的设计主要分为共面波导结构(Coplanar Waveguide,CPW)和共面带... 硅光子调制器是硅基光学链路中重要的电光转换元件,而行波电极作为硅光调制器承载微波信号的关键部分,其性能是决定调制器的调制效率和传输损耗的关键因素。目前,行波电极的设计主要分为共面波导结构(Coplanar Waveguide,CPW)和共面带状线结构(Coplanar Stripline,CPS),共面带状线相对于共面波导具有更大的设计匹配范围,但信号屏蔽能力会低于CPW的双接地系统,导致高阶模式激发和多模干涉等问题出现。为优化调制器性能,许多学者提出手指形延伸电极,T型延伸电极,分段电极等形状来优化电极结构,实现阻抗匹配的同时,增强电光相互作用并降低传输损耗。本文综述了国内外学者对于行波电极的研究成果,并对行波电极的发展趋势进行了分析与展望。 展开更多
关键词 光电器件 调制器 行波电极
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硅基异质结中波红外光电探测器的研究进展
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作者 曾雨玲 冯松 +3 位作者 马保科 何心怡 吴鉴洋 李浩杰 《航空兵器》 CSCD 北大核心 2024年第6期36-43,共8页
中波红外光电探测器是一种重要的光电探测设备,利用光电效应将红外辐射转化为电信号,广泛应用于制导、无人机、战斗机等平台,在目标探测、跟踪和识别方面有着重要作用。而硅基异质结中波红外光电探测器以硅材料为基础,结合了成熟的硅器... 中波红外光电探测器是一种重要的光电探测设备,利用光电效应将红外辐射转化为电信号,广泛应用于制导、无人机、战斗机等平台,在目标探测、跟踪和识别方面有着重要作用。而硅基异质结中波红外光电探测器以硅材料为基础,结合了成熟的硅器件工艺和红外探测性能,具有低成本、易制备、高集成等优势,成为突破传统硅基光电子器件瓶颈的契机。随着研究的不断进步,硅基异质结中波红外光电探测器在各个方面都取得了很大的进展,为红外光电探测技术带来了新的机遇和挑战。本文从不同材料的硅基异质结进行了讨论,具体阐述了新型锗/硅,石墨烯/硅和化合物半导体/硅中波红外光电探测器的研究发展,分析对比了不同材料的探测器的优点。 展开更多
关键词 半导体器件 光电器件 探测器 中波红外 硅基异质结
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氧化硅水平隧穿结电子源及其应用
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作者 朱韬远 李志伟 +2 位作者 詹芳媛 杨威 魏贤龙 《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第9期737-748,共12页
电子源是真空电子设备的核心部件,片上微型电子源是实现微型化、片上化真空电子器件的关键和基础。氧化硅水平隧穿结电子源是本课题组近几年发展的一种新型片上微型电子源,其具有发射效率高、发射电流密度大、工作电压低、能耐受粗真空... 电子源是真空电子设备的核心部件,片上微型电子源是实现微型化、片上化真空电子器件的关键和基础。氧化硅水平隧穿结电子源是本课题组近几年发展的一种新型片上微型电子源,其具有发射效率高、发射电流密度大、工作电压低、能耐受粗真空和时间响应快等优点,展现出较大的应用潜力。文章将从电子发射微观过程及理论模型、阵列化集成以及在真空电子器件中的应用三个方面系统介绍氧化硅水平隧穿结电子源,并对本课题组在该方向上所做的工作进行梳理与总结。 展开更多
关键词 氧化硅水平隧穿结电子源 片上微型电子源 微型真空电子器件
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焦化汽柴油加氢捕硅剂的制备及性能评价 被引量:1
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作者 杨国明 王连英 +3 位作者 刘孝川 韩龙年 张海洪 王宁 《石油与天然气化工》 CAS CSCD 北大核心 2024年第2期23-27,共5页
目的脱除焦化汽柴油馏分中的有机硅化合物,避免催化剂硅中毒。方法以拟薄水铝石粉为载体制备原料,镍钼为活性金属组分,采用等体积浸渍法制备了加氢捕硅剂,利用N 2吸附脱附、X射线衍射、吡啶红外光谱、扫描电镜等方法对其进行分析表征,并... 目的脱除焦化汽柴油馏分中的有机硅化合物,避免催化剂硅中毒。方法以拟薄水铝石粉为载体制备原料,镍钼为活性金属组分,采用等体积浸渍法制备了加氢捕硅剂,利用N 2吸附脱附、X射线衍射、吡啶红外光谱、扫描电镜等方法对其进行分析表征,并在200 mL加氢中试装置上考查了捕硅剂的脱硅活性和2000 h活性稳定性。结果自主开发的捕硅剂比表面积和孔容较高,酸性适宜,活性金属分布均匀,强度满足工业装置装填要求。捕硅剂的脱硅活性较高,在典型的工业条件下,脱硅率>90%,在2000 h活性稳定性试验过程中,脱硅率稳定>90%,活性稳定性良好,且具有较高的容硅能力。结论自主开发的捕硅剂具有广阔的工业应用前景,对清洁燃料的生产及保护装置的长周期稳定运行具有十分重要的意义。 展开更多
关键词 焦化汽柴油 加氢捕硅剂 脱硅 物性分析 中试装置
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基于亚波长光栅辅助定向耦合器的集成铌酸锂偏振分束器 被引量:1
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作者 陈力 周旭东 +2 位作者 袁明瑞 肖恢芙 田永辉 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2024年第3期465-471,共7页
绝缘体上铌酸锂(LNOI)是实现高速光子集成回路(PICs)的理想平台。通过充分利用铌酸锂(LN)的优势,LNOI平台能够实现高速电光和高效非线性光学集成器件。偏振分束器(PBS)作为分离和组合两种正交偏振光模式的关键无源器件之一,在实现片上... 绝缘体上铌酸锂(LNOI)是实现高速光子集成回路(PICs)的理想平台。通过充分利用铌酸锂(LN)的优势,LNOI平台能够实现高速电光和高效非线性光学集成器件。偏振分束器(PBS)作为分离和组合两种正交偏振光模式的关键无源器件之一,在实现片上偏振复用系统并提升光通信系统数据传输容量方面发挥着至关重要的作用。近年来,基于不同结构的PBS已经被成功实现,其中,基于亚波长光栅辅助定向耦合结构的PBS表现出优异的器件性能和紧凑的器件尺寸。本文基于氮化硅-铌酸锂异质集成的间接刻蚀方案,实现了一种亚波长光栅辅助定向耦合结构的高性能PBS。仿真结果表明,当波长在1500~1600 nm时,器件的偏振消光比均大于24.49 dB。实验数据进一步证实,当波长在1500~1580 nm时,器件偏振消光比均大于18.06 dB。 展开更多
关键词 薄膜铌酸锂集成光子学 氮化硅-铌酸锂 偏振调控器件 偏振分束器 亚波长光栅 定向耦合器
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一种基于多模干涉波导的超低尺寸波分复用器
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作者 董锦晓 刘世平 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2024年第7期1172-1176,共5页
波分复用/解复用器作为数据传输的核心器件,广泛应用于片上光互联网络中,其中最重要的指标就是器件的尺寸,插入损耗和串扰大小,为解决传统硅基阵列波导光栅尺寸较大,阵列波导光栅光强不均的问题,我们提出了一种基于绝缘体上硅(SOI)的环... 波分复用/解复用器作为数据传输的核心器件,广泛应用于片上光互联网络中,其中最重要的指标就是器件的尺寸,插入损耗和串扰大小,为解决传统硅基阵列波导光栅尺寸较大,阵列波导光栅光强不均的问题,我们提出了一种基于绝缘体上硅(SOI)的环形反射器辅助多模干涉波导的四通道波分复用器,可以实现不同通道的波长分离。其核心尺寸仅为10μm×34μm,最小相邻通道串扰为-14.42 dB。 展开更多
关键词 硅光子学 波分复用器 多模干涉耦合波导 串扰 集成光学器件
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碳化硅纳米带“品”型器件的第一性原理研究
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作者 赵晗 宋玲玲 +1 位作者 叶润隆 韦藏龙 《合肥工业大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2024年第6期767-772,共6页
文章基于锯齿形碳化硅纳米带,通过将中间部分结构在空间上进行向上平移,再翻转180°形成异质结,保留碳边缘通道,形成“品”型三端异质结器件,并利用密度泛函理论和非平衡格林函数的计算方法,研究该三端器件的电子输运特性。计算结... 文章基于锯齿形碳化硅纳米带,通过将中间部分结构在空间上进行向上平移,再翻转180°形成异质结,保留碳边缘通道,形成“品”型三端异质结器件,并利用密度泛函理论和非平衡格林函数的计算方法,研究该三端器件的电子输运特性。计算结果表明:无论是在铁磁态还是反铁磁态下,一种自旋电子都能从一端电极经由异质结单边通道渡越到另一端电极,实现了100%的自旋极化电子输运;当对中心区外加栅压时,电流随着栅压增加而减小,当栅压大于0.5 V时,器件内部电子输运通道关闭,2种自旋电子均不能通过三端器件,表明通过栅极电压可以实现对器件内部电子输运能力的调控;若器件受到外力产生形变,只要形变量小于6.7%,电子输运能力几乎不改变。研究结果为基于碳化硅纳米带的纯自旋流器件的设计提供了有力的理论依据。 展开更多
关键词 锯齿边缘碳化硅纳米带 “品”型三端器件 自旋极化 第一性原理计算
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用硅光电负阻器件产生光学双稳态 被引量:9
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作者 郭维廉 张培宁 +2 位作者 郑云光 李树荣 郭钢 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第8期108-110,共3页
本文利用作者近期研制出的硅光电表面负阻晶体管(PNEGIT),首次提出并通过实验成功地实现了一种新的光学双稳态即以PNEGIT作为光输入器件,用它驱动一发光管(LED)作为光输出器件,由于PNEGIT具有负阻输出特性,致使LED输出光功率(P... 本文利用作者近期研制出的硅光电表面负阻晶体管(PNEGIT),首次提出并通过实验成功地实现了一种新的光学双稳态即以PNEGIT作为光输入器件,用它驱动一发光管(LED)作为光输出器件,由于PNEGIT具有负阻输出特性,致使LED输出光功率(POUt)一输入光功率(Pin)特性上出现光学双稳环.这种器件具有光开关、光逻辑、光存贮等多种功能,将为硅光电器件在光信息处理、光计算、光通讯等领域中的应用。 展开更多
关键词 硅光电负阻器件 光学双稳态 光逻辑器件 PNEGIT
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宽禁带功率半导体器件技术 被引量:23
18
作者 张波 邓小川 +1 位作者 陈万军 李肇基 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第5期618-623,共6页
碳化硅(SiC)和氮化镓(GaN)是第三代半导体材料的典型代表。与常规半导体硅(Si)和砷化镓(GaAs)相比,宽禁带半导体具有宽带隙、高饱和漂移速度、高临界击穿电场等突出优点,是大功率、高温、高频、抗辐照应用场合下极为理想的半导体材料。... 碳化硅(SiC)和氮化镓(GaN)是第三代半导体材料的典型代表。与常规半导体硅(Si)和砷化镓(GaAs)相比,宽禁带半导体具有宽带隙、高饱和漂移速度、高临界击穿电场等突出优点,是大功率、高温、高频、抗辐照应用场合下极为理想的半导体材料。该文总结了宽禁带SiC和GaN功率半导体器件研发的最新进展,包括各种功率二极管和功率晶体管。同时对宽禁带SiC和GaN功率半导体器件发展所面临的市场和技术挑战进行了分析与概述,并对其发展前景进行了展望。 展开更多
关键词 氮化镓 功率器件 碳化硅 宽禁带半导体
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SiC单晶的性质、生长及应用 被引量:11
19
作者 王世忠 徐良瑛 +3 位作者 束碧云 肖兵 庄击勇 施尔畏 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1999年第4期527-534,共8页
本文综述了 Si C 单晶的物理性质、晶体结构、制备过程以及应用等详细地介绍了大尺寸 Si C 单晶的 P V T 法制备和该过程中的关键要素, 分析了 P V T 法制备的 Si
关键词 碳化硅 单晶 半导体器件 晶体生长 PVT法
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高阻硅上RF-MEMS共面波导设计及测量研究 被引量:8
20
作者 刘泽文 宣云 +2 位作者 雷啸锋 李志坚 刘理天 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期158-164,共7页
设计并实现了基于高阻硅RF MEMS(射频微机电系统)共面波导传输线(CWP), 并测量和分析了不同偏压下的特征阻抗值。利用部分电容法和保角变换法得到的分析公式确定了特征阻抗为50Ω的共面波导的几何结构尺寸,采用MEMS准平面加工工艺在高... 设计并实现了基于高阻硅RF MEMS(射频微机电系统)共面波导传输线(CWP), 并测量和分析了不同偏压下的特征阻抗值。利用部分电容法和保角变换法得到的分析公式确定了特征阻抗为50Ω的共面波导的几何结构尺寸,采用MEMS准平面加工工艺在高阻硅衬底上实现了2.5μm厚的金共面波导结构。在施加不同直流偏压的情况下对所设计的共面波导进行了S参数测量。计算了Winkel多项式中所有系数的具体表达式,运用该多项式获得了共面波导的特征阻抗,并与传统的特征阻抗提取方法进行了结果比较。实验数据表明,在中心信号线上施加的直流偏压对S参数的影响很小,而对共面波导特征阻抗的影响较为明显,当施加的直流偏压从0 V变为38 V时,特征阻抗的实部会增加,变化幅度小于1.2Ω,虚部会减小,变化幅度小于0.8Ω。 展开更多
关键词 射频 微机电系统 共面波导 特征阻抗
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