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基于改进A^(*)算法和再优化的避障路径规划 被引量:1
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作者 高九州 刘育航 《电子测量技术》 北大核心 2024年第21期21-27,共7页
考虑机器人行走过程中自身尺寸与体积因素的影响,给出了防刮碰障碍物的节点扩展方法。将传统的从起点到终点的单向搜索方式变成起点到终点和终点到起点的同步双向搜索方式,并将搜索进程中的“终点”设置为对向同步搜索的当前点,将当前... 考虑机器人行走过程中自身尺寸与体积因素的影响,给出了防刮碰障碍物的节点扩展方法。将传统的从起点到终点的单向搜索方式变成起点到终点和终点到起点的同步双向搜索方式,并将搜索进程中的“终点”设置为对向同步搜索的当前点,将当前点和当前终点的距离引入评价函数,明显减少了往复搜索的次数和搜索的节点数目,提高了搜索效率。在双向搜索A^(*)改进算法得出的搜索路径基础上,进行路径优化,先后进行路径冗余点的去除和拐点路径的圆弧过渡。仿真结果表明,基于上述方法得到的避障路径搜索面积小,搜索节点少,搜索效率高,路径平滑稳定,易于机器人完成避障路径行走。 展开更多
关键词 防刮碰 双向搜索 评价函数 冗余点去除 圆弧过渡
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划痕法测Ni-P合金镀层结合力的研究 被引量:9
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作者 葛继平 郑林 +1 位作者 王学芝 钱鸿钧 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 1991年第6期34-36,共3页
本文用划痕法测定了Ni-P合金镀层的结合力;观察了划痕侧面镀层的失效形式;分析了三种评定结合力的参数。结果指出,临界载荷L_C、平均应力σ_A用于评定Ni-P镀层的结合力是有条件的,而B-W公式存在的问题更多。
关键词 划痕法 NI-P合金 镀层 结合力 测试
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单摆冲击划痕法对封严涂层耐磨性的评价 被引量:10
3
作者 高禩洋 刘夙伟 +1 位作者 李曙 刘阳 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第4期385-391,共7页
涡轮机中封严涂层在减小转子与静子间隙,提高性能和效率上起着至关重要的作用,而抗冲击耐磨性决定封严涂层的服役寿命.单摆冲击划痕法模拟磨粒磨损且具有动态加载特性,可从力和能量两方面获得表层材料破坏过程的信息.通过单摆冲击划痕试... 涡轮机中封严涂层在减小转子与静子间隙,提高性能和效率上起着至关重要的作用,而抗冲击耐磨性决定封严涂层的服役寿命.单摆冲击划痕法模拟磨粒磨损且具有动态加载特性,可从力和能量两方面获得表层材料破坏过程的信息.通过单摆冲击划痕试验,研究了Al-Si-聚酯、Ni-石墨和Al-BN-水玻璃3种封严涂层的冲击划痕行为和比能耗曲线.结果表明:采用的拟合函数法可以较为方便、准确地计算出痕槽体积,随痕槽体积的增大,痕槽的实际最大深度与名义入侵深度的比值有逐渐增大的趋势,且痕槽形成的机制不同.刮削过程中3种封严涂层均有致密化倾向,痕槽形成过程中的塑性变形影响致密化.3种涂层中比能耗最大的为Al-Si-聚酯,耐磨性也最好;比能耗最小的为Ni-石墨,耐磨性最差;Al-BN-水玻璃的耐磨性介于二者之间. 展开更多
关键词 封严涂层 单摆划痕法 比能耗 耐磨性
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微织构参数变化对硬质合金摩擦特性的影响 被引量:8
4
作者 张高峰 张博文 《机械设计》 CSCD 北大核心 2017年第3期25-30,共6页
采用金刚石压头划痕法在抛光后的硬质合金表面制备了平行微织构,划痕载荷分别为5,10,15 N,织构间距为30,50,80,100μm。在UTM-2摩擦磨损试验机上进行了微织构硬质合金的摩擦磨损试验,对摩擦因数进行了在线测量,并利用超景深显微镜观察... 采用金刚石压头划痕法在抛光后的硬质合金表面制备了平行微织构,划痕载荷分别为5,10,15 N,织构间距为30,50,80,100μm。在UTM-2摩擦磨损试验机上进行了微织构硬质合金的摩擦磨损试验,对摩擦因数进行了在线测量,并利用超景深显微镜观察了表面微织构摩擦磨损形貌。试验结果表明:硬质合金的表面微织构有助于降低摩擦因数,当划痕载荷为10 N、织构间距为30μm时,摩擦因数最小,只有0.36。 展开更多
关键词 微织构 硬质合金 划痕法 摩擦磨损
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碳化硅陶瓷预应力加工的离散元模拟与实验研究 被引量:10
5
作者 姜胜强 谭援强 +3 位作者 聂时君 彭锐涛 杨冬民 李国荣 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2010年第12期1286-1290,共5页
采用簇单元(Cluster)方法,建立了碳化硅陶瓷材料预应力加工的离散元模型;通过离散元模拟和划痕实验,研究了预应力条件对碳化硅陶瓷材料切削时裂纹的扩展规律的影响,观察了陶瓷材料加工表面/亚表面的裂纹损伤情况.离散元模拟与实验结果... 采用簇单元(Cluster)方法,建立了碳化硅陶瓷材料预应力加工的离散元模型;通过离散元模拟和划痕实验,研究了预应力条件对碳化硅陶瓷材料切削时裂纹的扩展规律的影响,观察了陶瓷材料加工表面/亚表面的裂纹损伤情况.离散元模拟与实验结果均表明:当预应力大小在一定范围内,随着预应力的逐渐增大,径向裂纹的数目逐渐减少,横向裂纹有替代径向裂纹的趋势,并导致材料以较小的碎片的形式被去除;采用预应力加工能有效降低加工损伤,提高加工表面质量,并且进一步证明应用离散元法模拟硬脆材料的加工是可行的. 展开更多
关键词 碳化硅 预应力加工 裂纹 离散元 划痕实验
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Src激酶抑制剂PP2对人舌鳞癌Tca8113细胞侵袭和转移的抑制作用 被引量:2
6
作者 郭冬梅 谢莉莉 谢奇 《西安交通大学学报(医学版)》 CAS CSCD 北大核心 2019年第2期290-293,共4页
目的探讨Src激酶抑制剂PP2对人舌鳞癌Tca8113细胞侵袭、迁移能力的抑制作用。方法采用5、10、20μmol/L Src激酶抑制剂PP2处理Tca8113细胞24 h,分别使用Transwell小室和划痕法,测定PP2对Tca8113细胞侵袭和迁移能力的影响。结果处理24 h... 目的探讨Src激酶抑制剂PP2对人舌鳞癌Tca8113细胞侵袭、迁移能力的抑制作用。方法采用5、10、20μmol/L Src激酶抑制剂PP2处理Tca8113细胞24 h,分别使用Transwell小室和划痕法,测定PP2对Tca8113细胞侵袭和迁移能力的影响。结果处理24 h后,5、10、20μmol/L Src激酶抑制剂PP2处理组的p-Src表达均较未加药组明显下降(P均<0.05);未加药组及5、10、20μmol/L PP2处理组的穿膜侵袭细胞数分别为(232.76±28.65)个、(186.53±21.34)个、(129.18±17.96)个、(37.82±12.41)个,迁移细胞数分别为(259.38±25.27)个、(193.45±20.18)个、(143.24±18.04)个、(32.94±14.39)个,细胞迁移率分别为(11.51±0.84)%、(8.06±0.51)%、(5.13±0.57)%、(2.18±0.12)%,整体差异均有统计学意义(F=73.852、85.687、48.157,P均=0.000),且与PP2剂量呈负相关。结论 Src激酶抑制剂PP2能够有效抑制人舌鳞癌细胞Tca8113侵袭和迁移能力,并且效果呈浓度依赖性,可能对治疗人舌鳞癌具有一定的临床价值。 展开更多
关键词 SRC激酶 抑制剂PP2 人舌鳞癌 Transwell试验 划痕法
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Al_2O_3/SiO_2耐磨增透膜的制备和表征 被引量:5
7
作者 陈明洁 郭志坚 印冰 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第10期1440-1444,共5页
以正硅酸乙酯(TEOS)和异丙醇铝(Al(OC_3H_7)_3)为前驱体,采用溶胶-凝胶(sol-gel)提拉方法在玻璃基片上制得高透、耐磨的增透膜。使用XRD、UV-Vis、IR、和TEM测试和分析了溶胶和薄膜的结构及性能。研究表明:通过添加一定比例的Al_2O_3,... 以正硅酸乙酯(TEOS)和异丙醇铝(Al(OC_3H_7)_3)为前驱体,采用溶胶-凝胶(sol-gel)提拉方法在玻璃基片上制得高透、耐磨的增透膜。使用XRD、UV-Vis、IR、和TEM测试和分析了溶胶和薄膜的结构及性能。研究表明:通过添加一定比例的Al_2O_3,使颗粒之间生成稳定致密的氧桥键Si—O—Al以及煅烧后γ-Al_2O_3的存在,调控了薄膜的微观结构,不仅明显提高了薄膜的力学性能,同时复合薄膜的光学透过率仍最高达99.2%。 展开更多
关键词 增透膜 Al2O3/SiO2 溶胶-凝胶法 耐磨
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不同搔菌方式对瓶栽工艺白灵菇子实体形成的影响 被引量:3
8
作者 张玉亭 袁瑞奇 +4 位作者 孔维丽 孔维威 刘芹 段亚魁 康源春 《中国食用菌》 2017年第1期84-85,共2页
在瓶栽工艺工厂化生产条件下,研究了不同搔菌方式对白灵菇(Pleurotus eryngii var.tuoliensis)子实体形成和产量的影响。结果表明,不同搔菌方式对白灵菇子实体形成早晚和数量影响显著,搔菌方式3(打开瓶盖,用专用工具将老菌种清理干净,... 在瓶栽工艺工厂化生产条件下,研究了不同搔菌方式对白灵菇(Pleurotus eryngii var.tuoliensis)子实体形成和产量的影响。结果表明,不同搔菌方式对白灵菇子实体形成早晚和数量影响显著,搔菌方式3(打开瓶盖,用专用工具将老菌种清理干净,在料面中间搔1个点孔)和方式5(打开瓶盖,不清理料面老菌种,用专用工具在料面形成2个点孔)使白灵菇子实体形成早,疏蕾强度低,是较好的搔菌方式。不同搔菌方式对单瓶白灵菇产量没有影响。 展开更多
关键词 白灵菇 瓶栽工艺 搔菌方式 疏蕾 产量
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溶胶-凝胶法在PMMA上制备SiO_2-Al_2O_3涂层过程的研究 被引量:8
9
作者 刘海兵 周根树 郑茂盛 《高分子材料科学与工程》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第1期108-110,共3页
采用溶胶凝胶法,以无机盐AlCl3·6H2O、醇盐TEOS及自制偶联剂为原料,在PMMA上制备抗磨涂层,选择出得到高质量涂膜的合适组分及工艺。研究了膜形成的基本规律。结果表明,溶胶以线性方式生长;固化过程中涂层... 采用溶胶凝胶法,以无机盐AlCl3·6H2O、醇盐TEOS及自制偶联剂为原料,在PMMA上制备抗磨涂层,选择出得到高质量涂膜的合适组分及工艺。研究了膜形成的基本规律。结果表明,溶胶以线性方式生长;固化过程中涂层内形成Si-O-Al-O-Si的无机网络,这是涂层具有较高硬度及耐划伤性的根本原因;涂层与基体之间所形成的有机层保障了涂层与基体的紧密结合。涂膜试样的光学透过率仍达到90%以上,表明该工艺在改善光学塑料耐划伤性方面广阔的应用前景。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶法 涂层 PMMA 氧化硅 氧化铝 有机玻璃
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利用冲蚀法评价硬质膜与底材结合强度的试验研究 被引量:2
10
作者 李诗卓 柴黎明 《固体润滑》 CSCD 北大核心 1990年第4期276-285,共10页
作者利用入射速度为40m/s的80~#和100~#白刚玉砂冲击超硬质膜,测定入射粒子量与膜剥离之间的定量关系,确定造成底材开始显露所需的粒子用量(孕育剂量)和冲蚀坑中心部位的膜全部剥离时的最低粒子用量(临界剂量),并以两者之差作为判据,收... 作者利用入射速度为40m/s的80~#和100~#白刚玉砂冲击超硬质膜,测定入射粒子量与膜剥离之间的定量关系,确定造成底材开始显露所需的粒子用量(孕育剂量)和冲蚀坑中心部位的膜全部剥离时的最低粒子用量(临界剂量),并以两者之差作为判据,收到了与划痕法通过临界载荷评价膜-底材结合强度的同样效果。试验结果证明,孕育剂量与膜厚呈正变关系,因而通过它可以先求出膜厚,再求出剥离单位厚度膜层所消耗的粒子量(线冲蚀系数),并用其作为膜-底材结合强度的判据,可以扣除膜厚的影响。作者认为,冲蚀法的主要优点是设备简单、操作方便、取样面积大、代表性好,能为各类薄膜工艺提供可信的判据。 展开更多
关键词 冲蚀法 硬质膜 底材 结合强度 试验
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TiN涂层中表面裂纹产生的机理研究 被引量:2
11
作者 冯剑军 薛雷 +1 位作者 刘芬 张高峰 《机械科学与技术》 CSCD 北大核心 2016年第7期1125-1132,共8页
为了揭示滑动摩擦接触条件下的Ti N涂层表面裂纹的形成机理,对Ti N涂层进行了划痕试验和有限元模拟。划痕试验结果表明在划痕表面产生了平均间距约为5.12μm的弧型裂纹。采用三维有限元方法对划痕过程进行了模拟,模拟结果表明了涂层结... 为了揭示滑动摩擦接触条件下的Ti N涂层表面裂纹的形成机理,对Ti N涂层进行了划痕试验和有限元模拟。划痕试验结果表明在划痕表面产生了平均间距约为5.12μm的弧型裂纹。采用三维有限元方法对划痕过程进行了模拟,模拟结果表明了涂层结构中的应力分布的特点。采用二维扩展有限元方法(XFEM)对划痕过程中的涂层的裂纹产生进行了模拟,模拟结果表明涂层中表面及界面裂纹主要是由最大拉应力引起的第一型裂纹;涂层亚表面裂纹是一种由拉应力和剪应力引起的复合型裂纹。表面裂纹的形成有三种方式:第一种方式是首先在涂层界面产生微裂纹,随着裂纹沿着厚度方向扩展到表面形成表面裂纹;第二种方式是在涂层表面直接形成表面裂纹;第三种方式是微裂纹首先在涂层亚表面形成,然后沿着厚度方向扩展到表面形成表面裂纹。模拟中发现在表面和界面首先产生微裂纹的数量比亚表面产生微裂纹的数量更多。随着裂纹的扩展和融合将导致涂层的剥落。 展开更多
关键词 TI N涂层 表面裂纹 划痕试验 应力分析 扩展有限元方法
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基于光切法的曲面划痕深度测量技术 被引量:5
12
作者 李慧鹏 吕亚宁 +2 位作者 孙业飞 唐若祥 刘缤艳 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第11期92-98,共7页
提出了一种基于光切法的曲面划痕测量方法,相对传统光切法,能有效地提高划痕测量的精度.对传统光切法测量存在的不足进行分析,对曲面上划痕的测量误差进行分析建模及仿真.结果表明,传统光切法对曲面上划痕的测量误差会随着曲率半径和划... 提出了一种基于光切法的曲面划痕测量方法,相对传统光切法,能有效地提高划痕测量的精度.对传统光切法测量存在的不足进行分析,对曲面上划痕的测量误差进行分析建模及仿真.结果表明,传统光切法对曲面上划痕的测量误差会随着曲率半径和划痕宽度的变化而变化.实验选取不同曲率半径的精密零部件,对其表面的划痕进行测量.发现当曲率半径越小,划痕宽度越大,传统光切法对划痕深度测量的误差越大,而用本文所提方法测量的结果精度越高,当曲率半径小于10mm,划痕宽度大于283μm时,利用该方法能减小超过1μm的测量误差. 展开更多
关键词 光切法 划痕 曲面 测量误差 建模仿真
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一种检测金属表面划痕的多尺度多方向形态学方法 被引量:3
13
作者 师平 《机械设计与制造》 北大核心 2016年第10期104-106,共3页
在精密仪器制造中,金属表面的细浅划痕是最难检测的,却又是不可忽视的,采用机器视觉技术对其进行自动检测对于提高产品质量和生产效率有重要意义。在分析细浅划痕形状特征的基础上,设计一组多尺度多方向的形态学结构元素,并通过多尺度... 在精密仪器制造中,金属表面的细浅划痕是最难检测的,却又是不可忽视的,采用机器视觉技术对其进行自动检测对于提高产品质量和生产效率有重要意义。在分析细浅划痕形状特征的基础上,设计一组多尺度多方向的形态学结构元素,并通过多尺度多方向的Top-hat变化构建形态学划痕指数,以突显划痕,且抑制背景,进而实现细浅划痕的检测。实验结果表明,这里方法能够有效地检测出各种形状的划痕,能够很好地克服光照条件和噪声的影响,具有较强的鲁棒性。 展开更多
关键词 划痕检测 形态学方法 多尺度多方向 形态学划痕指数
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耐刮伤有机/无机杂化涂层的制备和性能研究 被引量:5
14
作者 陈丽 章永化 +2 位作者 史博 吴国锋 冯雪雁 《涂料工业》 CAS CSCD 2007年第6期9-12,共4页
以甲苯二异氰酸酯与双(三乙氧基硅丙基)胺反应生成的多官能团硅氧烷和正硅酸乙酯为前驱体,采用溶胶-凝胶法以乙醇为溶剂、醋酸为催化剂进行共水解,将得到的溶胶成膜,得到有机/无机杂化涂层。对涂层的一些力学性能(铅笔硬度、耐磨性和附... 以甲苯二异氰酸酯与双(三乙氧基硅丙基)胺反应生成的多官能团硅氧烷和正硅酸乙酯为前驱体,采用溶胶-凝胶法以乙醇为溶剂、醋酸为催化剂进行共水解,将得到的溶胶成膜,得到有机/无机杂化涂层。对涂层的一些力学性能(铅笔硬度、耐磨性和附着力等)进行测试,并用红外光谱和热失质量分别对涂层的化学组成及热性能进行了表征。结果表明:当S iO2含量为8.5%时,杂化涂层的力学性能达到一个较佳值,其溶胶的离心稳定性和杂化涂层的耐水性及热稳定性优异。 展开更多
关键词 耐刮伤 有机/无机杂化涂层 溶胶-凝胶法 力学性能
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飞机表面划痕非接触测量仪的研究
15
作者 张文伟 庄葆华 +1 位作者 刘迈 王彦勋 《计量学报》 CSCD 北大核心 1998年第4期264-269,共6页
介绍了一种飞机表面划痕非接触测量仪。它以激光三角传感器为主要组成部件,并附以机械扫描装置,可完成被测飞机表面划痕的非接触测量。在分析了被测表面散、反射特性的基础上,给出了激光三角传感器正确放置方式,并提出改善测量精度... 介绍了一种飞机表面划痕非接触测量仪。它以激光三角传感器为主要组成部件,并附以机械扫描装置,可完成被测飞机表面划痕的非接触测量。在分析了被测表面散、反射特性的基础上,给出了激光三角传感器正确放置方式,并提出改善测量精度的传感器姿态调整法。针对浅划痕测量时噪声较大的特点,提出利用子波分析的方法突出被测划痕形貌的信号处理方法,实验表明了此方法的可行性。本测量仪具有非接触测量、测量范围大、精度高、结构简单、成本较低的特点。 展开更多
关键词 飞机表面 非接触测量仪 划痕测量 传感器
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用划伤电极法快速评价合金耐冲刷腐蚀性能
16
作者 董清海 颜广炅 +1 位作者 于福洲 王健云 《腐蚀与防护》 CAS 2000年第4期178-181,共4页
介绍了一种快速评定材料耐冲刷腐蚀性能的方法 -划伤电极法。对这种方法的原理、测定方法及数据处理方法作了详细的介绍 ,并用此方法测量了 8种合金耐冲刷腐蚀性能。结果表明 ,划伤电极法可以快速、准确地评价材料的耐冲刷腐蚀性能。
关键词 冲刷腐蚀 划伤电极法 评价方法 合金 耐蚀性
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基于赤平极射投影法的构造应力环境研究 被引量:3
17
作者 林辰 谢学才 《煤炭科学技术》 CAS 北大核心 2018年第8期32-37,共6页
为了提高构造应力环境分析的可靠性,通过研究共轭剪节理和断裂面擦痕等构造形迹,运用赤平极射投影法重建平顶山八矿地区的构造应力信息,分析构造应力环境期次,确定了该区构造应力环境的基本特征。研究结果表明:剪节理不存在岩体运动时,... 为了提高构造应力环境分析的可靠性,通过研究共轭剪节理和断裂面擦痕等构造形迹,运用赤平极射投影法重建平顶山八矿地区的构造应力信息,分析构造应力环境期次,确定了该区构造应力环境的基本特征。研究结果表明:剪节理不存在岩体运动时,其锐角的角平分线为最大主应力方向,剪节理存在岩体运动且方向相同时,位错方向角平分线为最大主应力方向;研究区的构造应力环境分为3期,印支期最大主应力为NE-SW向,燕山期最大主应力为NW-SE向,喜山期最大主应力为NEESWW向。该结果与前人利用震源7机制解获取的应力数据基本吻合,表明该方法对研究地下工程的构造应力环境具有较好的适用性。 展开更多
关键词 构造应力 赤平极射投影 共轭剪节理 断裂面擦痕
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预处理和溅射工艺参数对锆合金表面TiN涂层膜/基结合强度的影响 被引量:4
18
作者 曹殿鹏 邹树梁 +2 位作者 肖魏魏 唐德文 雷明 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第11期2095-2100,共6页
为获得高结合强度锆合金表面涂层的制备技术,采用磁控溅射法制备了TiN涂层、划痕法测试了膜/基结合强度,研究了基体预处理表面粗糙度、溅射功率、基体加热温度和基体偏压对锆合金表面TiN涂层膜/基结合强度的影响。实验制备的TiN涂层厚度... 为获得高结合强度锆合金表面涂层的制备技术,采用磁控溅射法制备了TiN涂层、划痕法测试了膜/基结合强度,研究了基体预处理表面粗糙度、溅射功率、基体加热温度和基体偏压对锆合金表面TiN涂层膜/基结合强度的影响。实验制备的TiN涂层厚度在5~15μm范围内、基体预处理表面粗糙度在(0.20±0.03)μm范围内时,溅射功率为500W及基体加热至300℃时涂层均有较好的结合强度。基体偏压为-100V时涂层在所讨论的4种基体偏压中具有最好的结合强度。结果表明,溅射工艺参数对涂层膜/基结合强度有显著影响,其中影响显著性从大到小依次为基体加热温度、基体偏压、溅射功率、基体预处理表面粗糙度。 展开更多
关键词 锆合金 TIN涂层 结合强度 工艺参数 划痕法
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光固化环氧丙烯酸酯有机无机杂化耐刮擦涂料的研究 被引量:6
19
作者 何维霖 黄安尧 +3 位作者 蔡洁贤 何航 廖正福 汪慧 《涂料工业》 CAS CSCD 北大核心 2014年第3期39-42,共4页
以硅溶胶为无机相,环氧丙烯酸酯为有机相,γ-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷(KH-570)为有机和无机相间偶联剂,通过溶胶-凝胶法制备了光固化环氧丙烯酸酯有机无机杂化耐刮擦涂料。利用FT-IR,SEM,和TGA等方法表征杂化涂料,并对其性能进... 以硅溶胶为无机相,环氧丙烯酸酯为有机相,γ-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷(KH-570)为有机和无机相间偶联剂,通过溶胶-凝胶法制备了光固化环氧丙烯酸酯有机无机杂化耐刮擦涂料。利用FT-IR,SEM,和TGA等方法表征杂化涂料,并对其性能进行了研究。结果表明硅溶胶的加入可以显著提高涂料的耐刮擦性,涂膜光固化后热处理4 h,可以使涂膜耐刮擦质量达到最大值(400 g)。 展开更多
关键词 有机无机杂化涂料 光固化 溶胶-凝胶法 耐刮擦
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压头曲率半径对硬质薄膜结合力划痕测量影响的比较研究 被引量:3
20
作者 于杰 陶兴付 +1 位作者 秦林 李晓兵 《计量学报》 CSCD 北大核心 2020年第9期1089-1094,共6页
硬质薄膜的膜/基结合力是表征材料可靠性的重要特性参数。采用划痕法测试硬质薄膜的结合力时,有很多因素会影响到临界载荷L c的判定,例如薄膜和基底的硬度、模量,薄膜的表面粗糙度等;此外,仪器机架刚度、划痕速率、压头的曲率半径等仪... 硬质薄膜的膜/基结合力是表征材料可靠性的重要特性参数。采用划痕法测试硬质薄膜的结合力时,有很多因素会影响到临界载荷L c的判定,例如薄膜和基底的硬度、模量,薄膜的表面粗糙度等;此外,仪器机架刚度、划痕速率、压头的曲率半径等仪器的测量参数也会影响临界载荷L c的判定。采用划痕测量法,研究了曲率半径为20μm,50μm和100μm的压头对单晶硅和304基底的亚微米类金刚石薄膜与基底的结合力测量的影响。研究结果显示:随着压头曲率半径的增加,2种材料的临界载荷也随之增大。 展开更多
关键词 计量学 压头曲率半径 类金刚石薄膜 膜/基结合力 划痕法
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