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具有宽测量范围的扫描探针见微镜研究
1
作者
张鸿海
曹伟
+3 位作者
师汉民
陈日曜
李文菊
周学夫
《工具技术》
北大核心
1995年第1期39-43,共5页
介绍了具有宽测量范围（１４０×１４０μｍ２）的高灵敏度扫描探针显微镜（ＳＰＭ）。仅用了６个需加工的零件，构造出了直接对１３０ｍｍ的磁盘、光盘表面纳诺形貌和集成电路芯片光刻质且检查分析的多模式测量仪器。通过更换测头...
介绍了具有宽测量范围（１４０×１４０μｍ２）的高灵敏度扫描探针显微镜（ＳＰＭ）。仅用了６个需加工的零件，构造出了直接对１３０ｍｍ的磁盘、光盘表面纳诺形貌和集成电路芯片光刻质且检查分析的多模式测量仪器。通过更换测头，可以在扫描隧道显微镜（ＳＴＭ）、原子力显微镜（ＡＦＭ）、磁力显微镜（ＭＰＭ）与静电力显微镜（ＥＦＭ）模式下工作。本文给出了部份试验结果，如高定向石墨的原子图像、光栅和超精密磨削试件表面的纳米级形貌图。
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关键词
原子级分辨率
灵敏度
扫描探针显微镜
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职称材料
题名
具有宽测量范围的扫描探针见微镜研究
1
作者
张鸿海
曹伟
师汉民
陈日曜
李文菊
周学夫
机构
华中理工大学机械学院
出处
《工具技术》
北大核心
1995年第1期39-43,共5页
基金
国家自然基金
博士点基金
文摘
介绍了具有宽测量范围（１４０×１４０μｍ２）的高灵敏度扫描探针显微镜（ＳＰＭ）。仅用了６个需加工的零件，构造出了直接对１３０ｍｍ的磁盘、光盘表面纳诺形貌和集成电路芯片光刻质且检查分析的多模式测量仪器。通过更换测头，可以在扫描隧道显微镜（ＳＴＭ）、原子力显微镜（ＡＦＭ）、磁力显微镜（ＭＰＭ）与静电力显微镜（ＥＦＭ）模式下工作。本文给出了部份试验结果，如高定向石墨的原子图像、光栅和超精密磨削试件表面的纳米级形貌图。
关键词
原子级分辨率
灵敏度
扫描探针显微镜
Keywords
scanning probemicro-technique atomical resolution analysis of nanon figue
分类号
TN16 [电子电信—物理电子学]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
具有宽测量范围的扫描探针见微镜研究
张鸿海
曹伟
师汉民
陈日曜
李文菊
周学夫
《工具技术》
北大核心
1995
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