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SPM探针制造技术的研究和发展 被引量：6
1
作者 傅惠南 王宏霞 +1 位作者 王晓红 区仲荣 《电子显微学报》 CAS CSCD 2005年第6期622-628,共7页
探针是扫描探针显微镜的核心部分,结构及针尖的表面状态会影响此类仪器的操作性、可控制性、工作稳定性、可靠性以及其它性能的发挥。探针及其相关技术的研究进展成为人们十分关注的问题。探针对表面物理信息的检测是一个针尖与试样表... 探针是扫描探针显微镜的核心部分,结构及针尖的表面状态会影响此类仪器的操作性、可控制性、工作稳定性、可靠性以及其它性能的发挥。探针及其相关技术的研究进展成为人们十分关注的问题。探针对表面物理信息的检测是一个针尖与试样表面相互作用的过程,包含物理、几何关系,还包含表面微观化学作用及其它微观因素的影响。本文探讨探针与表面相互作用关系,并就近些年探针技术发展讨论探针性能、针尖及相应结构的改进,探针功能的拓展以及功能的组合,讨论相关制备技术方法、特点和相应检测条件、适用环境等。 展开更多
关键词 扫描探针显微镜 微悬臂 针尖
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SPM图像模拟、表面重建及探针估计 被引量：4
2
作者 陈宇航 黄文浩 +1 位作者 鲁健 党学明 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2001年第5期649-653,共5页
扫描探针显微镜获得的图像是样品和探针共同作用的结果 ,它只是被测样品实际形貌的近似描述 ,所以进行定量的SPM图像模拟、探针估计和表面重建工作十分必要。本文分析比较了几种SPM图像处理的算法 ,且应用数学形态学方法给出了一些典型... 扫描探针显微镜获得的图像是样品和探针共同作用的结果 ,它只是被测样品实际形貌的近似描述 ,所以进行定量的SPM图像模拟、探针估计和表面重建工作十分必要。本文分析比较了几种SPM图像处理的算法 ,且应用数学形态学方法给出了一些典型表面的图像模拟、表面重建以及探针估计的结果 。 展开更多
关键词 图像模拟 数学形态学 扫描探针显微镜 表面重建 探针估计
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开放式SPM控制系统的设计与实现 被引量：2
3
作者 丁喜冬 杨森 张进修 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第12期1623-1627,共5页
本文设计并实现了一种新的扫描探针显微镜的开放式控制系统。该控制系统设计了灵活开放的总线接口,并对电路模块进行了优化,采取了一系列抗干扰措施,从而使之具备了接口开放、稳定性高等优点,特别适合于个性化的科学研究。本文所采用的... 本文设计并实现了一种新的扫描探针显微镜的开放式控制系统。该控制系统设计了灵活开放的总线接口,并对电路模块进行了优化,采取了一系列抗干扰措施,从而使之具备了接口开放、稳定性高等优点,特别适合于个性化的科学研究。本文所采用的开放式设计思想及总线接口的具体实现,对SPM的结构改进及商品化有一定的参考价值。 展开更多
关键词 扫描探针显微镜 控制 开放式 总线接口
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基于DSP的SPM反馈控制器设计 被引量：1
4
作者 丁喜冬 冯天恩 张进修 《计算机工程》 CAS CSCD 北大核心 2007年第3期275-277,共3页
反馈是扫描探针显微镜控制的核心技术,但目前SPM通常使用基于模拟电路的反馈,因而基于数字信号处理器的数字反馈控制器具有较高的实用价值。该文设计了一种基于DSP的SPM数字反馈控制器,并介绍了其软硬件的设计及算法的改进。测试表明,... 反馈是扫描探针显微镜控制的核心技术,但目前SPM通常使用基于模拟电路的反馈,因而基于数字信号处理器的数字反馈控制器具有较高的实用价值。该文设计了一种基于DSP的SPM数字反馈控制器,并介绍了其软硬件的设计及算法的改进。测试表明,该反馈控制器功能正常,稳定性和灵活性比模拟反馈控制器有较大的提高。 展开更多
关键词 扫描探针显微镜 反馈 控制器 数字信号处理
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SPM用于超精加工领域的重要性及特殊性 被引量：1
5
作者 赵清亮 李旦 董申 《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 1999年第8期8-10,19,共4页
讨论了扫描探针显微镜（ Ｓ Ｐ Ｍ） 作为一种显微工具的优势和不足。介绍了把 Ｓ Ｐ Ｍ 应用于超精密加工检测领域所要注意的问题，指出纳米级加工机理的研究将依赖于 Ｓ Ｐ Ｍ 的复合化及多功能化，只有实现了加工与检测的一体化才能... 讨论了扫描探针显微镜（ Ｓ Ｐ Ｍ） 作为一种显微工具的优势和不足。介绍了把 Ｓ Ｐ Ｍ 应用于超精密加工检测领域所要注意的问题，指出纳米级加工机理的研究将依赖于 Ｓ Ｐ Ｍ 的复合化及多功能化，只有实现了加工与检测的一体化才能正确评价加工方法及工艺参数的优化选择。 展开更多
关键词 扫描隧道显微镜 超精加工 检测
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振动与扫描速率综合影响SPM图像的实验研究
6
作者 陈津平 胡晓东 +2 位作者 陈峰 郭彤 胡小唐 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2003年第3期242-246,共5页
探讨了外界激振对扫描探针显微镜 (SPM)图像的影响。针对DI扫描探针显微镜MultiModeTM SPM ,以Tektronix任意波形发生器AWG2 0 2 1驱动PC扬声器作为激振源 ,以SIOS微型激光干涉测振仪SP S为测振系统 ,研究了 0～ 7kHz频带内SPM机体的简... 探讨了外界激振对扫描探针显微镜 (SPM)图像的影响。针对DI扫描探针显微镜MultiModeTM SPM ,以Tektronix任意波形发生器AWG2 0 2 1驱动PC扬声器作为激振源 ,以SIOS微型激光干涉测振仪SP S为测振系统 ,研究了 0～ 7kHz频带内SPM机体的简谐迫振对扫描图像的影响。实验表明 ,针尖 -样品副所受激振影响不同于SPM机体 ;0～ 1kHz频带内的激振影响显著 ,再高频段则影响甚微 ;外界激振与SPM扫描的综合作用影响成像的结果 ;针尖 展开更多
关键词 扫描探针显微镜 spm图像 扫描速率 外界激振 粘弹性模型 扫描频率 固有频率 针尖-样品副
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大气状态下SPM纳米加工系统的开发
7
作者 郭彤 胡晓东 胡小唐 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第1期22-23,共2页
对现有的商业化 SPM进行了一些必要的改造 ,使其适合于扫描探针加工的要求。讨论了在 DI公司多功能 SPM基础上开发纳米加工系统的可能性 ,并提供了一套完整的信号施加、过程监测和环境控制的方法 ,实现了矢量式的纳米氧化加工 ,得到了 3... 对现有的商业化 SPM进行了一些必要的改造 ,使其适合于扫描探针加工的要求。讨论了在 DI公司多功能 SPM基础上开发纳米加工系统的可能性 ,并提供了一套完整的信号施加、过程监测和环境控制的方法 ,实现了矢量式的纳米氧化加工 ,得到了 30 nm宽的氧化结构 。 展开更多
关键词 扫描探针显微镜 纳米加工 矢量式 环境控制
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用于扩展SPM检测范围的精密定位系统
8
作者 孙涛 董申 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2001年第5期669-672,共4页
本文介绍了所研制的二维微定位柔性系统和一维精密转动系统 ,进行了相关技术的研究并给出了设计参数。使SPM能够满足高精度下的大尺寸平面样品以及球形被测样品的全范围检测 ,扩大了扫描探针显微镜 (SPM)
关键词 扫描探针显微镜 精密定位技术 三维测量 检测范围
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基于数字信号处理器DSP的SPM研究
9
作者 张雪辉 安连祥 +2 位作者 王时毅 韩立 左燕生 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2003年第3期252-255,共4页
本文以TI公司的TMS32 0C5 4xDSP为核心 ,介绍了DSP SPM全数字化系统。文章首先指出目前国产扫描探针显微镜存在智能化及集成度不高、PID参数调节不方便、成本高等不足。进而引入数字信号处理器 (DigitalSignalProcessorDSP) ,介绍了TMS3... 本文以TI公司的TMS32 0C5 4xDSP为核心 ,介绍了DSP SPM全数字化系统。文章首先指出目前国产扫描探针显微镜存在智能化及集成度不高、PID参数调节不方便、成本高等不足。进而引入数字信号处理器 (DigitalSignalProcessorDSP) ,介绍了TMS32 0C5 4xDSP的特点及其开发工具 ;然后给出了DSP SPM系统的框图及DSP算法 ;文章最后还简单介绍了利用’5 4X的HPI(HostPortInterface) 展开更多
关键词 数字信号处理器 扫描探针显微镜 纳米技术 直接数字集成器 主机接口 DSP算法
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赣南斑岩锡矿田云英岩型锂矿中锂的赋存状态研究 被引量：3
10
作者 秦锦华 刘善宝 +3 位作者 郭志强 王成辉 张树德 钟先源 《岩矿测试》 CAS CSCD 北大核心 2024年第4期546-557,共12页
云英岩型锂矿作为近年来新的锂矿类型,具有重要的理论研究和经济价值。然而,在中国南岭及其周缘世界级的钨锡成矿省中,伴生云英岩型锂矿化的综合评价却稍显不足。本课题组在赣南岩背斑岩锡矿田新发现了云英岩型的锂矿,矿体产于密坑山岩... 云英岩型锂矿作为近年来新的锂矿类型,具有重要的理论研究和经济价值。然而,在中国南岭及其周缘世界级的钨锡成矿省中,伴生云英岩型锂矿化的综合评价却稍显不足。本课题组在赣南岩背斑岩锡矿田新发现了云英岩型的锂矿,矿体产于密坑山岩体与上覆鸡笼嶂组火山岩的接触带附近的云英岩带内,发育三种矿化类型:云英岩带型和花岗岩、火山岩内的含锂云母-石英脉型。矿体中Li_(2)O的含量最高可达1.04%,主要集中于0.2%~0.3%,具有显著的综合利用价值。为了确定云英岩型锂矿中Li的赋存状态及Li、Sn之间的关系等特征,本文开展了详细的镜下观察,扫描电镜、电子探针和LA-ICP-MS分析,确定了岩背矿田不同于国内外其他典型云英岩型锂矿床大量发育锂云母-铁锂云母系列,其Li载体矿物主要为黑鳞云母,具有高Si、Al、K、Fe、Li的特征,且未经历极端的流体分异演化过程。Li的成矿主要与矿区含斑细粒花岗岩有关,在岩浆晚期高温热液阶段与Sn共同富集,并以Si^(4+)+Li^(+)←→Al^(Ⅳ)+Fe^(T)耦合类质同象形式进入云母。 展开更多
关键词 斑岩锡矿田 锂 黑鳞云母 扫描电镜 电子探针 云英岩 赋存状态
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扫描探针显微镜旋转样品台的开发及应用
11
作者 蒯伟杰 田罡 王杰 《实验室研究与探索》 CAS 北大核心 2024年第9期33-36,共4页
使用扫描探针显微镜对各向异性材料进行面内方向表征测试时,需进行样品的原位旋转,但目前并没有成熟的解决方案。因此,基于扫描探针显微镜研发了一种多层结构的原位旋转样品台及定位方法。配合定位片完成1次定轴心操作后,更换新样品或... 使用扫描探针显微镜对各向异性材料进行面内方向表征测试时,需进行样品的原位旋转,但目前并没有成熟的解决方案。因此,基于扫描探针显微镜研发了一种多层结构的原位旋转样品台及定位方法。配合定位片完成1次定轴心操作后,更换新样品或改变同一样品测试位置,均无须再进行繁琐定位和调整,大幅度提高了测试效率。由于引入了定位片,定轴心操作无需对样品进行标记或专门寻找具有明显特征的特殊观测点作为参照,增强了样品的普适性。此外,使用该旋转台对PbTiO_(3)薄膜的面内、面外压电响应进行表征,并重构了其三维铁电畴,使电畴信息分析更为直观。 展开更多
关键词 扫描探针显微镜 旋转台 铁电畴 三维重构
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STM钨针尖电化学加工及其装置的改进 被引量：9
12
作者 姚琲 李春艳 +2 位作者 刘平 王慧 杨梅 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2003年第3期256-258,共3页
本文报导利用自由落体的原理 ,设计了一种新的针尖和液面脱离装置制作了STM钨针尖 ,并与利用步进电机提升针尖的方法进行了比较。分析和实验说明 ,本方法脱离速度较快 ,简单经济 ,效果良好。
关键词 扫描隧道显微镜 扫描探针显微镜 针尖 液面脱离装置 电化学腐蚀 电化学加工 显微镜设计
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扫描探针显微镜在胶原纤维精细结构研究中的应用 被引量：5
13
作者 田云飞 赵纯培 +3 位作者 陈红 刘岁林 王英梅 李志强 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2003年第2期83-86,共4页
作为一种新型的微区分析仪器 ,扫描探针显微镜已迅速普及和应用到了各门学科 ,而在生物领域的应用则相对比较落后。本文简要介绍了扫描探针显微镜这一新型表面测试技术在猪皮胶原精细结构研究中的应用方法 。
关键词 扫描探针显微镜 胶原纤维 精细结构 猪皮
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二维零位光栅及其在纳米计量技术中的应用 被引量：6
14
作者 胡翘 王文伟 +1 位作者 黄文浩 李尚志 《电子显微学报》 CAS CSCD 1999年第1期137-140,共4页
本文提出了一种用二维零位光栅来实现超高分辨率的绝对测量方法。利用二维零位光栅作为整个系统的零点，可消除ＳＰＭ仪器的累计误差。本文对二维零位原子光栅的原理，评价指标，评价指标极限的计算，作了详细介绍。本文给出了计算机仿... 本文提出了一种用二维零位光栅来实现超高分辨率的绝对测量方法。利用二维零位光栅作为整个系统的零点，可消除ＳＰＭ仪器的累计误差。本文对二维零位原子光栅的原理，评价指标，评价指标极限的计算，作了详细介绍。本文给出了计算机仿真结果。 展开更多
关键词 spm 零位光栅 纳米计量 二维 超高分辨率
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扫描探针显微镜进行细胞扫描时探针对于细胞活性的影响 被引量：6
15
作者 韩立 韩冬 +1 位作者 王秀凤 陈皓明 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2003年第2期92-96,共5页
扫描探针显微镜 (scanningprobemicroscope ,SPM)是近几年发展很快的一种形貌表征仪器。它的一个突出优点是 ,可在溶液中以很高的分辨率对细胞活体进行观察。不同于光学显微镜 ,SPM是利用探针和样品之间的相互作用来扫描成像 ,探针对细... 扫描探针显微镜 (scanningprobemicroscope ,SPM)是近几年发展很快的一种形貌表征仪器。它的一个突出优点是 ,可在溶液中以很高的分辨率对细胞活体进行观察。不同于光学显微镜 ,SPM是利用探针和样品之间的相互作用来扫描成像 ,探针对细胞有力的作用。这种作用力会在扫描过程中直接影响细胞的状态。为了研究SPM成像过程中探针作用力对于细胞的影响 ,我们用SPM的接触模式 (contactmode)和敲击模式 (tappingmode)对培养液中的生物活细胞进行了较长时间的扫描观察。结果显示 ,尽管接触模式SPM成像清楚 ,但长时间的扫描会造成细胞凋零 ;敲击模式SPM进行长时间扫描时也会造成细胞变形 。 展开更多
关键词 扫描探针显微镜 细胞活性 作用力 分辨率 接触模式 敲击模式
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扫描探针显微术的应用(综述) 被引量：5
16
作者 蔡继业 曾洁铭 +1 位作者 王煜 曾耀英 《暨南大学学报（自然科学与医学版）》 CAS CSCD 2001年第3期91-95,共5页
扫描探针显微镜 (SPM)是扫描隧道显微镜 (STM)、原子力显微镜 (AFM)、近场光学显微镜(SNOM)等近几年发展起来的新型显微镜的总称 .SPM的发展使得在纳米尺度上研究物质的特性和相互作用成为可能 ,它为生物。
关键词 扫描探针显微镜 原子力显微镜 扫描隧道显微镜 近场光学显微镜 纳米科学技术
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扫描探针显微镜系列及其应用综述 被引量：16
17
作者 田文超 贾建援 《西安电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第1期108-112,共5页
扫描探针显微镜将人类带入原子世界,使人类不仅能够观察到物质表面原子的排布情况,而且能够按照人类的意图实现原子操纵.回顾了扫描探针显微镜的历史,介绍了目前国际上各种系列的扫描探针显微镜基本原理、主要特点、研究现状和最新应用... 扫描探针显微镜将人类带入原子世界,使人类不仅能够观察到物质表面原子的排布情况,而且能够按照人类的意图实现原子操纵.回顾了扫描探针显微镜的历史,介绍了目前国际上各种系列的扫描探针显微镜基本原理、主要特点、研究现状和最新应用情况,重点介绍了原子操纵和生命科学、信息科学领域的应用,提出了扫描探针显微镜目前的研究方向. 展开更多
关键词 扫描探针显微镜 扫描隧道显微镜 原子力显微镜 原子操纵 纳米技术 PDM NSOM spm
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扫描探针显微术在巯醇自组装单分子膜纳米刻蚀中的应用 被引量：5
18
作者 赵健伟 阚蓉蓉 +1 位作者 章岩 陈洪渊 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2006年第1期124-130,共7页
介绍了近十年来扫描探针显微术(SPM)在巯醇自组装单分子膜纳米刻蚀中的应用.依据扫描探针的工作原理,依次讨论了扫描隧道显微镜、原子力显微镜和导电原子力显微镜的工作特点和适用范围.同时也讨论了自组装单分子膜纳米刻蚀术在生物分子... 介绍了近十年来扫描探针显微术(SPM)在巯醇自组装单分子膜纳米刻蚀中的应用.依据扫描探针的工作原理,依次讨论了扫描隧道显微镜、原子力显微镜和导电原子力显微镜的工作特点和适用范围.同时也讨论了自组装单分子膜纳米刻蚀术在生物分子传感器、超高密度信息存储等领域的应用前景. 展开更多
关键词 扫描探针显微术 自组装膜 扫描隧道显微镜 原子力显微镜 纳米刻蚀
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扫描探针显微镜培训与开放管理 被引量：9
19
作者 屈泽华 卜娟 潘晓霞 《实验室研究与探索》 CAS 北大核心 2017年第2期273-275,296,共4页
从实验室扫描探针显微镜的平台管理模式、仪器介绍与运行情况分析出发,针对扫描探针显微镜培训人员的选拔、培训的时间安排、培训的基本内容、培训的方式方法、其他功能的培训方法等多个角度对扫描探针显微镜的培训与开放管理进行了全... 从实验室扫描探针显微镜的平台管理模式、仪器介绍与运行情况分析出发,针对扫描探针显微镜培训人员的选拔、培训的时间安排、培训的基本内容、培训的方式方法、其他功能的培训方法等多个角度对扫描探针显微镜的培训与开放管理进行了全面的分析,提出了扫描探针显微镜培训的新方法与管理新理念,加深学生对扫描探针显微镜的理论认识,加强同学们的动手能力,提高仪器的使用效率。 展开更多
关键词 扫描探针显微镜 培训 开放管理 共享
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压电微动工作台的动态迟滞模型 被引量：24
20
作者 张栋 张承进 魏强 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第3期549-556,共8页
为实现压电微动工作台的快速准确运动定位,研究了其运动定位模型。压电工作台的运动定位精度主要受工作台动态特性和迟滞特性的影响,在介绍这两类典型特性模型及其适用范围的基础上,提出了能够同时体现压电工作台动态特性和迟滞特性的... 为实现压电微动工作台的快速准确运动定位,研究了其运动定位模型。压电工作台的运动定位精度主要受工作台动态特性和迟滞特性的影响,在介绍这两类典型特性模型及其适用范围的基础上,提出了能够同时体现压电工作台动态特性和迟滞特性的动态迟滞模型,并给出了采用Prandtl-Ishlinskii(PI)迟滞算子的动态迟滞模型参数辨识途径。以TRITOR100型压电工作台为例进行实验研究,结果表明:当压电工作台在30μm的定位范围内以±900V/s的输入电压速率进行快速运动定位时,动态迟滞模型的模型精度比以往常用的线性动态模型和迟滞模型有较大提高,其平均误差为0.16μm,最大误差为0.38μm,为高性能运动定位工作台控制系统的设计提供了模型基础。 展开更多
关键词 压电微动工作台 运动定位 动态迟滞模型 PI迟滞模型 扫描探针显微镜
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