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Fabrication of grating-like polystyrene latex monolayer structure as three-dimensional calibration standards for scanning probe microscope
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作者 朱国栋 曾志刚 +2 位作者 国璋 杜强国 严学俭 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2009年第3期997-1001,共5页
This paper illuminates the preparation of grating-like polystyrene latex monolayer structure, which can minimize the effects of the size deviation of spheres and the defect transfer on the accuracy as calibration samp... This paper illuminates the preparation of grating-like polystyrene latex monolayer structure, which can minimize the effects of the size deviation of spheres and the defect transfer on the accuracy as calibration samples for micro-scopes. The latex films are grown on freshly cleaved mica substrates by vertical deposition method. The concentration dependence of the structure and the topography of latex films is characterized by optical microscope, ultraviolet- visible transmission spectrum and scanning probe microscope. The origination of such a grating-like structure is also discussed. 展开更多
关键词 polystyrene spheres scanning probe microscope grating-like structure calibration samrile
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SPM探针制造技术的研究和发展 被引量:6
2
作者 傅惠南 王宏霞 +1 位作者 王晓红 区仲荣 《电子显微学报》 CAS CSCD 2005年第6期622-628,共7页
探针是扫描探针显微镜的核心部分,结构及针尖的表面状态会影响此类仪器的操作性、可控制性、工作稳定性、可靠性以及其它性能的发挥。探针及其相关技术的研究进展成为人们十分关注的问题。探针对表面物理信息的检测是一个针尖与试样表... 探针是扫描探针显微镜的核心部分,结构及针尖的表面状态会影响此类仪器的操作性、可控制性、工作稳定性、可靠性以及其它性能的发挥。探针及其相关技术的研究进展成为人们十分关注的问题。探针对表面物理信息的检测是一个针尖与试样表面相互作用的过程,包含物理、几何关系,还包含表面微观化学作用及其它微观因素的影响。本文探讨探针与表面相互作用关系,并就近些年探针技术发展讨论探针性能、针尖及相应结构的改进,探针功能的拓展以及功能的组合,讨论相关制备技术方法、特点和相应检测条件、适用环境等。 展开更多
关键词 扫描探针显微镜 微悬臂 针尖
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SPM图像模拟、表面重建及探针估计 被引量:4
3
作者 陈宇航 黄文浩 +1 位作者 鲁健 党学明 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2001年第5期649-653,共5页
扫描探针显微镜获得的图像是样品和探针共同作用的结果 ,它只是被测样品实际形貌的近似描述 ,所以进行定量的SPM图像模拟、探针估计和表面重建工作十分必要。本文分析比较了几种SPM图像处理的算法 ,且应用数学形态学方法给出了一些典型... 扫描探针显微镜获得的图像是样品和探针共同作用的结果 ,它只是被测样品实际形貌的近似描述 ,所以进行定量的SPM图像模拟、探针估计和表面重建工作十分必要。本文分析比较了几种SPM图像处理的算法 ,且应用数学形态学方法给出了一些典型表面的图像模拟、表面重建以及探针估计的结果 。 展开更多
关键词 图像模拟 数学形态学 扫描探针显微镜 表面重建 探针估计
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基于SPM技术的表面纳米计量 被引量:1
4
作者 黄文浩 陈宇航 党学明 《微纳电子技术》 CAS 2004年第1期1-9,25,共10页
用扫描探针显微镜(SPM)技术观察三维表面形态,可以达到纳米级甚至原子量级的分辨率,所以SPM技术在计量方面有着广阔的应用前景。20年来,人们采用各种理论和方法来提高SPM的精度和稳定性,以适应表面计量领域不断提出的新要求。本文在总... 用扫描探针显微镜(SPM)技术观察三维表面形态,可以达到纳米级甚至原子量级的分辨率,所以SPM技术在计量方面有着广阔的应用前景。20年来,人们采用各种理论和方法来提高SPM的精度和稳定性,以适应表面计量领域不断提出的新要求。本文在总结表面规范与建模、高分辨率和高时间稳定性测量、图像解释与表面重建、SPM误差和校准以及纳米对准技术等研究结果的基础上,对今后发展的趋势作了展望。 展开更多
关键词 spm 扫描探针显微镜 表面纳米计量 纳米对准 图像解释 稳定性测量 校准
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振动与扫描速率综合影响SPM图像的实验研究
5
作者 陈津平 胡晓东 +2 位作者 陈峰 郭彤 胡小唐 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2003年第3期242-246,共5页
探讨了外界激振对扫描探针显微镜 (SPM)图像的影响。针对DI扫描探针显微镜MultiModeTM SPM ,以Tektronix任意波形发生器AWG2 0 2 1驱动PC扬声器作为激振源 ,以SIOS微型激光干涉测振仪SP S为测振系统 ,研究了 0~ 7kHz频带内SPM机体的简... 探讨了外界激振对扫描探针显微镜 (SPM)图像的影响。针对DI扫描探针显微镜MultiModeTM SPM ,以Tektronix任意波形发生器AWG2 0 2 1驱动PC扬声器作为激振源 ,以SIOS微型激光干涉测振仪SP S为测振系统 ,研究了 0~ 7kHz频带内SPM机体的简谐迫振对扫描图像的影响。实验表明 ,针尖 -样品副所受激振影响不同于SPM机体 ;0~ 1kHz频带内的激振影响显著 ,再高频段则影响甚微 ;外界激振与SPM扫描的综合作用影响成像的结果 ;针尖 展开更多
关键词 扫描探针显微镜 spm图像 扫描速率 外界激振 粘弹性模型 扫描频率 固有频率 针尖-样品副
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SPM微悬臂弹性常数校准技术
6
作者 闫永达 尹大勇 +2 位作者 孙涛 费维栋 董申 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2009年第3期174-180,185,共8页
综述了扫描探针显微镜(SPM)的微悬臂梁弹性常数Kn的校准方法,主要包括物理尺寸法、动态测量法和静态测量法。物理尺寸法计算方便,可给出任何方向、任意形状的弹性常数表达式,但测量精度不高,适用于精度要求不高的场合;动态测量方法适用... 综述了扫描探针显微镜(SPM)的微悬臂梁弹性常数Kn的校准方法,主要包括物理尺寸法、动态测量法和静态测量法。物理尺寸法计算方便,可给出任何方向、任意形状的弹性常数表达式,但测量精度不高,适用于精度要求不高的场合;动态测量方法适用于任意形状悬臂,校准过程简单快捷,不易损坏悬臂;静态测量法采用外加设备如标准悬臂或者标准加压设备,操作过程麻烦,易损坏悬臂。但动态和静态测量法的精度较高,因此适用于要求提供精确力信号的场合。目前,静态测量法中采用标准弹簧校准的测量精度可达2%~5%,校准过程方便快捷,具有一定的发展潜力。 展开更多
关键词 扫描探针显微镜 微悬臂 弹性常数 校准 动态测量 静态测量
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用于扩展SPM检测范围的精密定位系统
7
作者 孙涛 董申 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2001年第5期669-672,共4页
本文介绍了所研制的二维微定位柔性系统和一维精密转动系统 ,进行了相关技术的研究并给出了设计参数。使SPM能够满足高精度下的大尺寸平面样品以及球形被测样品的全范围检测 ,扩大了扫描探针显微镜 (SPM)
关键词 扫描探针显微镜 精密定位技术 三维测量 检测范围
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RRAM的氧空位与金属细丝机制SPM的比较 被引量:2
8
作者 李丛飞 傅兴华 +1 位作者 李良荣 赵海臣 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2014年第1期24-29,共6页
应用扫描探针显微镜(SPM)技术实现了氧化物阻变薄膜局部区域高低阻态的互相转变。通过电激励、编程和擦除等操作,控制细丝的产生和断裂,实现了阻变薄膜局域的重复编程/擦除操作。用该方法分别研究了氧空位机制与金属导电细丝机制的氧化... 应用扫描探针显微镜(SPM)技术实现了氧化物阻变薄膜局部区域高低阻态的互相转变。通过电激励、编程和擦除等操作,控制细丝的产生和断裂,实现了阻变薄膜局域的重复编程/擦除操作。用该方法分别研究了氧空位机制与金属导电细丝机制的氧化物薄膜的阻变特性,对两种机制做了对比研究。结果表明:在阻变存储器(RRAM)中氧空位机制在导电细丝和数据密度方面要高于金属细丝机制。同时,金属细丝机制阻变薄膜部分区域因编程/擦除操作发生了永久性形貌变化,可能对阻变器件的电极产生永久性破坏,这说明氧空位机制阻变薄膜在未来的高密度存储上具有较好的应用前景。 展开更多
关键词 阻变存储器(RRAM) 导电原子力显微镜(CAFM) 扫描探针显微镜(spm) 阻变机制 氧空位机制 金属细丝机制
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基于SPM的纳米计量中若干重要问题
9
作者 黄文浩 《上海计量测试》 2005年第2期8-10,共3页
1引言 扫描探针显微镜(SPM)由于具有纳米甚至原子量级的分辨率,20多年来已引起各个领域科学家们的广泛兴趣.在精密工程领域,它作为一种极具前途的纳米计量工具,已在许多国家受到了广泛的重视,如美国NIST,德国PTB和英国NPL等都相继开展... 1引言 扫描探针显微镜(SPM)由于具有纳米甚至原子量级的分辨率,20多年来已引起各个领域科学家们的广泛兴趣.在精密工程领域,它作为一种极具前途的纳米计量工具,已在许多国家受到了广泛的重视,如美国NIST,德国PTB和英国NPL等都相继开展了基于SPM的纳米计量技术研究.但作为纳米级的计量分析仪器,不仅要有高分辨率,更要有纳米级甚至更高的精度.因此需要计量工作者对SPM在纳米计量应用的各个方面有比较全面和深入的了解.本文在SPM图像重建、漂移的在线补偿、纳米定位和三维表面粗糙度测量等方面进行了讨论. 展开更多
关键词 spm 扫描探针显微镜 纳米计量 图像扫描
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基于数字信号处理器DSP的SPM研究
10
作者 张雪辉 安连祥 +2 位作者 王时毅 韩立 左燕生 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2003年第3期252-255,共4页
本文以TI公司的TMS32 0C5 4xDSP为核心 ,介绍了DSP SPM全数字化系统。文章首先指出目前国产扫描探针显微镜存在智能化及集成度不高、PID参数调节不方便、成本高等不足。进而引入数字信号处理器 (DigitalSignalProcessorDSP) ,介绍了TMS3... 本文以TI公司的TMS32 0C5 4xDSP为核心 ,介绍了DSP SPM全数字化系统。文章首先指出目前国产扫描探针显微镜存在智能化及集成度不高、PID参数调节不方便、成本高等不足。进而引入数字信号处理器 (DigitalSignalProcessorDSP) ,介绍了TMS32 0C5 4xDSP的特点及其开发工具 ;然后给出了DSP SPM系统的框图及DSP算法 ;文章最后还简单介绍了利用’5 4X的HPI(HostPortInterface) 展开更多
关键词 数字信号处理器 扫描探针显微镜 纳米技术 直接数字集成器 主机接口 DSP算法
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STM钨针尖电化学加工及其装置的改进 被引量:9
11
作者 姚琲 李春艳 +2 位作者 刘平 王慧 杨梅 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2003年第3期256-258,共3页
本文报导利用自由落体的原理 ,设计了一种新的针尖和液面脱离装置制作了STM钨针尖 ,并与利用步进电机提升针尖的方法进行了比较。分析和实验说明 ,本方法脱离速度较快 ,简单经济 ,效果良好。
关键词 扫描隧道显微镜 扫描探针显微镜 针尖 液面脱离装置 电化学腐蚀 电化学加工 显微镜设计
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扫描探针显微镜在胶原纤维精细结构研究中的应用 被引量:5
12
作者 田云飞 赵纯培 +3 位作者 陈红 刘岁林 王英梅 李志强 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2003年第2期83-86,共4页
作为一种新型的微区分析仪器 ,扫描探针显微镜已迅速普及和应用到了各门学科 ,而在生物领域的应用则相对比较落后。本文简要介绍了扫描探针显微镜这一新型表面测试技术在猪皮胶原精细结构研究中的应用方法 。
关键词 扫描探针显微镜 胶原纤维 精细结构 猪皮
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二维零位光栅及其在纳米计量技术中的应用 被引量:6
13
作者 胡翘 王文伟 +1 位作者 黄文浩 李尚志 《电子显微学报》 CAS CSCD 1999年第1期137-140,共4页
本文提出了一种用二维零位光栅来实现超高分辨率的绝对测量方法。利用二维零位光栅作为整个系统的零点,可消除SPM仪器的累计误差。本文对二维零位原子光栅的原理,评价指标,评价指标极限的计算,作了详细介绍。本文给出了计算机仿... 本文提出了一种用二维零位光栅来实现超高分辨率的绝对测量方法。利用二维零位光栅作为整个系统的零点,可消除SPM仪器的累计误差。本文对二维零位原子光栅的原理,评价指标,评价指标极限的计算,作了详细介绍。本文给出了计算机仿真结果。 展开更多
关键词 spm 零位光栅 纳米计量 二维 超高分辨率
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扫描探针显微镜进行细胞扫描时探针对于细胞活性的影响 被引量:6
14
作者 韩立 韩冬 +1 位作者 王秀凤 陈皓明 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2003年第2期92-96,共5页
扫描探针显微镜 (scanningprobemicroscope ,SPM)是近几年发展很快的一种形貌表征仪器。它的一个突出优点是 ,可在溶液中以很高的分辨率对细胞活体进行观察。不同于光学显微镜 ,SPM是利用探针和样品之间的相互作用来扫描成像 ,探针对细... 扫描探针显微镜 (scanningprobemicroscope ,SPM)是近几年发展很快的一种形貌表征仪器。它的一个突出优点是 ,可在溶液中以很高的分辨率对细胞活体进行观察。不同于光学显微镜 ,SPM是利用探针和样品之间的相互作用来扫描成像 ,探针对细胞有力的作用。这种作用力会在扫描过程中直接影响细胞的状态。为了研究SPM成像过程中探针作用力对于细胞的影响 ,我们用SPM的接触模式 (contactmode)和敲击模式 (tappingmode)对培养液中的生物活细胞进行了较长时间的扫描观察。结果显示 ,尽管接触模式SPM成像清楚 ,但长时间的扫描会造成细胞凋零 ;敲击模式SPM进行长时间扫描时也会造成细胞变形 。 展开更多
关键词 扫描探针显微镜 细胞活性 作用力 分辨率 接触模式 敲击模式
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扫描探针显微镜系列及其应用综述 被引量:16
15
作者 田文超 贾建援 《西安电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第1期108-112,共5页
扫描探针显微镜将人类带入原子世界,使人类不仅能够观察到物质表面原子的排布情况,而且能够按照人类的意图实现原子操纵.回顾了扫描探针显微镜的历史,介绍了目前国际上各种系列的扫描探针显微镜基本原理、主要特点、研究现状和最新应用... 扫描探针显微镜将人类带入原子世界,使人类不仅能够观察到物质表面原子的排布情况,而且能够按照人类的意图实现原子操纵.回顾了扫描探针显微镜的历史,介绍了目前国际上各种系列的扫描探针显微镜基本原理、主要特点、研究现状和最新应用情况,重点介绍了原子操纵和生命科学、信息科学领域的应用,提出了扫描探针显微镜目前的研究方向. 展开更多
关键词 扫描探针显微镜 扫描隧道显微镜 原子力显微镜 原子操纵 纳米技术 PDM NSOM spm
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扫描探针显微术在巯醇自组装单分子膜纳米刻蚀中的应用 被引量:5
16
作者 赵健伟 阚蓉蓉 +1 位作者 章岩 陈洪渊 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2006年第1期124-130,共7页
介绍了近十年来扫描探针显微术(SPM)在巯醇自组装单分子膜纳米刻蚀中的应用.依据扫描探针的工作原理,依次讨论了扫描隧道显微镜、原子力显微镜和导电原子力显微镜的工作特点和适用范围.同时也讨论了自组装单分子膜纳米刻蚀术在生物分子... 介绍了近十年来扫描探针显微术(SPM)在巯醇自组装单分子膜纳米刻蚀中的应用.依据扫描探针的工作原理,依次讨论了扫描隧道显微镜、原子力显微镜和导电原子力显微镜的工作特点和适用范围.同时也讨论了自组装单分子膜纳米刻蚀术在生物分子传感器、超高密度信息存储等领域的应用前景. 展开更多
关键词 扫描探针显微术 自组装膜 扫描隧道显微镜 原子力显微镜 纳米刻蚀
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一种纳米分辨率近场光学显微镜——光子扫描隧道显微镜 被引量:6
17
作者 姚骏恩 吴世法 +7 位作者 高崧 郭宁 商广义 初世超 贺节 夏德宽 李成基 徐绍华 《电子显微学报》 CAS CSCD 1997年第3期223-228,共6页
报导了我们研制的一台光子扫描隧道显微镜。论述了原理,结构,光纤探针制造,信号放大以及调试中解决的几个技术问题等。图像的横向分辨率优于10nm,纵向分辨率约1nm,扫描范围10μm×10μm。还观察了云母。
关键词 近场光学显微镜 光子扫描隧道 显微镜
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电沉积二氧化钛纳米微粒膜的光电化学性能和表面形貌研究 被引量:27
18
作者 罗瑾 周静 +1 位作者 祖延兵 林仲华 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1998年第9期1484-1487,共4页
采用光电流谱、透射光谱和扫描微探针显微镜技术对电沉积法制备的二氧化钛纳米微粒膜的光电化学性能和表面形貌进行了研究.结果表明,不同制备条件下的二氧化钛纳米微粒膜具有与紧密的半导体电极不同的光电化学性质,并探讨了其光电化... 采用光电流谱、透射光谱和扫描微探针显微镜技术对电沉积法制备的二氧化钛纳米微粒膜的光电化学性能和表面形貌进行了研究.结果表明,不同制备条件下的二氧化钛纳米微粒膜具有与紧密的半导体电极不同的光电化学性质,并探讨了其光电化学性能与表面形貌的关系. 展开更多
关键词 电沉积 二氧化钛 纳米微粒膜 光电化学 电极
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湖北钟祥累托石的电子显微研究 被引量:9
19
作者 洪汉烈 铁丽云 +1 位作者 边秋娟 周泳 《电子显微学报》 CAS CSCD 2005年第2期124-128,共5页
利用扫描电镜、电子探针分析方法,对钟祥累托石的晶体形貌及化学成分特征进行了原位电子显微分析。结果表明,钟祥累托石普遍发育折叠状形态,一般可见有四种形式:波纹状、弯曲状、折曲状和扭折状。累托石晶体表面上常发育有多角形的台阶... 利用扫描电镜、电子探针分析方法,对钟祥累托石的晶体形貌及化学成分特征进行了原位电子显微分析。结果表明,钟祥累托石普遍发育折叠状形态,一般可见有四种形式:波纹状、弯曲状、折曲状和扭折状。累托石晶体表面上常发育有多角形的台阶,说明累托石晶体是通过一层一层的叠合生长方式而形成的;板片状的水云母晶体边缘转化形成薄片状、纤维状的累托石晶体,表明累托石晶体来源于云母的转化;纤维状、棒状的累托石晶体包裹于或穿插片状的累托石晶体,说明钟祥累托石经历了多期次的结晶作用。电子探针的分析结果表明,钟祥累托石的晶体化学式为:云母层(Na0.44K0.16)Al2[(AlSi3)O10](OH)2和蒙脱石层(Ca0.46Mg0.04Fe0.06)(Al1.76Fe0.10Ti0.14)[Al0.90Si3.10O10](OH)2·nH2O,是由钾、钠云母层和钙蒙脱石层规则间层而形成的一种混层矿物。 展开更多
关键词 累托石 显微研究 湖北 电子探针分析 化学成分特征 分析结果 蒙脱石层 晶体化学式 扫描电镜 电子显微 晶体形貌 晶体表面 生长方式 云母晶体 结晶作用 混层矿物 纤维状 云母层 多角形 薄片状 多期次 发育 转化
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扫描探针显微镜的最新技术进展及应用 被引量:13
20
作者 赵清亮 王景贺 +1 位作者 李旦 董申 《电子显微学报》 CAS CSCD 2000年第1期69-75,共7页
本文在讨论SPM基本原理和应用的基础上,详细介绍了近期SPM的最新技术进展和成像模式以及拓展的应用领域,使我们能对SPM有一个全新的认识和了解,以便把它们更好地应用到研究领域中。
关键词 扫描探针显微镜 原子力显微镜 成像原理
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