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基于POD热网络模型的SiC MOSFET浪涌安全工作区评估
1
作者
赵耀
刘征
+2 位作者
王志强
王进君
李国锋
《中国电机工程学报》
北大核心
2025年第15期6080-6091,I0027,共13页
碳化硅(silicon carbide,SiC)金属氧化物半导体场效应晶体管(metal-oxide-semiconductor field effect transistor,MOSFET)在实际运行中通常会面临浪涌极端工况,导致器件失效。浪涌安全工作区(safe operating area,SOA)是衡量其可靠性...
碳化硅(silicon carbide,SiC)金属氧化物半导体场效应晶体管(metal-oxide-semiconductor field effect transistor,MOSFET)在实际运行中通常会面临浪涌极端工况,导致器件失效。浪涌安全工作区(safe operating area,SOA)是衡量其可靠性的重要指标。目前浪涌SOA的评估需要多次破坏性实验,成本高昂。为此,提出一种SiC MOSFET器件浪涌SOA的低成本评估方法。首先,建立SiC MOSFET温度计算有限元模型,利用特征正交分解算法降低有限元模型阶数形成降阶模型,并基于降阶模型建立SiC MOSFET器件的热网络模型,同时考虑器件温度对热网络模型参数的非线性影响;其次,建立SiC MOSFET体二极管的电路模型,与热网络模型关联形成电热耦合模型;之后,基于电热耦合模型构造不同浪涌工况与SiC MOSFET器件温度的数据集,并引入Kriging代理模型揭示工况与器件温度的映射关系,实现SiC MOSFET器件浪涌SOA的快速评估;最后,通过破坏性测试验证所提浪涌SOA评估方法的有效性。
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关键词
碳化硅金属氧化物半导体场效应晶体管
浪涌
极端工况
热网络
安全工作区
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职称材料
补偿型双阱变掺杂SOI LDMOS器件
2
作者
李旭泓
孙与飚
+1 位作者
刘腾
张加宏
《半导体技术》
北大核心
2025年第10期995-1000,共6页
传统对绝缘体上硅(SOI)横向双扩散金属氧化物半导体(LDMOS)器件的优化主要集中在关态下电离电荷场优化。而实际工作过程中,开态下的载流子会破坏漂移区的电荷平衡,从而直接影响器件的安全工作区(SOA)和可靠性。提出了载流子的动态电荷...
传统对绝缘体上硅(SOI)横向双扩散金属氧化物半导体(LDMOS)器件的优化主要集中在关态下电离电荷场优化。而实际工作过程中,开态下的载流子会破坏漂移区的电荷平衡,从而直接影响器件的安全工作区(SOA)和可靠性。提出了载流子的动态电荷场调制机理,分析其对器件表面电场的调制作用。基于该机理,设计了一种补偿型双阱变掺杂SOI LDMOS器件结构。通过在传统器件中引入双阱变掺杂技术,优化了器件表面电场,并显著扩展了SOA。进一步采用兼容工艺制备了高压CMOS器件。实验结果显示,n型LDMOS器件关态击穿电压(V_(B))>300 V,栅压15 V下的开态V_(B)>200 V;p型LDMOS器件关态V_(B)>200 V,栅压-15 V下的开态V_(B)>300 V。该器件在关态和开态下的V_(B)均可满足200 V应用需求,适用于宽SOA。
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关键词
绝缘体上硅(SOI)
横向双扩散金属氧化物半导体(LDMOS)
电荷场调制
宽安全工作区(
soa
)
载流子电荷
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职称材料
功率MOSFET并联驱动特性分析
被引量:
12
3
作者
钱敏
徐鸣谦
米智楠
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第11期951-956,共6页
并联MOSFET非常适合于在低电压、大电流下工作。基于IRFS4227PBF功率MOSFET,分析和测试了在一定散热环境下MOSFET结温的收敛特性与漏极电流的关系,说明了MOSFET的实际电流容量受散热条件制约,并以此确定在额定电流下需要并联的个数。用P...
并联MOSFET非常适合于在低电压、大电流下工作。基于IRFS4227PBF功率MOSFET,分析和测试了在一定散热环境下MOSFET结温的收敛特性与漏极电流的关系,说明了MOSFET的实际电流容量受散热条件制约,并以此确定在额定电流下需要并联的个数。用PSPICE电路仿真论述了外围电路Q值和功率管参数等因素对并联驱动的动态均流特性的影响。在此基础上搭建实验平台,成功实现了8个MOSFET并联在高频状态下的稳定工作。
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关键词
MOSFET并联
安全工作区
导热
动态均流
PSPICE仿真
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职称材料
功率NLDMOS电学安全工作区的版图设计优化
被引量:
1
4
作者
陈轶群
陈佳旅
蒲贤勇
《半导体技术》
CAS
北大核心
2019年第8期623-627,658,共6页
在不调整制备工艺、不增加工艺成本条件下,研究了管芯版图优化对功率n型横向扩散金属氧化物半导体(NLDMOS)电学安全工作区(E-SOA)的影响。通过研究p^+带嵌入方式、p^+图形形状、p^+分布密度、阵列单元栅宽及总栅数、金属引线方式等进行...
在不调整制备工艺、不增加工艺成本条件下,研究了管芯版图优化对功率n型横向扩散金属氧化物半导体(NLDMOS)电学安全工作区(E-SOA)的影响。通过研究p^+带嵌入方式、p^+图形形状、p^+分布密度、阵列单元栅宽及总栅数、金属引线方式等进行了版图设计优化和流片。管芯传输线脉冲(TLP)E-SOA测试结果表明,优化后的版图使NLDMOS在5 V工作电压下TLP E-SOA提升约30%,金属引线的加宽和叠加使NLDMOS的开态电流提升约7%。带状紧凑型p^+带且双栅极嵌入的优化版图设计能更好地稳定硅衬底电位,抑制寄生三极管的开启,增大E-SOA,提高器件可靠性。因此,版图设计优化对提升功率NLDMOS的性能和可靠性具有实际意义。
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关键词
功率管
n型横向扩散金属氧化物半导体(NLDMOS)
版图设计
电学安全工作区(E-
soa
)
传输线脉冲(TLP)
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职称材料
题名
基于POD热网络模型的SiC MOSFET浪涌安全工作区评估
1
作者
赵耀
刘征
王志强
王进君
李国锋
机构
大连理工大学电气工程学院
出处
《中国电机工程学报》
北大核心
2025年第15期6080-6091,I0027,共13页
基金
国家自然科学基金项目(青年科学基金项目)(51907016)。
文摘
碳化硅(silicon carbide,SiC)金属氧化物半导体场效应晶体管(metal-oxide-semiconductor field effect transistor,MOSFET)在实际运行中通常会面临浪涌极端工况,导致器件失效。浪涌安全工作区(safe operating area,SOA)是衡量其可靠性的重要指标。目前浪涌SOA的评估需要多次破坏性实验,成本高昂。为此,提出一种SiC MOSFET器件浪涌SOA的低成本评估方法。首先,建立SiC MOSFET温度计算有限元模型,利用特征正交分解算法降低有限元模型阶数形成降阶模型,并基于降阶模型建立SiC MOSFET器件的热网络模型,同时考虑器件温度对热网络模型参数的非线性影响;其次,建立SiC MOSFET体二极管的电路模型,与热网络模型关联形成电热耦合模型;之后,基于电热耦合模型构造不同浪涌工况与SiC MOSFET器件温度的数据集,并引入Kriging代理模型揭示工况与器件温度的映射关系,实现SiC MOSFET器件浪涌SOA的快速评估;最后,通过破坏性测试验证所提浪涌SOA评估方法的有效性。
关键词
碳化硅金属氧化物半导体场效应晶体管
浪涌
极端工况
热网络
安全工作区
Keywords
silicon carbide metal-oxide-semiconductor field effect transistor(SiC MOSFET)
surge
extreme conditions
thermal network
safe
operating area(
soa
)conditions
thermal network
safe
operatingarea
(
soa
)
分类号
TM46 [电气工程—电器]
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职称材料
题名
补偿型双阱变掺杂SOI LDMOS器件
2
作者
李旭泓
孙与飚
刘腾
张加宏
机构
南京信息工程大学集成电路学院
无锡华润上华科技有限公司
出处
《半导体技术》
北大核心
2025年第10期995-1000,共6页
基金
国家自然科学基金(42275143)。
文摘
传统对绝缘体上硅(SOI)横向双扩散金属氧化物半导体(LDMOS)器件的优化主要集中在关态下电离电荷场优化。而实际工作过程中,开态下的载流子会破坏漂移区的电荷平衡,从而直接影响器件的安全工作区(SOA)和可靠性。提出了载流子的动态电荷场调制机理,分析其对器件表面电场的调制作用。基于该机理,设计了一种补偿型双阱变掺杂SOI LDMOS器件结构。通过在传统器件中引入双阱变掺杂技术,优化了器件表面电场,并显著扩展了SOA。进一步采用兼容工艺制备了高压CMOS器件。实验结果显示,n型LDMOS器件关态击穿电压(V_(B))>300 V,栅压15 V下的开态V_(B)>200 V;p型LDMOS器件关态V_(B)>200 V,栅压-15 V下的开态V_(B)>300 V。该器件在关态和开态下的V_(B)均可满足200 V应用需求,适用于宽SOA。
关键词
绝缘体上硅(SOI)
横向双扩散金属氧化物半导体(LDMOS)
电荷场调制
宽安全工作区(
soa
)
载流子电荷
Keywords
silicon on insulator(SOI)
lateral diffused metal oxide semiconductor(LDMOS)
charge field modulation
wide
safe
operating area(
soa
)
carrier charge
分类号
TN386.1 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
功率MOSFET并联驱动特性分析
被引量:
12
3
作者
钱敏
徐鸣谦
米智楠
机构
同济大学机械工程学院
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第11期951-956,共6页
文摘
并联MOSFET非常适合于在低电压、大电流下工作。基于IRFS4227PBF功率MOSFET,分析和测试了在一定散热环境下MOSFET结温的收敛特性与漏极电流的关系,说明了MOSFET的实际电流容量受散热条件制约,并以此确定在额定电流下需要并联的个数。用PSPICE电路仿真论述了外围电路Q值和功率管参数等因素对并联驱动的动态均流特性的影响。在此基础上搭建实验平台,成功实现了8个MOSFET并联在高频状态下的稳定工作。
关键词
MOSFET并联
安全工作区
导热
动态均流
PSPICE仿真
Keywords
parallel MOSFET
safe
operatingarea
heat conduction
transient current share
PSPICE simulation
分类号
TN386.1 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
功率NLDMOS电学安全工作区的版图设计优化
被引量:
1
4
作者
陈轶群
陈佳旅
蒲贤勇
机构
中芯国际集成电路制造有限公司
出处
《半导体技术》
CAS
北大核心
2019年第8期623-627,658,共6页
文摘
在不调整制备工艺、不增加工艺成本条件下,研究了管芯版图优化对功率n型横向扩散金属氧化物半导体(NLDMOS)电学安全工作区(E-SOA)的影响。通过研究p^+带嵌入方式、p^+图形形状、p^+分布密度、阵列单元栅宽及总栅数、金属引线方式等进行了版图设计优化和流片。管芯传输线脉冲(TLP)E-SOA测试结果表明,优化后的版图使NLDMOS在5 V工作电压下TLP E-SOA提升约30%,金属引线的加宽和叠加使NLDMOS的开态电流提升约7%。带状紧凑型p^+带且双栅极嵌入的优化版图设计能更好地稳定硅衬底电位,抑制寄生三极管的开启,增大E-SOA,提高器件可靠性。因此,版图设计优化对提升功率NLDMOS的性能和可靠性具有实际意义。
关键词
功率管
n型横向扩散金属氧化物半导体(NLDMOS)
版图设计
电学安全工作区(E-
soa
)
传输线脉冲(TLP)
Keywords
power transistor
n-type laterally diffused metal oxide semiconductor(NLDMOS)
layout design
electrical
safe
operating area(E-
soa
)
transmission line pulse(TLP)
分类号
TN386 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于POD热网络模型的SiC MOSFET浪涌安全工作区评估
赵耀
刘征
王志强
王进君
李国锋
《中国电机工程学报》
北大核心
2025
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
补偿型双阱变掺杂SOI LDMOS器件
李旭泓
孙与飚
刘腾
张加宏
《半导体技术》
北大核心
2025
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
功率MOSFET并联驱动特性分析
钱敏
徐鸣谦
米智楠
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2007
12
在线阅读
下载PDF
职称材料
4
功率NLDMOS电学安全工作区的版图设计优化
陈轶群
陈佳旅
蒲贤勇
《半导体技术》
CAS
北大核心
2019
1
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职称材料
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