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基于互质阵列的阵元排布优化方法 被引量：1
1
作者 洪艳军 唐骏 +2 位作者 袁江南 张廷伟 王光翌 《雷达科学与技术》 北大核心 2024年第3期341-348,共8页
相比于传统的线性均匀阵列,稀疏互质阵列提供了更多的自由度,但是稀疏阵列对应的差分阵列中的孔洞影响了DOA估计的性能。为了解决这个问题,该文提出了两种基于互质阵列的稀疏阵列优化方法,减少了差分阵列孔洞数量。首先,对标准互质阵列... 相比于传统的线性均匀阵列,稀疏互质阵列提供了更多的自由度,但是稀疏阵列对应的差分阵列中的孔洞影响了DOA估计的性能。为了解决这个问题,该文提出了两种基于互质阵列的稀疏阵列优化方法,减少了差分阵列孔洞数量。首先,对标准互质阵列的虚拟阵列排列进行了分析,发现移除0位置阵元后,阵列可分辨信源数没有发生变化。因此,该文将这个阵元移动到了新的位置,以优化阵列设计,并且推导出两种提出的阵列虚拟阵列最大连续部分和自由度的数学表达式。仿真结果表明,两种阵列在DOA估计方面和均方根误差方面均优于标准互质阵列,具有比较优越的性能。 展开更多
关键词 互质阵列 移动阵元 虚拟阵列孔洞 到达角度估计
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面向二维波达方向估计的无孔洞互质面阵设计 被引量：1
2
作者 刘军 张华乐 +3 位作者 冯宝 卞宇翔 韩盛欣来 张小飞 《数据采集与处理》 CSCD 北大核心 2024年第6期1399-1409,共11页
针对传统互质平面阵列(Coprime planar array, CPA)结构在使用其差分共阵(Difference coarray,DCA)进行二维波达方向(Direction of arrival,DOA)估计时存在孔洞,因此损失可用连续自由度的问题,本文提出了一种无孔洞互质面阵(Hole-free c... 针对传统互质平面阵列(Coprime planar array, CPA)结构在使用其差分共阵(Difference coarray,DCA)进行二维波达方向(Direction of arrival,DOA)估计时存在孔洞,因此损失可用连续自由度的问题,本文提出了一种无孔洞互质面阵(Hole-free coprime planar array,HFCPA)结构。这种面阵由无孔洞互质线阵分别沿x轴和y轴扩展得到,其DCA为无孔洞的矩形阵。此外,本文还给出了最佳HFCPA结构,以充分放大可用的连续自由度。仿真结果表明,与现有互质面阵结构相比,所提面阵结构在连续自由度数量、虚拟化效率和二维DOA估计性能方面具有优越性。 展开更多
关键词 互质面阵 阵列设计 二维波达角 无孔洞差分共阵
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锂电池极片孔阵列冲击射流干燥流场特性研究
3
作者 张莲 李徐佳 +2 位作者 刘华 李贵敬 许宏鹏 《燕山大学学报》 CAS 北大核心 2024年第6期493-502,共10页
为解决锂离子电池极片在传统干燥设备中因回风气流过于集中导致的涂层边缘卷曲、开裂问题,提出了一种适用于锂电池极片干燥工艺的孔阵列冲击射流干燥型式及其设计基本原则;利用SolidWorks软件建立孔阵列构型(干燥箱内主要均流元件)的几... 为解决锂离子电池极片在传统干燥设备中因回风气流过于集中导致的涂层边缘卷曲、开裂问题,提出了一种适用于锂电池极片干燥工艺的孔阵列冲击射流干燥型式及其设计基本原则;利用SolidWorks软件建立孔阵列构型(干燥箱内主要均流元件)的几何模型,通过有限体积法求得其稳态流场,验证了孔阵列构型设计思路的正确性以及新回风方式的合理性;对不同排布密度的孔阵列结构构型进行了速度场、温度场分布特性的定性与定量分析,确定了常规干燥条件下最佳的阵列结构。结果表明,在工艺和工况允许范围内,增大孔阵列排布密度能够提升干燥箱及极片表面流场分布均匀性,从而提高干燥换热效率,为锂电池干燥设备改进、干燥质量改善等提供参考。 展开更多
关键词 锂电池 极片 干燥箱 孔阵列 冲击射流
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2022年6月19日广东佛山龙卷的双极化相控阵雷达特征 被引量：4
4
作者 植江玲 白兰强 +4 位作者 黄先香 蔡康龙 张晶晶 李兆明 黄舒婷 《热带气象学报》 CSCD 北大核心 2024年第2期297-312,共16页
利用X波段双极化相控阵雷达等多源观测资料,分析了2022年6月19日早晨广东佛山超级单体龙卷的环境条件和对流风暴的结构及演变特征。龙卷母体风暴是在强西南季风天气背景下的一条东北-西南向飑线南端发展起来的。环境条件具备较大对流有... 利用X波段双极化相控阵雷达等多源观测资料,分析了2022年6月19日早晨广东佛山超级单体龙卷的环境条件和对流风暴的结构及演变特征。龙卷母体风暴是在强西南季风天气背景下的一条东北-西南向飑线南端发展起来的。环境条件具备较大对流有效位能、低抬升凝结高度和强垂直风切变等有利于超级单体龙卷发生发展的热力和动力条件;低空风暴相对螺旋度、超级单体复合指数和强龙卷指数的显著增强对超级单体龙卷的发生有较好指示意义。具有高时空分辨率的佛山南海X波段双极化相控阵雷达探测到了龙卷母体微型超级单体的发展过程和龙卷涡旋的演变特征:对流单体在前侧低层入流的加强下逐渐形成钩状回波和反射率弱回波空洞;中气旋首先在2.5 km附近高度形成后向低层伸展,随着后侧下沉气流的加强,低层涡旋旋转增强,当低层中气旋旋转速度超过22 m·s^(-1)(强中气旋)且直径紧缩至1.5 km以内时,龙卷即将触地,龙卷涡旋特征(TVS)和龙卷碎片特征(TDS)出现是龙卷触地的主要特征,龙卷发生在反射率弱回波空洞、TVS和TDS附近。 展开更多
关键词 X波段双极化相控阵雷达 超级单体龙卷 龙卷涡旋特征 龙卷碎片特征 反射率弱回波空洞
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激光辅助制备有序孔钽箔及其电容性能研究
5
作者 王文波 康俊 +3 位作者 李年 蒲靖文 孔明光 王振洋 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第20期198-207,共10页
目的改善商业钽箔作为钽阳极材料时比容量有限的问题。方法提出了一种利用激光刻蚀技术和电化学腐蚀相结合的工艺在商业钽箔上构筑有序孔用于提升其储电能力的方法,对处理前后钽箔的表面形貌、结构特征以及电容性能发生的变化进行表征... 目的改善商业钽箔作为钽阳极材料时比容量有限的问题。方法提出了一种利用激光刻蚀技术和电化学腐蚀相结合的工艺在商业钽箔上构筑有序孔用于提升其储电能力的方法,对处理前后钽箔的表面形貌、结构特征以及电容性能发生的变化进行表征。结果利用15 V的电压阳极氧化处理预先在钽箔表面生长一层Ta_(2)O_(5),其具有的厚度更好地适应了1064nm激光的重复扫描。Ta_(2)O_(5)层在激光的作用下被有效去除,电子显微镜的表征结果显示,钽箔表面形成有序分布的阵列型微结构,为钽箔在电化学腐蚀过程中的孔生长提供了范围,这种独特的结构也为钽箔的电化学反应提供了更丰富的活性位点。比电容量的测试结果显示,有序孔钽箔在1mol/L的H2SO4电解质溶液中具有247.4n F/mm^(2)的优异面积比容量,与未处理的商业钽箔21.7nF/mm^(2)的面积比容量相比提升了近11.4倍。结论通过对商业钽箔进行特殊的孔结构设计,可以显著提升其作为电极时的比容量,利用激光刻蚀和电化学腐蚀的双重作用来控制钽箔上孔隙生长的有序性,有望为下一代钽电解电容器阳极材料的研究提供设计思路。 展开更多
关键词 激光刻蚀技术 电化学腐蚀 有序孔阵列钽箔 钽电容器 电容性能
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复合型金属孔周期阵列的THz透射特性 被引量：2
6
作者 熊伟 姚军 +3 位作者 李伟 张铁军 沈京玲 李宾宾 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2013年第1期32-35,共4页
利用微细加工技术,制作出金属矩形孔阵列,从实验和理论上研究了金属矩形孔阵在THz波段的透射极大值和极小值产生的规律.并利用透射极大值频率随矩形孔长度增大而向低频移动的特性,在同一层金属上,利用不同尺寸的金属孔结构形成复合金属... 利用微细加工技术,制作出金属矩形孔阵列,从实验和理论上研究了金属矩形孔阵在THz波段的透射极大值和极小值产生的规律.并利用透射极大值频率随矩形孔长度增大而向低频移动的特性,在同一层金属上,利用不同尺寸的金属孔结构形成复合金属孔阵列,设计出中心频率可调节、频率拓宽的频率选择器件和频率拓宽器件.此研究为太赫兹滤波器等无源器件提供了新的设计思路和加工方法,对太赫兹波技术的发展具有重要意义. 展开更多
关键词 金属阵列 THZ 滤波 复合周期结构
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孔阵波前传感器 被引量：5
7
作者 蒋志平 陆启生 +2 位作者 刘泽金 赵伊君 胡士珩 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 1993年第3期469-471,共3页
介绍了用小孔阵列代替透镜阵列的孔阵波前传感器的原理,并用这种传感器直接测量了3.8μm DF高功率激光束的相位面。
关键词 波前传感器 激光技术 相位检测
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基于阵列图像采集的反应堆压力容器主螺栓孔检查方法研究 被引量：7
8
作者 任荷 谭宏伟 +1 位作者 安彦波 瓮松峰 《核科学与工程》 CAS CSCD 北大核心 2018年第3期494-498,共5页
本文针对反应堆压力容器主螺栓孔,提出了基于阵列图像采集的检查方法,该方法使用阵列摄像机进行同步图像采集,利用高密度LED的条形光源辅助照明,采用字符叠加器将实时螺孔位置信息与视频信号叠加,并传输至硬盘录像机进行同步录像,合成... 本文针对反应堆压力容器主螺栓孔,提出了基于阵列图像采集的检查方法,该方法使用阵列摄像机进行同步图像采集,利用高密度LED的条形光源辅助照明,采用字符叠加器将实时螺孔位置信息与视频信号叠加,并传输至硬盘录像机进行同步录像,合成的视频图像可实时播放,也可录制、回放、下载、导出供后续分析。结果表明,基于阵列图像采集的螺孔检查方法,显著提高了螺孔螺纹检查的效率,视频图像清晰、缺陷识别度高且定位准确。 展开更多
关键词 反应堆压力容器 主螺栓孔 阵列图像采集 图像处理
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采用过电铸工艺制造金属微细阵列网板 被引量：7
9
作者 胡洋洋 朱荻 李寒松 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第8期1793-1800,共8页
针对制作尺度<10μm的超小微细阵列网板非常困难的问题,提出了采用过电铸工艺制造超小尺寸微细阵列网板的方法。建立了过电铸工艺过程的电场模型,利用有限元分析技术对过电铸工艺过程进行模拟仿真。选取优化的工艺参数(烘胶120℃/60m... 针对制作尺度<10μm的超小微细阵列网板非常困难的问题,提出了采用过电铸工艺制造超小尺寸微细阵列网板的方法。建立了过电铸工艺过程的电场模型,利用有限元分析技术对过电铸工艺过程进行模拟仿真。选取优化的工艺参数(烘胶120℃/60min,曝光3000mJ/cm2,显影2min等)利用光刻制作了高度为50μm、直径为50μm的AZEXP125nXT-10A光刻胶群柱结构,以此胶膜结构作为模具进行了过电铸工艺实验,并与仿真结果进行对比,结果证明了有限元仿真的正确性。最后,通过过电铸缩孔2h获得了厚度达70μm,孔径为4μm的微细阵列网板结构。实验表明,过电铸工艺是一种低廉、安全、可批量生产的制作超小阵列网板的方法。 展开更多
关键词 光刻 AZ胶 金属微细阵列网板 过电铸
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地下厂房围岩渗控效应精细模拟与评价 被引量：6
10
作者 郑华康 陈益峰 +2 位作者 洪佳敏 周嵩 周创兵 《天津大学学报（自然科学与工程技术版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第9期823-828,共6页
我国西南地区河谷深切,坝址区地貌及地质条件复杂,地下厂房的位置往往离库区较近,水库蓄水后,地下厂房围岩渗流特性将成为影响工程安全和正常运行的重要因素之一.为减小厂区渗漏并改善厂房围岩的渗透稳定性,工程设计采取防渗帷幕、排水... 我国西南地区河谷深切,坝址区地貌及地质条件复杂,地下厂房的位置往往离库区较近,水库蓄水后,地下厂房围岩渗流特性将成为影响工程安全和正常运行的重要因素之一.为减小厂区渗漏并改善厂房围岩的渗透稳定性,工程设计采取防渗帷幕、排水孔幕和排水廊道等渗流控制措施.采用子结构、变分不等式和自适应罚函数相结合的方法(简称SVA方法),开展了牙根二级水电站厂区整体三维渗流场分析,评价了厂区围岩渗流控制方案的合理性,并论证其优化的可能性.研究结果表明:厂区防渗排水系统的渗流控制效果显著,防渗排水系统设计方案总体上是合理、有效的;厂区上部排水系统对于以库水渗漏为主的渗流控制不起作用,高高程排水孔幕的间距可适当放宽;厂区副排水孔幕对减少厂区各洞室渗漏量、降低厂区围岩孔隙水压力并改善围岩的稳定性具有显著作用. 展开更多
关键词 地下厂房 渗流控制 排水孔幕 SVA方法 精细模拟 牙根二级水电站
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果蔬差压通风预冷冷却均匀性研究 被引量：13
11
作者 王强 王伟锋 杨静 《制冷学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第5期75-78,共4页
对于差压通风预冷除了冷却速度,包装箱内果蔬冷却的均匀性直接影响到其保鲜品质。提出基于方差分析的评价冷却均匀性的指标——均匀度。建立了果蔬差压通风预冷试验台,对黄金梨在不同送风速度、包装箱开孔形状、开孔面积、及箱内排列方... 对于差压通风预冷除了冷却速度,包装箱内果蔬冷却的均匀性直接影响到其保鲜品质。提出基于方差分析的评价冷却均匀性的指标——均匀度。建立了果蔬差压通风预冷试验台,对黄金梨在不同送风速度、包装箱开孔形状、开孔面积、及箱内排列方式等工况下的差压预冷过程进行了试验测试。分析了相关参数对包装箱内黄金梨冷却均匀性的影响。结果表明,箱内黄金梨直排摆放工况下的流场比较均匀,冷风送风速度在1.5～2m/s时,圆形开孔包装箱且开孔直径45mm左右,黄金梨的冷却均匀性较好,均匀度σ在0.15左右。 展开更多
关键词 食品包装与储藏 采后处理 差压预冷 冷却均匀性 送风速度 开孔形状 开孔大小 排列方式
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基于圆孔阵列调制的“猫眼”目标隐身技术 被引量：4
12
作者 刘秉琦 周斌 +3 位作者 张悦 闫宗群 张瑜 姜玉海 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2012年第3期1-6,共6页
针对激光主动探测技术对光电装备造成的探测威胁,在不改变光电装备光学结构以及有限"牺牲"成像质量的前提下,提出利用圆孔阵列的光强调制作用降低光电装备的"猫眼"效应,实现隐身。基于单孔衍射成像原理及空间平移效... 针对激光主动探测技术对光电装备造成的探测威胁,在不改变光电装备光学结构以及有限"牺牲"成像质量的前提下,提出利用圆孔阵列的光强调制作用降低光电装备的"猫眼"效应,实现隐身。基于单孔衍射成像原理及空间平移效应,从理论上给出并仿真分析了圆孔阵列远场夫琅和费衍射的光强分布特性,利用实验的方法对圆孔阵列用于"猫眼"目标隐身的效果进行了验证。结果表明,利用圆孔阵列可实现对典型"猫眼"目标回波的光强调制并造成回波损耗,"猫眼"目标隐身效果明显。 展开更多
关键词 “猫眼”效应 圆孔阵列 目标隐身 光强调制
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周期排列的H-空气槽光学特性研究 被引量：3
13
作者 孙梅 邢素霞 +1 位作者 陈媛媛 徐德刚 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第9期1602-1605,共4页
利用电子束直写系统和反应离子束刻蚀的方法制作了周期性排列H-形空气槽.样品的参量:金膜的厚度为120nm,石英基底的厚度0.8mm(其中有5nm厚的铬层),样品是由30×30个单个H-形周期排列形成的,总体尺寸为40×40μm2.每个H-形之间... 利用电子束直写系统和反应离子束刻蚀的方法制作了周期性排列H-形空气槽.样品的参量:金膜的厚度为120nm,石英基底的厚度0.8mm(其中有5nm厚的铬层),样品是由30×30个单个H-形周期排列形成的,总体尺寸为40×40μm2.每个H-形之间的周期为1.1μm,H-形的臂长均为500nm,空气槽的宽度为120nm.然后用实验的方法测量了在近红外波段的透过曲线,在近红外波段1.6μm处的透过率约为16.3%,用传输矩阵的方法对H-形空气槽结构进行了理论模拟,实验与理论模拟结果吻合较好.随后研究了当入射光的偏振方向与H-形结构的长轴之间的夹角分别为0°、30°、45°、60°和90°时透过曲线的变化情况.通过实验和理论表明,表面等离子体在这种特殊的结构中仍然存在,并且在光的增强透过起着决定性的作用. 展开更多
关键词 亚波长 聚电子束直写系统 H-形空气槽
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孔的形状和排列方式对厚孔板微结构压膜空气阻尼的影响分析 被引量：6
14
作者 董林玺 刘国华 钱忺 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第6期1262-1266,共5页
本文对微结构上孔的形状和排列方式对压膜空气阻尼的影响进行了理论和模拟分析.理论研究表明对于不同厚度、不同排列方式下的孔单元阵列,若孔的总面积和孔单元面积均为常数,当孔数增加到某一值时有最小阻尼力,并用FEM工具ANSYS证明了该... 本文对微结构上孔的形状和排列方式对压膜空气阻尼的影响进行了理论和模拟分析.理论研究表明对于不同厚度、不同排列方式下的孔单元阵列,若孔的总面积和孔单元面积均为常数,当孔数增加到某一值时有最小阻尼力,并用FEM工具ANSYS证明了该结论的正确性.结果还表明孔数对恒定尺寸微结构空气阻尼的影响随着结构厚度和孔数的增加而变得更加明显.分析结果对比表明在同样的尺寸条件下,孔方形排列微结构的空气阻尼小于孔蜂窝式排列微结构的空气阻尼,该现象随着孔单元面积的增加变得越明显,但是随着孔单元接近微结构的边界,阻尼之间的差距减小.研究结果可以用在高精度MEMS器件如MEMS地震检波器、MEMS光开关和MEMS红外光传感器等的优化设计中去. 展开更多
关键词 MEMS加速度计 压膜空气阻尼 孔板 孔排列 优化设计
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微细阵列孔的铸造法制备及表征 被引量：1
15
作者 曲迎东 孙凤双 +4 位作者 秦刚 金美玲 尤俊华 陈瑞润 李荣德 《沈阳工业大学学报》 EI CAS 北大核心 2015年第6期639-643,共5页
为了获得大深径比的微细阵列孔,以铝作为基体金属并采用铸造法制备了微细阵列孔.根据预期阵列孔的结构,编排并固定预制体的孔芯.将预制体放置在自制金属型中进行浇注,使熔融金属铝液围绕于预制体的孔芯,待铝液凝固后抽出孔芯得到微细阵... 为了获得大深径比的微细阵列孔,以铝作为基体金属并采用铸造法制备了微细阵列孔.根据预期阵列孔的结构,编排并固定预制体的孔芯.将预制体放置在自制金属型中进行浇注,使熔融金属铝液围绕于预制体的孔芯,待铝液凝固后抽出孔芯得到微细阵列孔.利用激光共聚焦显微镜测量微细阵列孔的孔壁粗糙度,并计算微细阵列孔的形状因子.结果表明,由铸造法制备的微细阵列孔的分布十分规律密集,孔径大小基本一致.微细阵列孔的形状非常趋近于圆形,孔壁十分光滑,且深径比很大. 展开更多
关键词 微细孔 阵列孔 孔芯 预制体 铸造法 大深径比 形状因子 粗糙度
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基于改进黑洞算法的阵列天线方向图综合 被引量：3
16
作者 董健 钱婷婷 施荣华 《电波科学学报》 EI CSCD 北大核心 2016年第2期236-242,261,共8页
提出一种基于改进黑洞算法的阵列天线方向图综合方法,在可控吸收率的基础上实施后向学习机制,增加种群多样性以避免早熟收敛.针对基本黑洞算法在局部搜索方面的不足引入爬山搜索算子,增加个体搜索深度以提高寻优效率.将所提算法应用于... 提出一种基于改进黑洞算法的阵列天线方向图综合方法,在可控吸收率的基础上实施后向学习机制,增加种群多样性以避免早熟收敛.针对基本黑洞算法在局部搜索方面的不足引入爬山搜索算子,增加个体搜索深度以提高寻优效率.将所提算法应用于稀疏天线阵和等距非均匀天线阵的方向图综合,仿真结果验证了所提算法解决该类问题的有效性. 展开更多
关键词 阵列天线 黑洞算法 方向图综合
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基于灰色关联分析的微小孔振动钻削参数优化 被引量：6
17
作者 鄢春艳 赖兴余 +1 位作者 詹春毅 李伟光 《机械设计与制造》 北大核心 2015年第12期19-22,共4页
针对微小孔振动钻削加工工艺参数难以选择的问题,提出了一种基于灰色关联分析的微小孔振动钻削参数优化方法。应用正交试验法设计实验方案,进行了不同参数组合条件下的振动钻削实验,通过分析振动钻削参数与定位误差、孔径误差以及出口... 针对微小孔振动钻削加工工艺参数难以选择的问题,提出了一种基于灰色关联分析的微小孔振动钻削参数优化方法。应用正交试验法设计实验方案,进行了不同参数组合条件下的振动钻削实验,通过分析振动钻削参数与定位误差、孔径误差以及出口毛刺高度的灰色关联系数和灰色关联度,进行了多目标参数优化,并得出了优化的微小孔振动钻削参数组合方案。实验结果表明,采用优化的振动钻削参数钻削微小孔,可有效地减小定位误差、孔径误差和出口毛刺高度。 展开更多
关键词 微小孔 振动钻削 正交试验 灰色关联分析 灰色关联度 优化
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群孔的微细电火花加工技术研究 被引量：8
18
作者 董德生 曾伟梁 +1 位作者 杭观荣 王振龙 《电加工与模具》 2006年第2期47-49,共3页
对微细电火花群孔加工工艺进行了分析和研究。用微细电火花加工机床加工出单电极,并用该电极加工出2×2直径约100μm的阵列孔,在此过程中采用加大加工长度和适度欠补偿的方法,获得了质量较好的阵列孔。用此阵列孔作为工具加工出了2&... 对微细电火花群孔加工工艺进行了分析和研究。用微细电火花加工机床加工出单电极,并用该电极加工出2×2直径约100μm的阵列孔,在此过程中采用加大加工长度和适度欠补偿的方法,获得了质量较好的阵列孔。用此阵列孔作为工具加工出了2×2直径约100μm的群电极,然后用此群电极一次加工出2×2直径约100μm的群孔,从而实现了微细电火花阵列孔的加工。 展开更多
关键词 微细电火花加工 群电极 群孔
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场发射栅孔阵列的制备 被引量：2
19
作者 祁康成 董建康 +2 位作者 林祖伦 曹贵川 成建波 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第1期140-142,共3页
采用硅的局部氧化技术以及湿法刻蚀技术,利用2.6μm的光刻掩模板在n型硅片上形成了栅极孔径为1μm的场发射阴极的栅极空腔阵列,实现了用大阵点尺寸的栅极掩模板制备较小尺寸栅孔阵列。硅的湿法刻蚀溶液采用各向同性的硝酸和氢氟酸混合溶... 采用硅的局部氧化技术以及湿法刻蚀技术,利用2.6μm的光刻掩模板在n型硅片上形成了栅极孔径为1μm的场发射阴极的栅极空腔阵列,实现了用大阵点尺寸的栅极掩模板制备较小尺寸栅孔阵列。硅的湿法刻蚀溶液采用各向同性的硝酸和氢氟酸混合溶液,刻蚀后空腔的深度和宽度均随刻蚀时间线性增加。同时,由于刻蚀溶液具有较高的Si/SiO2刻蚀选择比,栅极孔径随刻蚀时间增大的速度远低于深度和宽度增大的速度,栅极孔径主要取决于掩模的尺寸和氧化层的厚度。通过选择掩模板的尺寸以及氧化层的厚度,采用局部氧化技术和湿法刻蚀技术能够制备出微米或亚微米的场发射阴极的栅极空腔阵列。 展开更多
关键词 场发射阵列 栅极孔 局部氧化 湿法刻蚀
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蜂窝椭圆反射镜的孔结构设计研究 被引量：1
20
作者 于坤 张长瑞 +1 位作者 曹英斌 刘荣军 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第5期876-880,共5页
应用有限方法进行了蜂窝椭圆反射镜的轻量化孔结构设计研究.研究了离散单元尺寸对离散误差的影响,分析了六方形孔形状下孔排布形式和孔尺寸对蜂窝椭圆反射镜的各项性能的影响.结果表明6mm的离散单元尺寸对应着较小的离散误差;孔尺寸对... 应用有限方法进行了蜂窝椭圆反射镜的轻量化孔结构设计研究.研究了离散单元尺寸对离散误差的影响,分析了六方形孔形状下孔排布形式和孔尺寸对蜂窝椭圆反射镜的各项性能的影响.结果表明6mm的离散单元尺寸对应着较小的离散误差;孔尺寸对质量、转动惯量和加工变形的影响较大,孔排布形式和孔尺寸对热变形的影响高于对自重变形的影响;80mm孔尺寸的第四种形式是最优的孔结构形式. 展开更多
关键词 孔排布形式 孔尺寸 有限元方法 设计
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