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串联电容式RF MEMS开关设计与制造研究被引量：3: 1; 作者侯智昊刘泽文 +2 位作者胡光伟刘理天李志坚《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第4期660-663,共4页; 介绍了一种串联电容式RF MEMS开关的设计与制造。所设计的串联电容式RF MEMS开关利用薄膜淀积中产生的内应力使MEMS桥膜向上发生翘曲,从而提高所设计的开关的隔离度,克服了串联电容式RF MEMS开关通常只有在1GHz以下才能获得较高隔离度... 展开更多; 关键词射频微电子机械系统串联电容式rf mems开关串联电容式内应力; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于RF MEMS开关的移相器设计被引量：1: 2; 作者陈华君郭东辉《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第S2期32-35,共4页; 传统电子移相器由于损耗问题难以向更高频率发展,射频微机电系统(RF MEMS)技术的出现使其得以替代半导体开关来设计更高频率的移相器.利用具有优异RF性能的串联电阻式RFMEMS开关来进行开关线式移相器设计,通过开关切换不同的信号延迟通... 展开更多; 关键词移相器开关线式移相器相控阵天线射频微机电系统; 在线阅读下载PDF 职称材料

一种X波段三叉H型低电压RF MEMS开关设计: 3; 作者南敬昌高飞 +3 位作者李德润翟雷应李朝启刘世泽《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2023年第9期812-818,共7页; 针对射频电路系统所需要的低电压,高隔离度,低插入损耗的应用需求,通过对开关正对面积对驱动电压产生的影响进行探究,设计了一款应用于X波段三叉H型的RF MEMS开关。开关具有六条悬臂梁作为支撑,通过增大上极板面积来降低开关的开启电压... 展开更多; 关键词射频微机械开关 ANSOFT HFSS COMSOL; 在线阅读下载PDF 职称材料

RF MEMS开关的静电斥力驱动研究被引量：5: 4; 作者李梁赵清华于洋《传感器与微系统》 CSCD 2018年第7期15-17,21,共4页; 针对射频微机电系统(RF MEMS)开关工作时因介质充电而发生"粘连"失效的问题,提出了利用静电斥力驱动替代传统的静电引力驱动方式,使RF MEMS开关在工作时介质层不存在电势差,从根源上消除介质充电。通过COMSOL仿真软件,分析了... 展开更多; 关键词射频微机电系统静电斥力介质充电; 在线阅读下载PDF 职称材料

“星”型射频MEMS四刀四掷开关的设计被引量：5: 5; 作者张世义王姗姗 +3 位作者吴倩楠余建刚王宇李孟委《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2021年第7期74-77,共4页; 为了解决传统开关可控通道较少、尺寸较大、插入损耗较高等问题,以射频微机电系统(MEMS)单刀单掷开关为基础,设计了“星”型的射频MEMS四刀四掷开关,可控制多通道信号导通与断开。采用HFSS仿真软件,对设计的器件的插入损耗、隔离度及驻... 展开更多; 关键词射频微机电系统四刀四掷开关低插损可调多通道; 在线阅读下载PDF 职称材料

一种基于体硅工艺的微机械可调节椭圆低通滤波器被引量：2: 6; 作者缪旻卜景鹏赵立葳《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第3期486-489,共4页; 提出了一种椭圆低通可调滤波器的调谐方法,即通过调节第一传输零点(FTZ)来改变3dB截止频率Tc。解析计算表明,小范围内改变FTZ既可调节Tc和滚降速率,又能保证通带和阻带的特性基本不变。作者提出FTZ的移动可由串联谐振支路处容性MEMS开... 展开更多; 关键词射频微机电系统可调谐滤波器椭圆低通滤波器第一传输零点频率移动体硅微机械加工工艺; 在线阅读下载PDF 职称材料

一种集成环行器的X波段三维异构集成T/R模组被引量：2: 7; 作者彭桢哲李晓林 +2 位作者董春晖赵宇吴洪江《半导体技术》 CAS 北大核心 2023年第1期37-42,共6页; 微电子机械系统(MEMS)环行器被广泛应用于射频(RF)T/R微系统中,解决共用天线且收发隔离的问题。基于硅基三维(3D)异构集成工艺,设计了一种集成MEMS环行器的X波段T/R模组。该模组以高阻硅为介质基板,在硅基板上、下表面电镀金属图形,并... 展开更多; 关键词微电子机械系统(mems)环行器射频(rf)微系统硅基三维(3D)异构集成硅基T/R模组系统级封装(SiP); 在线阅读下载PDF 职称材料

题名串联电容式RF MEMS开关设计与制造研究被引量：3: 1; 作者侯智昊刘泽文胡光伟刘理天李志坚; 机构清华大学微电子学研究所; 出处《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第4期660-663,共4页; 基金国家自然科学基金资助(60576048) 北京市科委项目基金资助(GYYKW05070014); 文摘介绍了一种串联电容式RF MEMS开关的设计与制造。所设计的串联电容式RF MEMS开关利用薄膜淀积中产生的内应力使MEMS桥膜向上发生翘曲,从而提高所设计的开关的隔离度,克服了串联电容式RF MEMS开关通常只有在1GHz以下才能获得较高隔离度的缺点。其工艺与并联电容式RF MEMS开关完全相同,解决了并联电容式RF MEMS开关不能应用于低频段（〈10GHz）的问题。其插入损耗为-0.88dB@3GHz,在6GHz以上,插入损耗为-0.5dB;隔离度为-33.5dB@900MHz、-24dB@3GH和-20dB@5GHz,适合于3-5GHz频段的应用。; 关键词射频微电子机械系统串联电容式rf mems开关串联电容式内应力; Keywords radio frequency mems capacitive series rf mems switch capacitive series residue stress; 分类号 TN385 [电子电信—物理电子学] TN62 [电子电信—电路与系统]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于RF MEMS开关的移相器设计被引量：1: 2; 作者陈华君郭东辉; 机构厦门大学物理系; 出处《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第S2期32-35,共4页; 基金福建省自然科学基金计划资助项目(A0410007) 国家人事部留学人员创业基金项目联合资助; 文摘传统电子移相器由于损耗问题难以向更高频率发展,射频微机电系统(RF MEMS)技术的出现使其得以替代半导体开关来设计更高频率的移相器.利用具有优异RF性能的串联电阻式RFMEMS开关来进行开关线式移相器设计,通过开关切换不同的信号延迟通路,以实现从0°-180°步进22.5°的相移功能.仿真结果表明,该移相器在5.8 GHz时,插入损耗在-0.3--0.7 dB变化,输入回损低于-20 dB,相移功能正确.; 关键词移相器开关线式移相器相控阵天线射频微机电系统; Keywords phase shifter switch-line phase shifter phase array antenna radio frequency micro electro mechanical system(rf mems); 分类号 TN623 [电子电信—电路与系统]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名一种X波段三叉H型低电压RF MEMS开关设计: 3; 作者南敬昌高飞李德润翟雷应李朝启刘世泽; 机构辽宁工程技术大学电子与信息工程学院; 出处《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2023年第9期812-818,共7页; 基金国家自然科学基金项目(61971210)。; 文摘针对射频电路系统所需要的低电压,高隔离度,低插入损耗的应用需求,通过对开关正对面积对驱动电压产生的影响进行探究,设计了一款应用于X波段三叉H型的RF MEMS开关。开关具有六条悬臂梁作为支撑,通过增大上极板面积来降低开关的开启电压。分别使用HFSS和COMSOL对开关的射频性能和机械性能进行仿真,开关最终优化后,在8-12 GHz内,插入损耗为0.26~0.57 dB,隔离度大于31.30 dB。在10.1 GHz达到最优值,插入损耗为0.40 dB,隔离度为50.25 dB。开关电压在11V时就能够实现状态转换,开关的响应时间为18μs。此开关可与射频可重构器件结合,应用于新一代射频微波领域。; 关键词射频微机械开关 ANSOFT HFSS COMSOL; Keywords radio-frequency micro-electro-mechanical system(rf mems)switch Ansoft HFSS COMSOL; 分类号 TN703 [电子电信—电路与系统] TN631 [电子电信—电路与系统]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名RF MEMS开关的静电斥力驱动研究被引量：5: 4; 作者李梁赵清华于洋; 机构太原师范学院管理系太原理工大学信息工程学院; 出处《传感器与微系统》 CSCD 2018年第7期15-17,21,共4页; 基金国家自然科学青年基金资助项目(51505324) 山西省国际科技合作计划项目(2013-036); 文摘针对射频微机电系统(RF MEMS)开关工作时因介质充电而发生"粘连"失效的问题,提出了利用静电斥力驱动替代传统的静电引力驱动方式,使RF MEMS开关在工作时介质层不存在电势差,从根源上消除介质充电。通过COMSOL仿真软件,分析了静电斥力的产生机理,重点探究了静电斥力驱动结构中尺寸参数对可动极板位移的影响,并通过结构优化有效降低了驱动电压,为开关后续设计提供了参考。; 关键词射频微机电系统静电斥力介质充电; Keywords radio frequency micro-electro-mechanical system （rf mems ） electrostatic repulsion dielectric charging; 分类号 TP391 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名“星”型射频MEMS四刀四掷开关的设计被引量：5: 5; 作者张世义王姗姗吴倩楠余建刚王宇李孟委; 机构中北大学南通智能光机电研究院中北大学仪器与电子学院中北大学前沿交叉科学研究院; 出处《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2021年第7期74-77,共4页; 基金军工双百工艺攻关(JCKY2018408B006) 装备发展部新品项目(2018NW0026)。; 文摘为了解决传统开关可控通道较少、尺寸较大、插入损耗较高等问题,以射频微机电系统(MEMS)单刀单掷开关为基础,设计了“星”型的射频MEMS四刀四掷开关,可控制多通道信号导通与断开。采用HFSS仿真软件,对设计的器件的插入损耗、隔离度及驻波比等关键参数进行优化。结果表明:当工作频段为DC~26.5 GHz时,射频MEMS四刀四掷开关插损优于1.19 dB@26.5 GHz,隔离度优于31.75 dB@26.5 GHz,驻波比小于1.7,整体尺寸为1.2 mm×2.174 mm×0.51 mm。本文设计的四刀四掷开关具有低插损、小体积、多通道可调等的优点,可与功分器、移相器、延时器、天线等单片集成,用于通信、雷达、导航及微波测试仪器等系统中,实现多通道信号分配、移相、延时及可重构的功能。; 关键词射频微机电系统四刀四掷开关低插损可调多通道; Keywords radio frequency(rf)mems four-pole four-throw(4P4T) low insertion loss adjustable multi-channel; 分类号 TN [电子电信]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名一种基于体硅工艺的微机械可调节椭圆低通滤波器被引量：2: 6; 作者缪旻卜景鹏赵立葳; 机构北京信息工程学院信息微系统研究所北京大学微米/纳米加工技术国家级重点实验室中国科学院电子学研究所; 出处《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第3期486-489,共4页; 基金国家自然科学基金资助(60501007) 北京市科技新星计划资助(2006A44) +1 种基金北京市委组织部北京市优秀人才培养资助个人项目资助(20061D0500700168); 文摘提出了一种椭圆低通可调滤波器的调谐方法,即通过调节第一传输零点(FTZ)来改变3dB截止频率Tc。解析计算表明,小范围内改变FTZ既可调节Tc和滚降速率,又能保证通带和阻带的特性基本不变。作者提出FTZ的移动可由串联谐振支路处容性MEMS开关的分布加载来实现,并基于微扰法求出器件中心谐振频率及特性的变化规律。本文相应设计了Tc为16GHz的7阶步进式滤波器。高频有限元全波仿真表明,每加载一个MEMS开关,Tc改变约1.5GHz,损耗特性则几乎不变。这证明了理论分析方法有较高的准确性,而且器件设计具有数字化调节能力和较出色的微波性能。这种方法也可用于高通和带通滤波器。论文还介绍了器件的体硅微加工流程及MEMS开关的初步加工结果。; 关键词射频微机电系统可调谐滤波器椭圆低通滤波器第一传输零点频率移动体硅微机械加工工艺; Keywords radio frequency micro electromechanical system （ rf mems） tunable filter elliptic filter first transmission zero frequency shift bulk micromachining; 分类号 TN015 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名一种集成环行器的X波段三维异构集成T/R模组被引量：2: 7; 作者彭桢哲李晓林董春晖赵宇吴洪江; 机构中国电子科技集团公司第十三研究所; 出处《半导体技术》 CAS 北大核心 2023年第1期37-42,共6页; 文摘微电子机械系统(MEMS)环行器被广泛应用于射频(RF)T/R微系统中,解决共用天线且收发隔离的问题。基于硅基三维(3D)异构集成工艺,设计了一种集成MEMS环行器的X波段T/R模组。该模组以高阻硅为介质基板,在硅基板上、下表面电镀金属图形,并堆叠多层硅基晶圆,在硅基模组上封装了集成无源器件(IPD)环行器,完成了多种微波芯片和MEMS环行器的系统级封装(SiP),将环行器紧凑集成在硅基T/R模组中。模组尺寸为12.0 mm×11.3 mm×2.0 mm。测试结果表明,在8~12 GHz频带内,模组接收通道增益为27 dB,接收通道噪声系数小于3.2 dB;发射通道增益为33 dB,饱和输出功率大于2 W。; 关键词微电子机械系统(mems)环行器射频(rf)微系统硅基三维(3D)异构集成硅基T/R模组系统级封装(SiP); Keywords micro-electromechanical system(mems)circulator radio frequency(rf)microsystem silicon-based three-dimensional(3D)heterogeneous integration silicon-based T/R module system in package(SiP); 分类号 TN454 [电子电信—微电子学与固体电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	串联电容式RF MEMS开关设计与制造研究	侯智昊刘泽文胡光伟刘理天李志坚	《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心	2008	3	在线阅读下载PDF 职称材料
2	基于RF MEMS开关的移相器设计	陈华君郭东辉	《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2007	1	在线阅读下载PDF 职称材料
3	一种X波段三叉H型低电压RF MEMS开关设计	南敬昌高飞李德润翟雷应李朝启刘世泽	《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心	2023	0	在线阅读下载PDF 职称材料
4	RF MEMS开关的静电斥力驱动研究	李梁赵清华于洋	《传感器与微系统》 CSCD	2018	5	在线阅读下载PDF 职称材料
5	“星”型射频MEMS四刀四掷开关的设计	张世义王姗姗吴倩楠余建刚王宇李孟委	《传感器与微系统》 CSCD 北大核心	2021	5	在线阅读下载PDF 职称材料
6	一种基于体硅工艺的微机械可调节椭圆低通滤波器	缪旻卜景鹏赵立葳	《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心	2008	2	在线阅读下载PDF 职称材料
7	一种集成环行器的X波段三维异构集成T/R模组	彭桢哲李晓林董春晖赵宇吴洪江	《半导体技术》 CAS 北大核心	2023	2	在线阅读下载PDF 职称材料