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基于lift-off工艺的RF MEMS开关触点平坦化方法
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作者 杨彪 诸葛明华 +1 位作者 吴国才 容炎森 《微纳电子技术》 2025年第2期116-121,共6页
采用表面微加工工艺制备射频微机电系统(RF MEMS)开关,开关触点的平坦化是一项关键工艺,直接影响RF MEMS开关的机械和电学性能。设计静电驱动接触式的RF MEMS开关结构,然后通过在触点上进行套刻制备光刻胶岛、蒸镀制备铝牺牲层,利用lift... 采用表面微加工工艺制备射频微机电系统(RF MEMS)开关,开关触点的平坦化是一项关键工艺,直接影响RF MEMS开关的机械和电学性能。设计静电驱动接触式的RF MEMS开关结构,然后通过在触点上进行套刻制备光刻胶岛、蒸镀制备铝牺牲层,利用lift-off工艺解决触点与牺牲层平坦化的问题。再采用电镀工艺制备金悬臂梁,使用氢氧化钠溶液腐蚀铝释放获得RF MEMS开关。通过原子力显微镜(AFM)、聚焦离子束显微镜(FIB)等仪器对样品进行形貌测量,数据显示开关触点与铝牺牲层的高度差约为27.36 nm,悬臂梁与下方平面的左右空隙差约为22 nm,结果表明通过该方法能够实现开关触点与牺牲层的高度平坦化。 展开更多
关键词 射频微机电系统(rf mems)开关 开关触点 牺牲层 平坦化 lift-off工艺
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静电式RF MEMS开关的可靠性 被引量:6
2
作者 张永华 曹如平 赖宗声 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2010年第11期701-707,共7页
MEMS开关是最常见的RF MEMS控制元件,是RF结构中一个关键的MEMS器件。长期可靠性是目前制约MEMS开关商业化进程中的一个主要问题。主要综述了静电式RF MEMS开关可靠性的新进展。欧姆式开关通常由于黏附或接触电阻的增大而失效,电容式开... MEMS开关是最常见的RF MEMS控制元件,是RF结构中一个关键的MEMS器件。长期可靠性是目前制约MEMS开关商业化进程中的一个主要问题。主要综述了静电式RF MEMS开关可靠性的新进展。欧姆式开关通常由于黏附或接触电阻的增大而失效,电容式开关的主要失效机理则与电介质层的充电有关。接触材料的选择是决定欧姆开关可靠性最重要的一个因素,"主动断开/被动接触"MEMS开关适用于软金属材料欧姆接触的可靠性要求。改善电容式开关可靠性的途径是改善介电层、优化驱动电压波形等以减小介质层的充电。 展开更多
关键词 射频微电子机械系统(rf mems) 开关 可靠性 欧姆接触 介质充电
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基于RF MEMS开关的移相器设计 被引量:1
3
作者 陈华君 郭东辉 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第S2期32-35,共4页
传统电子移相器由于损耗问题难以向更高频率发展,射频微机电系统(RF MEMS)技术的出现使其得以替代半导体开关来设计更高频率的移相器.利用具有优异RF性能的串联电阻式RFMEMS开关来进行开关线式移相器设计,通过开关切换不同的信号延迟通... 传统电子移相器由于损耗问题难以向更高频率发展,射频微机电系统(RF MEMS)技术的出现使其得以替代半导体开关来设计更高频率的移相器.利用具有优异RF性能的串联电阻式RFMEMS开关来进行开关线式移相器设计,通过开关切换不同的信号延迟通路,以实现从0°-180°步进22.5°的相移功能.仿真结果表明,该移相器在5.8 GHz时,插入损耗在-0.3--0.7 dB变化,输入回损低于-20 dB,相移功能正确. 展开更多
关键词 移相器 开关线式移相器 相控阵天线 射频微机电系统
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基于谐振原理的RF MEMS滤波器的研制 被引量:3
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作者 康中波 韩国威 +3 位作者 司朝伟 钟卫威 赵永梅 宁瑾 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2012年第7期467-470,共4页
采用与IC工艺兼容的硅表面MEMS加工技术,以碳化硅材料作为结构材料,研制出一种新型的基于谐振原理工作的RF MEMS滤波器。详细介绍了器件的工作原理、制备方法、测试技术和结果,并对测试结果做出分析。该RF MEMS滤波器由弹性耦合梁连接... 采用与IC工艺兼容的硅表面MEMS加工技术,以碳化硅材料作为结构材料,研制出一种新型的基于谐振原理工作的RF MEMS滤波器。详细介绍了器件的工作原理、制备方法、测试技术和结果,并对测试结果做出分析。该RF MEMS滤波器由弹性耦合梁连接两个结构尺寸和谐振频率完全相同的MEMS双端固支梁谐振器构成,MEMS谐振器的结构决定了滤波器的中心频率,弹性耦合梁的刚度决定了滤波器的带宽。在大气环境下测试器件的频响特性,得到中心工作频率为41.5MHz,带宽为3.5MHz,品质因数Q为11.8。 展开更多
关键词 射频微机电系统(rfmems) 滤波器 谐振原理 碳化硅 亚微米间隙
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RF MEMS开关的研究进展及其应用 被引量:13
5
作者 黄成远 张斌珍 +2 位作者 段俊萍 王雄师 徐永庆 《微纳电子技术》 北大核心 2018年第9期652-659,共8页
射频微电子机械系统(RF MEMS)开关是射频电子系统中的关键器件,首先简要介绍了RF MEMS开关的结构特点及分类方式,综述了RF MEMS开关的发展现状,列举了国内著名科研机构具有代表性的成果,并对比了其结构特点及性能参数,指出国内RF MEM... 射频微电子机械系统(RF MEMS)开关是射频电子系统中的关键器件,首先简要介绍了RF MEMS开关的结构特点及分类方式,综述了RF MEMS开关的发展现状,列举了国内著名科研机构具有代表性的成果,并对比了其结构特点及性能参数,指出国内RF MEMS开关正向着小体积、宽频化、低驱动电压、高性能指标的方向发展。此外,还阐述了RF MEMS开关在多位移相器、可调滤波器、可重构天线等方面的应用,其在与多器件的集成和联合运用中潜力巨大。最后,分析了现有的RF MEMS开关的发展瓶颈,并展望了其以设计新结构、探寻新材料、探索新工艺、多种驱动方式相结合、多器件相集成为未来发展新方向。研发制作新的RF MEMS开关及其功能系统必将会对射频微波领域造成巨大影响。 展开更多
关键词 射频微电子机械系统(rf mems)开关 移相器 可调滤波器 可重构天线 微波
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一种基于Au-TiW触点的提高RF MEMS开关寿命的方法 被引量:2
6
作者 朱光州 王志斌 +1 位作者 吴倩楠 李孟委 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2022年第8期801-806,812,共7页
针对基于Au-Au触点的射频微电子机械系统(RF MEMS)开关寿命低的问题,提出了一种高寿命RF MEMS开关的研制方法。对比Au与其他金属的硬度、杨氏模量以及方阻,最终选择性能优良的TiW金属作为新触点材料,其制备参数为溅射功率300 W,气压5 mT... 针对基于Au-Au触点的射频微电子机械系统(RF MEMS)开关寿命低的问题,提出了一种高寿命RF MEMS开关的研制方法。对比Au与其他金属的硬度、杨氏模量以及方阻,最终选择性能优良的TiW金属作为新触点材料,其制备参数为溅射功率300 W,气压5 mTorr(1 mTorr=0.133 Pa),溅射时间1 568 s。设计了基于Au-TiW触点的RF MEMS开关工艺流程,给出了详细工艺参数,为进一步提高可靠性,设计了RF MEMS开关封装工艺流程并制作了封装样品。测试比较了基于Au-Au触点的RF MEMS开关与基于Au-TiW触点的RF MEMS开关的寿命与射频性能。结果表明,虽然基于Au-TiW触点的RF MEMS开关的射频性能有所降低,但开关寿命提高了两个数量级。该研究为提高RF MEMS开关的寿命提供了一种解决办法。 展开更多
关键词 微电子机械系统(mems) 射频(rf)开关 开关寿命 触点材料 可靠性
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RFMEMS技术对小型化雷达的作用 被引量:2
7
作者 魏恭 邓成 +1 位作者 鲍景富 黄伟 《现代雷达》 CSCD 北大核心 2012年第12期68-73,共6页
该文采用至上而下的方式,介绍了应用RF MEMS技术的雷达系统,将雷达子系统与RF MEMS技术联系起来,具体分析了应用于雷达的RF MEMS开关、移相器、滤波器和谐振器。同时,文中以开关和移相器为例,讨论了如何提高RFMEMS雷达的性能:修改空气... 该文采用至上而下的方式,介绍了应用RF MEMS技术的雷达系统,将雷达子系统与RF MEMS技术联系起来,具体分析了应用于雷达的RF MEMS开关、移相器、滤波器和谐振器。同时,文中以开关和移相器为例,讨论了如何提高RFMEMS雷达的性能:修改空气桥形状可以提高RF MEMS收发(T/R)组件的功率处理能力,从而减少雷达相控阵的T/R组件数量;缩短转换时间的RF MEMS移相器能够应用于高速电扫描阵列;蜿蜒型5位分布式MEMS传输线移相器面积仅为5.36mm×4.72mm,相比传统移相器长度降低70%,易于实现雷达阵列的小型化。 展开更多
关键词 射频微机电系统 雷达 相控阵 收发组件 开关
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基于改进PSO算法优化RF MEMS功分器设计 被引量:1
8
作者 回海生 刘建霞 梁军 《微纳电子技术》 北大核心 2017年第4期254-260,272,共8页
为了实现对射频微电子机械系统(MEMS)波段威尔金森功分器电路的精确设计和优化,使达到的设计目标满足性能要求,采用先进设计系统(ADS)软件对工作频带为32~36 GHz的RF MEMS功分器进行了建模仿真,并得到初始的电路设计参数。通过使用结合... 为了实现对射频微电子机械系统(MEMS)波段威尔金森功分器电路的精确设计和优化,使达到的设计目标满足性能要求,采用先进设计系统(ADS)软件对工作频带为32~36 GHz的RF MEMS功分器进行了建模仿真,并得到初始的电路设计参数。通过使用结合柯西变异的改进的粒子群优化(PSO)算法对RF MEMS功分器的初始电路设计参数进行优化,采用矩阵实验室(MATLAB)软件和高频结构仿真器(HFSS)软件进行联合仿真实现优化过程,最终得到满足设计目标的RF MEMS功分器的性能曲线,以及对应的功分器优化后的电路设计参数。结果表明,优化后的RF MEMS功分器回波损耗比设计目标优化了2.5 dB,插入损耗优化了0.3 dB,隔离度达到了-20 dB的设计要求。最终通过仿真验证了改进的PSO算法能够快速有效地对RF MEMS功分器的电路参数进行优化达到RF MEMS功分器设计的性能要求。 展开更多
关键词 粒子群优化(PSO)算法 射频微电子机械系统(rf mems) 功分器 先进设计系统(ADS) 高频结构仿真器(HFSS)
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RF MEMS国内外现状及发展趋势 被引量:6
9
作者 焦海龙 赵广宏 +2 位作者 李文博 骆伟 金小锋 《遥测遥控》 2017年第5期1-10,61,共11页
概述基于微电子机械系统MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)技术的各类射频RF(Radio Frequency)无源器件及微小型单片集成系统的概念与内涵及其应用市场,重点介绍RF MEMS电容电感、开关、移相器、谐振器、滤波器、微型同轴结构、天... 概述基于微电子机械系统MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)技术的各类射频RF(Radio Frequency)无源器件及微小型单片集成系统的概念与内涵及其应用市场,重点介绍RF MEMS电容电感、开关、移相器、谐振器、滤波器、微型同轴结构、天线、片上集成微纳系统等的国内外研究现状、典型研究成果和产品、技术方案和微纳制造工艺及性能特点等,最后浅析RF MEMS领域的发展趋势。 展开更多
关键词 rfmems 微电子机械系统 射频 研究现状 发展趋势
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Small MEMS smart antenna for software radio fuze
10
作者 韩琦 徐立新 丛琳 《Journal of Beijing Institute of Technology》 EI CAS 2016年第2期159-163,共5页
The signal transceiver of the software radio fuze depends on the front-end radio frequency( RF) antenna. RF micro-electro-mechanical-system( MEMS) smart antennas have the capability of flexible beam rapid scanning... The signal transceiver of the software radio fuze depends on the front-end radio frequency( RF) antenna. RF micro-electro-mechanical-system( MEMS) smart antennas have the capability of flexible beam rapid scanning,multi-beam forming and so on,which can improve the ability of detecting,sensing and tracking multiple targets of the fuze. The small RF MEMS smart antenna consists of a 2 × 2 aperture coupled antenna array and six 1-bit MEMS phase shifters. Simulated results demonstrate that the antenna can complete beam steering angles of ± 30° in both X and Y plane at 17. 3 GHz. All components can be fabricated and monolithically integrated with MEMS technology which causes the system low cost and small volume. The RF MEMS smart antenna presents a good and important prospect for the development of the software radio fuze antenna. 展开更多
关键词 software radio fuze micro-electro-mechanical-system mems antenna smart anten-na monolithically-integrated
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MEMS陀螺仪芯片级温控系统的设计 被引量:5
11
作者 曹慧亮 杨波 +2 位作者 徐露 李宏生 王寿荣 《东南大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第1期55-59,共5页
为了提高MEMS陀螺仪的温度性能,基于东南大学自主设计的TC10号温控陀螺表头,设计了一种芯片级温控系统.首先,研究了微加热丝和微热敏电阻的材料、结构以及表头的加工工艺,分析了温控系统的工作原理.然后,建立了表头内部的温度模型,利用Z... 为了提高MEMS陀螺仪的温度性能,基于东南大学自主设计的TC10号温控陀螺表头,设计了一种芯片级温控系统.首先,研究了微加热丝和微热敏电阻的材料、结构以及表头的加工工艺,分析了温控系统的工作原理.然后,建立了表头内部的温度模型,利用Ziegler-Nichols经验参数法,确定了PID参数并进行系统仿真,验证了控制系统的快速性和稳定性.最后,结合模型和仿真参数设计了温控电路,并通过温度实验得到了微热敏电阻的温度特性曲线.结果显示:温控系统可将表头内温度控制在设定温度点附近;表头腔内温度和驱动模态谐振频率在-20~60℃范围内的变化量分别由温控前的78.453℃和3.76 Hz下降到温控后的4.949℃和0.48 Hz,由此验证了芯片级温控技术的可行性. 展开更多
关键词 芯片级温控 mems陀螺仪 温度模型 谐振频率
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射频MEMS技术在雷达中的应用现状与优势 被引量:3
12
作者 张蕾 沙舟 林晶 《中国电子科学研究院学报》 2012年第6期565-570,共6页
射频MEMS技术为实现微型化、集成化及智能化,以及探索具有新原理和新功能的器件与系统提供了重要途径。概述了射频MEMS的主要优势和在雷达领域的主要应用方向,在此基础上重点介绍了国外基于射频MEMS技术的T/R组件设计、X波段相控阵天线... 射频MEMS技术为实现微型化、集成化及智能化,以及探索具有新原理和新功能的器件与系统提供了重要途径。概述了射频MEMS的主要优势和在雷达领域的主要应用方向,在此基础上重点介绍了国外基于射频MEMS技术的T/R组件设计、X波段相控阵天线演示验证系统及针对Ka波段低成本无源相控阵的探索情况,并给出了新一代MEMS高集成度电子扫描阵列研究项目的最新进展。 展开更多
关键词 射频微机电系统(rf mems) 电子扫描阵列(ESA)雷达 基于mems的射频前端 mems实时延迟线
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单偏置电压多位分布式MEMS传输线移相器
13
作者 邓成 鲍景富 +3 位作者 杜亦佳 凌源 赵兴海 郑英彬 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2012年第2期102-107,共6页
针对传统多位分布式MEMS传输线(DMTL)移相器需要多个偏置电压控制的问题,提出了一种单电压控制多位DMTL移相器的设计方案。这种移相器的每一位具有不同的弹性系数,因此它们的下拉电压各不相同。给出了这种移相器的相关理论、设计实例及... 针对传统多位分布式MEMS传输线(DMTL)移相器需要多个偏置电压控制的问题,提出了一种单电压控制多位DMTL移相器的设计方案。这种移相器的每一位具有不同的弹性系数,因此它们的下拉电压各不相同。给出了这种移相器的相关理论、设计实例及仿真结果。通过仿真结果可知,单偏置电压3位DMTL移相器低位到高位的下拉电压分别为19.73,40.49和74.89 V,低位发生下拉时高位相移偏移小于0.062%(10 GHz,2.925×10-4 rad)。单偏置电压4位DMTL移相器低位到高位的下拉电压分别为19.73,32.55,48.41和74.89 V,低位发生下拉时高位相移偏移小于0.094%(10 GHz,4.425×10-4 rad)。 展开更多
关键词 射频微机电系统(rfmems) 分布式mems传输线移相器 下拉电压 单偏置电压 相移偏移
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双频段高冗余度列车多普勒测速雷达设计与实现
14
作者 彭泽胄 郜洪民 李博 《电讯技术》 北大核心 2025年第3期422-428,共7页
为满足轨道交通高精度、宽速域、高可靠的列车测速需求,解决测速雷达速度突变问题,提出并实现了一种24 GHz+77 GHz双频段高冗余列车多普勒测速雷达方案。该雷达具有冗余性高、抗扰能力强、测速范围宽,以及适用交通制式广等技术优势。完... 为满足轨道交通高精度、宽速域、高可靠的列车测速需求,解决测速雷达速度突变问题,提出并实现了一种24 GHz+77 GHz双频段高冗余列车多普勒测速雷达方案。该雷达具有冗余性高、抗扰能力强、测速范围宽,以及适用交通制式广等技术优势。完成了测速雷达双频测速子系统的冗余设计,通过主备双系DSP芯片分别进行数字信号处理,利用嵌入式微机电系统加速度计实现通过加速度进行辅助停稳判断及速度修正的功能,并实现双系逻辑冗余功能软件设计。通过室内雷达目标模拟器及外场测试,证明该测速雷达能够实现0~650 km/h速度范围内的列车速度精确识别,在列车低速运行情况下测速雷达抗扰能力强,能有效解决目前列车低速状态速度突变问题。对比其他方法,在低速状态下,测速误差降低了57.14%;在列车速度高于50 km/h时,测速误差降低了30%。 展开更多
关键词 列车测速 多普勒雷达 双频雷达 架构设计 微机电系统(mems)
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高隔离度阶跃结构MEMS开关的设计 被引量:1
15
作者 凌源 鲍景富 +3 位作者 李昕熠 黄裕霖 寇波 赵兴海 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2013年第10期623-628,共6页
针对MEMS开关提高电容比需要提高驱动电压的问题,提出了一种应用于Ku频段的阶跃结构MEMS开关,该结构结合了固支梁开关和悬臂梁开关,使得开关有两个驱动高度。当固支梁被吸合时,悬臂梁高度会随之降低,在增加开关电容比的同时降低了驱动... 针对MEMS开关提高电容比需要提高驱动电压的问题,提出了一种应用于Ku频段的阶跃结构MEMS开关,该结构结合了固支梁开关和悬臂梁开关,使得开关有两个驱动高度。当固支梁被吸合时,悬臂梁高度会随之降低,在增加开关电容比的同时降低了驱动电压。利用开关悬臂梁引入的电感,将开关闭合态LCd谐振点设计在14.5 GHz,使得开关在Ku频段的隔离度尤为优异。使用ANSYS和HFSS软件进行模拟,结果显示所设计开关驱动电压小于32 V,关态和开态电容比达到280,12~18 GHz的隔离度大于37 dB,插入损耗低于0.23 dB,回波损耗高于-17 dB。 展开更多
关键词 射频微电子机械系统(rf mems 驱动电压 隔离度 插入损耗 回波损耗
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H型梁谐振式MEMS压力传感器设计 被引量:3
16
作者 黄崇勇 许高斌 +1 位作者 陈兴 马渊明 《合肥工业大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2022年第2期213-218,共6页
谐振式微电子机械系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)压力传感器因其灵敏度高、体积小等特点近年来被广泛研究。根据谐振梁在不同压力作用下发生振动时,轴向应力的改变引起谐振梁等效刚度变化,从而进一步改变谐振梁谐振频率的... 谐振式微电子机械系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)压力传感器因其灵敏度高、体积小等特点近年来被广泛研究。根据谐振梁在不同压力作用下发生振动时,轴向应力的改变引起谐振梁等效刚度变化,从而进一步改变谐振梁谐振频率的原理,文章提出一种采用电磁激励/电磁拾振方式测量外界压力的谐振式压力传感器,并对传感器建立模型,利用ANSYS有限元仿真软件对传感器进行模拟分析与仿真验证。结果表明,量程为0~300 kPa、最大过载1.2倍满量程(full-scale,FS)时,初始频率为57.984 kHz,传感器灵敏度达66.98 Hz/kPa,非线性误差小于0.15%FS。 展开更多
关键词 微电子机械系统(mems) 谐振式压力传感器 电磁激励 频率测量 H型双端固支梁
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MEMS矢量水听器声压通道封装技术研究 被引量:2
17
作者 丁俊文 周瑜 +2 位作者 李晓雷 滕超 刘云飞 《声学技术》 CSCD 北大核心 2021年第2期295-300,共6页
为了更全面地获取水下声场信息,微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System,MEMS)矢量水听器常需集成声压敏感通道来提升单个换能器性能,MEMS矢量水听器的敏感芯片采用的是MEMS工艺制备完成,其封装必须与水隔离,传统的橡胶灌封方式会... 为了更全面地获取水下声场信息,微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System,MEMS)矢量水听器常需集成声压敏感通道来提升单个换能器性能,MEMS矢量水听器的敏感芯片采用的是MEMS工艺制备完成,其封装必须与水隔离,传统的橡胶灌封方式会破坏MEMS敏感芯片的机电性能,故MEMS敏感芯片常采用油封的方式,如硅油/蓖麻油。相反,对于MEMS矢量水听器声压通道的封装技术却不尽相同。文章选择给定尺寸的沿径向极化的压电陶瓷圆环,针对低频5~2000 Hz的探测频带需求,对比了两种不同封装形式,即聚氨酯密封和硅油作为耦合剂的聚氨酯密封,对声压通道接收灵敏度的影响规律。首先,建立了四种仿真模型,分析了不同形式下,接收灵敏度的变化规律。接着,设计了聚氨酯灌封和硅油耦合聚氨酯密封两种封装结构,并制备了实物。最后在驻波管中对两种封装形式的压电陶瓷圆环进行了接收灵敏度标定。结果显示,聚氨酯灌封和硅油耦合聚氨酯密封对声压通道的接收灵敏度特性影响不大,实操过程中要注意两种方式的工艺复杂度区别。 展开更多
关键词 微机电系统(mems)矢量水听器 声压通道 低频探测 接收灵敏度
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MEMS压电指向性传声器仿真与性能优化 被引量:1
18
作者 翟禹光 李俊红 +1 位作者 樊青青 王文 《压电与声光》 CAS 北大核心 2021年第6期830-833,839,共5页
为提高微机电系统(MEMS)压电指向性传声器的声压灵敏度,该文采用有限元法对一种MEMS压电指向性传声器进行了仿真与性能优化。对于该压电指向性传声器结构的声压灵敏度随压电层材料种类、厚度及长度的变化进行了研究,优化了结构参数,提... 为提高微机电系统(MEMS)压电指向性传声器的声压灵敏度,该文采用有限元法对一种MEMS压电指向性传声器进行了仿真与性能优化。对于该压电指向性传声器结构的声压灵敏度随压电层材料种类、厚度及长度的变化进行了研究,优化了结构参数,提高了器件的灵敏度及信噪比。结果表明,当硅梁厚为10μm,压电层厚为6.3μm时,器件灵敏度达到最大,较先前结构提高了约14 dB。 展开更多
关键词 有限元方法 微机电系统(mems)压电指向性传声器 压电结构 灵敏度 特征频率
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X波段高集成硅基射频微系统
19
作者 吴小玲 阮文州 刘德志 《微纳电子技术》 CAS 2024年第7期105-109,共5页
设计并制备了一款基于微电子机械系统(MEMS)工艺的小型化X波段硅基射频微系统,该微系统集成了变频器、功率放大器和MEMS双滤波器等,可实现信号的变频、滤波、放大。该微系统实现了硅基片上有源及无源芯片的异质集成,通过在硅基片上直接... 设计并制备了一款基于微电子机械系统(MEMS)工艺的小型化X波段硅基射频微系统,该微系统集成了变频器、功率放大器和MEMS双滤波器等,可实现信号的变频、滤波、放大。该微系统实现了硅基片上有源及无源芯片的异质集成,通过在硅基片上直接集成MEMS双滤波器及紧凑型布线分布实现了小型化,并通过在微系统内部的设计优化解决了芯片间级联匹配带来的寄生问题。该微系统尺寸8.5 mm×11 mm×1 mm,工作频率8~8.5 GHz,带内增益≥5 dB(平坦度≤±0.5 dB),带外抑制>80 dBc@7.5 GHz&9 GHz,中频输入端口驻波比≤1.7,射频输出端口驻波比≤1.4,满足设计及使用要求。此类硅基微系统具有高集成、小型化、方便使用等优点,是未来射频微系统的重要发展方向。 展开更多
关键词 微电子机械系统(mems) 高集成 微波组件 射频微系统 小型化
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C波段横向激励薄膜体声波谐振器设计与制备
20
作者 吴高米 马晋毅 +5 位作者 李尚志 司美菊 唐小龙 蒋世义 江洪敏 张祖伟 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第3期285-289,共5页
针对未来移动通信对射频前端器件提出的多频率、高集成新要求,开展了兼具声表面波(SAW)谐振器和薄膜体声波谐振器(FBAR)技术特点的新型横向激励兰姆波谐振器研究。该文介绍了基于c轴择优取向氮化铝(AlN)压电薄膜的C波段横向激励薄膜体... 针对未来移动通信对射频前端器件提出的多频率、高集成新要求,开展了兼具声表面波(SAW)谐振器和薄膜体声波谐振器(FBAR)技术特点的新型横向激励兰姆波谐振器研究。该文介绍了基于c轴择优取向氮化铝(AlN)压电薄膜的C波段横向激励薄膜体声波谐振器(XBAR)的结构设计、参数优化和制备方法,并进行了工艺验证。通过剥离和刻蚀等步骤制备了谐振频率4.464 GHz、品质因数3039、品质因数与频率之积(f×Q)达到1.56×10^(13)GHz、面积小于0.12 mm^(2)的低杂波XBAR谐振器,并仿真分析了其用于射频滤波器的可行性。该研究为进一步研制多频率、高集成的小型化XBAR滤波器组件提供了有效的设计技术和工艺技术支撑。 展开更多
关键词 压电微机电系统(mems)器件 C波段射频滤波器 横向激励薄膜体声波谐振器(XBAR) 多频率 高集成
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