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ZnO/IDT/金刚石结构SAW滤波器的设计和制作
被引量：
3
1
作者
陈颖慧
郑英彬
+3 位作者
席仕伟
唐彬
王旭光
张慧
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2013年第6期443-447,478,共6页
传统材料制备的声表面波(SAW)滤波器的中心频率f大多位于较低的频段(f<500 MHz),但是无线通信频段逐渐向着高频化的方向发展,因此在SAW器件领域中引入高声速材料如金刚石以提高中心频率成为一种必然趋势。基于金刚石材料、采用ZnO/I...
传统材料制备的声表面波(SAW)滤波器的中心频率f大多位于较低的频段(f<500 MHz),但是无线通信频段逐渐向着高频化的方向发展,因此在SAW器件领域中引入高声速材料如金刚石以提高中心频率成为一种必然趋势。基于金刚石材料、采用ZnO/IDT/金刚石新型结构,设计了交错叉指结构和镜像阻抗连接结构的叉指换能器(IDT)参数。通过优化的工艺制备流程,获得了金刚石SAW滤波器样品。最后采用RF探针台对样品进行了性能测试和数据分析。测试结果表明制备的SAW滤波器样品的测试结果与理论值比较符合,交错叉指结构滤波器获得了很低的插损,镜像阻抗连接结构滤波器有效地提高了带外抑制度。样品IDT指宽2μm,SAW滤波器中心频率可达0.775 GHz。
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关键词
射频微机电系统(
rf
mems
)
声表面波滤波器(SAW)
金刚石
氧化锌薄膜
叉指换能器(IDT)
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职称材料
题名
ZnO/IDT/金刚石结构SAW滤波器的设计和制作
被引量：
3
1
作者
陈颖慧
郑英彬
席仕伟
唐彬
王旭光
张慧
机构
中国工程物理研究院电子工程研究所
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2013年第6期443-447,478,共6页
基金
中国工程物理研究院科技发展基金重点课题(2010A0302013)
中国工程物理研究超精密加工技术重点实验室课题(2012CJMZZ00003
2012CJMZZ00006)
文摘
传统材料制备的声表面波(SAW)滤波器的中心频率f大多位于较低的频段(f<500 MHz),但是无线通信频段逐渐向着高频化的方向发展,因此在SAW器件领域中引入高声速材料如金刚石以提高中心频率成为一种必然趋势。基于金刚石材料、采用ZnO/IDT/金刚石新型结构,设计了交错叉指结构和镜像阻抗连接结构的叉指换能器(IDT)参数。通过优化的工艺制备流程,获得了金刚石SAW滤波器样品。最后采用RF探针台对样品进行了性能测试和数据分析。测试结果表明制备的SAW滤波器样品的测试结果与理论值比较符合,交错叉指结构滤波器获得了很低的插损,镜像阻抗连接结构滤波器有效地提高了带外抑制度。样品IDT指宽2μm,SAW滤波器中心频率可达0.775 GHz。
关键词
射频微机电系统(
rf
mems
)
声表面波滤波器(SAW)
金刚石
氧化锌薄膜
叉指换能器(IDT)
Keywords
radio frenquency micro-electromechanical system（rf mems）
su
rf
ace acoustic wave（SAW）filter
diamond
ZnO film
interdigital transducer（IDT）
分类号
TH703 [机械工程—精密仪器及机械]
TN713 [电子电信—电路与系统]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
ZnO/IDT/金刚石结构SAW滤波器的设计和制作
陈颖慧
郑英彬
席仕伟
唐彬
王旭光
张慧
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2013
3
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