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题名多晶硅太阳电池表面织构工艺优化
被引量：1
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作者
叶建雄
张发云
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机构
南昌工程学院机械与电气工程学院
南昌大学机器人与焊接自动化重点实验室
新余学院太阳能科学与工程系
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出处
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第6期143-145,149,共4页
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基金
中国博士后科学研究基金(20080441085)
2010江西省教育厅科技项目(GJJ10647)
+1 种基金
2009年江西省高校省级教改项目(JXJG-09-24-2)
09年校级招标课题资助项目
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文摘
在太阳电池制备工艺中,多晶硅表面常需要进行绒面处理,在各种不同的工艺中,各向同性腐蚀法由于成本低且易于操作而适宜于大规模生产,已成为当前研究的重点。但不同配比的试剂在不同作用时间及工艺下会得到不同的效果,如何科学地评价这些差异,进而得到最佳的工艺参数用于指导生产实践,具有重要的意义。由于各参数间复杂的非线性耦合关系,使得参数的精确确定成为难题。在充分理解遗传算法(Genetic algorithm,GA)作用机理的基础上,以人工神经网络(Artificial neural network,ANN)为辅助手段,以腐蚀速度和光反射率为评价标准,从理论上提出了最佳工艺参数的确定方法,大量多晶硅表面制绒试验已经证明,此方法具有快捷、准确的优点。
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关键词
多晶硅
制绒
酸腐蚀
制备工艺
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Keywords
polysilicon texture making, acid preparation, process parameters
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分类号
TP183
[自动化与计算机技术—控制理论与控制工程]
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