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离子氮化与物理气相沉积TiN复合处理研究 被引量:3
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作者 金犁 潘应君 《工具技术》 北大核心 2007年第5期24-28,共5页
综述了PN+TiN复合处理的工艺、组织和性能之间的关系,重点讨论了复合处理过程中“黑色层”的形成及抑制,并探讨了氮化层对复合涂层的强化机理。
关键词 等离子氮化 tin 复合处理
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