期刊文献+
共找到300篇文章
< 1 2 15 >
每页显示 20 50 100
CALCULATION OF ELASTIC ERROR OF PLANAR MECHANISM—AN EQUIVALENT METHOD 被引量:2
1
作者 Wang Ailun Zhong Jue Chang Tiegang (College of Mechanical and Electrical Engineering, Central South University of Technology, Changsha 410083, China) 《Journal of Central South University》 SCIE EI CAS 1999年第1期57-59,共3页
In rigid mechanism dynamic analysis, the equivalence theorem is often used due to its simplicity and perceivability. Based on conjugation and duality between inertia energy storing element and elastic energy storing... In rigid mechanism dynamic analysis, the equivalence theorem is often used due to its simplicity and perceivability. Based on conjugation and duality between inertia energy storing element and elastic energy storing element, the equivalence theorem is used in elastic error analysis of planar mechanism. A set of calculation formula of elastic error is introduced, and these equations are similar in expression form to the rigid dynamic equation. To demonstrate the method developed, a computation example is given. 展开更多
关键词 planar mechanism ELASTIC ERROR EQUIVALENT FLEXIBILITY
在线阅读 下载PDF
Enhancing energy density in planar micro-supercapacitors:The role of few-layer graphite/carbon black/NiCo_(2)O_(4) composite materials
2
作者 ZHANG Wanggang HUANG Lei +3 位作者 WANG Menghu WANG Jian WEI Aili LIU Yiming 《燃料化学学报(中英文)》 北大核心 2025年第5期646-662,共17页
The advancement of planar micro-supercapacitors(PMSCs)for micro-electromechanical systems(MEMS)has been significantly hindered by the challenge of achieving high energy and power densities.This study addresses this is... The advancement of planar micro-supercapacitors(PMSCs)for micro-electromechanical systems(MEMS)has been significantly hindered by the challenge of achieving high energy and power densities.This study addresses this issue by leveraging screen-printing technology to fabricate high-performance PMSCs using innovative composite ink.The ink,a synergistic blend of few-layer graphene(Gt),carbon black(CB),and NiCo_(2)O_(4),was meticulously mixed to form a conductive and robust coating that enhanced the capacitive performance of the PMSCs.The optimized ink formulation and printing process result in a micro-supercapacitor with an exceptional areal capacitance of 18.95 mF/cm^(2)and an areal energy density of 2.63μW·h/cm^(2)at a current density of 0.05 mA/cm^(2),along with an areal power density of 0.025 mW/cm^(2).The devices demonstrated impressive durability with a capacitance retention rate of 94.7%after a stringent 20000-cycle test,demonstrating their potential for long-term applications.Moreover,the PMSCs displayed excellent mechanical flexibility,with a capacitance decrease of only 3.43%after 5000 bending cycles,highlighting their suitability for flexible electronic devices.The ease of integrating these PMSCs into series and parallel configurations for customized power further underscores their practicality for integrated power supply solutions in various technologies. 展开更多
关键词 graphite/carbon black composite NiCo_(2)O_(4) screen printing planar micro-supercapacitor energy density mechanical flexibility
在线阅读 下载PDF
基于四杆机构的长距离柔性管道蠕动输送装置研究
3
作者 贺昊辰 高贵军 《机电工程》 北大核心 2025年第5期845-855,共11页
为降低井下水仓清理时煤泥输送管道的压力,提出了一种采用煤泥输送沿程间断性加压,以降低管道全程输送最高压力的方法,并设计了一种沿程间断布置的管道蠕动挤压装置。首先,将管道蠕动挤压装置简化为平面四杆机构,根据连杆上的描点坐标,... 为降低井下水仓清理时煤泥输送管道的压力,提出了一种采用煤泥输送沿程间断性加压,以降低管道全程输送最高压力的方法,并设计了一种沿程间断布置的管道蠕动挤压装置。首先,将管道蠕动挤压装置简化为平面四杆机构,根据连杆上的描点坐标,联立矢量方程推导了角度及速度表达式,在MATLAB软件中进行了轨迹分析,得到了相关参数;然后,对四杆机构和传动机构等进行了建模,构建了装置模型以进行运动和传动分析,得到了工作状态下四杆机构的运动参数和力的传递情况,验证了装置运动的可行性;最后,利用Fluent软件进行了模拟实验,建立了管道模型,并设置了相关参数。研究结果表明:在压力为1 MPa时,挤压装置工作一次输送的煤泥质量流量约为29.7 kg/s;管道蠕动输送装置可通过调整管道有效容积,模拟手指夹挤管道动作;在长距离煤泥输送时,工作压力值由20 MPa~30 MPa降至1 MPa,显著降低了煤泥输送对高压力的依赖。该装置为煤矿井下煤泥的高效运输提供了新的解决方案。 展开更多
关键词 平面四杆机构 煤泥输送 管道挤压 蠕动机理 连杆运动轨迹 传动机构 管道输送压力
在线阅读 下载PDF
一种并联机构尺寸与拓扑同步轻量化设计方法
4
作者 罗磊 王猛 《机电工程》 北大核心 2025年第8期1563-1572,共10页
因可重构性好和动态性能优良,并联机构(PKM)在多个领域得到了广泛应用,但其现有设计方法多关注尺寸参数,忽视了结构拓扑的影响。为解决上述问题,提出了一种并联机构尺寸与拓扑同步轻量化设计方法。首先,以质量最小和刚度最小为目标函数... 因可重构性好和动态性能优良,并联机构(PKM)在多个领域得到了广泛应用,但其现有设计方法多关注尺寸参数,忽视了结构拓扑的影响。为解决上述问题,提出了一种并联机构尺寸与拓扑同步轻量化设计方法。首先,以质量最小和刚度最小为目标函数和约束条件,通过参数化设计获得了并联机构所有尺寸参数;然后,通过灵敏度分析确定了关键尺寸参数,在有限元分析(FEA)和响应面法(RSM)的基础上,建立了设计变量与各方向刚度之间的改进刚度-质量元模型;最后,将这些映射关系嵌入并联机构刚度和质量模型中,利用粒子群优化算法(PSO)完成了尺寸参数和结构拓扑的同步设计工作;以平面5R并联机构为例开展了验证与对比分析,完成了平面5R并联机构的轻量化设计工作。研究结果表明:在相同刚度约束下,相比参数化设计方法,采用尺寸与拓扑同步轻量化设计方法获得的质量降低了8.84%,从330.4 kg减少到301.2 kg,证明了该方法的有效性和优越性。该方法可为其他并联机构或类似机器人的轻量化设计提供重要参考。 展开更多
关键词 机构学 平面5R并联机构 改进刚度-质量元模型 灵敏度分析 分层轻量化设计 尺寸参数
在线阅读 下载PDF
Numerical and experimental study on seismic behavior of concrete-filled T-section steel tubular columns and steel beam planar frames 被引量:4
5
作者 ZHANG Ji-cheng HUANG Yong-shui +2 位作者 CHEN Yu DU Guo-feng ZHOU Ling-jiao 《Journal of Central South University》 SCIE EI CAS CSCD 2018年第7期1774-1785,共12页
The seismic behavior of planar frames with concrete-filled T-section columns to steel beam was experimentally and numerically studied. A finite element analysis (FEA) model was developed to investigate the engineeri... The seismic behavior of planar frames with concrete-filled T-section columns to steel beam was experimentally and numerically studied. A finite element analysis (FEA) model was developed to investigate the engineering properties of the planar frames. Two 1:2.5 reduced-scale specimens of T-section concrete-filled steel tubular column and steel beam of single-story and single-bay plane frames were designed and fabricated based on the design principles of strong-column, weak-beam and stronger-joint. One three-dimensional entity model of the investigated frame structure was built using a large-scale nonlinear finite-element analysis software ABAQUS. Experimental results show that the axial compression ratio has no effect on the failure mode of the structure, while with the increase of axial compression ratio and the dissipated energy ability increasing, the structural ductility decreased. The results from both experiments and simulations agree with each other, which verifies the validity and accuracy of the developed finite element model. Furthermore, the developed finite element model helps to reflect the detailed stress status of the investigated frame at different time and different positions. 展开更多
关键词 planar frames T-section steel tubular columns seismic behavior mechanical properties finite element analysis
在线阅读 下载PDF
凸棱非平面聚晶金刚石齿的破岩机理及在含砾地层中的应用 被引量:2
6
作者 陈炼 魏小虎 +5 位作者 曹强 周岩 杨迎新 胡川 赵志杰 伍彬 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第2期371-379,共9页
为提高聚晶金刚石复合片(PDC)钻头在含砾、软硬交错等不均质地层中的抗冲击性能,开展了凸棱非平面PDC齿的研究。通过仿真和室内实验对比分析了凸棱非平面齿与常规平面齿的破岩机理。与平面齿相比,凸棱非平面齿与岩石的接触应力分布更均... 为提高聚晶金刚石复合片(PDC)钻头在含砾、软硬交错等不均质地层中的抗冲击性能,开展了凸棱非平面PDC齿的研究。通过仿真和室内实验对比分析了凸棱非平面齿与常规平面齿的破岩机理。与平面齿相比,凸棱非平面齿与岩石的接触应力分布更均匀,切削破岩过程中的载荷波动幅度明显更小,切削稳定性更高。凸棱齿特殊的非平面结构改变了切削齿与岩石的互作用方式,在不均质地层得到成功应用。 展开更多
关键词 非平面聚晶金刚石齿 含砾地层 破岩机理 冲击损坏
在线阅读 下载PDF
pH调节剂在CMP工艺中的应用研究进展 被引量:2
7
作者 董常鑫 牛新环 +4 位作者 刘江皓 占妮 邹毅达 何潮 李鑫杰 《半导体技术》 北大核心 2024年第1期30-38,共9页
pH调节剂在化学机械抛光(CMP)工艺中有重要应用,可以调节抛光液的pH值以确保抛光过程的化学反应在理想的pH值下进行,同时保持抛光化学环境的稳定等。对无机酸、有机酸、无机碱和有机碱四大类pH调节剂在合金、金属和金属化合物等材料的CM... pH调节剂在化学机械抛光(CMP)工艺中有重要应用,可以调节抛光液的pH值以确保抛光过程的化学反应在理想的pH值下进行,同时保持抛光化学环境的稳定等。对无机酸、有机酸、无机碱和有机碱四大类pH调节剂在合金、金属和金属化合物等材料的CMP中的应用及其作用机理进行综述。无机酸pH调节剂的主要作用机理是快速腐蚀材料表面,但其主要缺点是会将多余的金属离子引入抛光液中污染金属表面。有机酸pH调节剂的主要作用机理是螯合金属离子形成大分子络合物,但其主要缺点是稳定性差,难以保存。无机碱pH调节剂的主要作用机理是在基底表面生成一层软化层,使其在机械作用下更容易被去除,但其主要缺点是仍会引入金属离子污染材料表面。有机碱pH调节剂的主要作用机理是加速钝化膜的形成,但其主要缺点是制备困难、成本高。最后对pH调节剂在CMP中的应用前景进行了展望。 展开更多
关键词 PH调节剂 化学机械抛光(CMP) 抛光液 稳定性 平坦化
在线阅读 下载PDF
SHA和TT-LYK在钴基阻挡层集成电路CMP中的协同作用
8
作者 方淇 潘国峰 +1 位作者 杨雪妍 胡连军 《应用化工》 CSCD 北大核心 2024年第11期2546-2550,2561,共6页
针对集成电路铜(Cu)互连Co阻挡层在化学机械抛光(CMP)过程中存在Cu/Co去除速率(RR)选择性差、易发生腐蚀等问题,采用CMP等实验方法,研究了新型络合剂水杨羟肟酸(SHA)以及抑制剂2,2′-{[(甲基-1H-苯并三唑-1-基)甲基]亚氨基}双乙醇(TT-L... 针对集成电路铜(Cu)互连Co阻挡层在化学机械抛光(CMP)过程中存在Cu/Co去除速率(RR)选择性差、易发生腐蚀等问题,采用CMP等实验方法,研究了新型络合剂水杨羟肟酸(SHA)以及抑制剂2,2′-{[(甲基-1H-苯并三唑-1-基)甲基]亚氨基}双乙醇(TT-LTK)在Co基阻挡层CMP中的作用效果及作用机理。结果显示,在抛光条件下,SHA对Cu和Co均具有络合效果,TT-LTK对Co无抑制效果,但对Cu有显著抑制作用;在静态条件下,SHA对Co仍表现出络合特性,对Cu则表现出抑制效果,TT-LTK对Cu和Co均具有良好的缓蚀作用。同时,SHA和TT-LYK协同使用可以实现理想的Cu/Co RR和选择比,并将Cu/Co腐蚀电位差抑制至13 mV。本研究为SHA和TT-LYK在Cu互连Co基阻挡层集成电路CMP中的应用开辟了新的思路。 展开更多
关键词 化学机械平坦化 络合剂 腐蚀 SHA TT-LYK
在线阅读 下载PDF
化学机械抛光技术的研究进展 被引量:59
9
作者 雷红 雒建斌 张朝辉 《上海大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 2003年第6期494-502,共9页
化学机械抛光(chemicalmechanicalpolishing,简称CMP)技术几乎是迄今惟一的可以提供全局平面化的表面精加工技术,可广泛用于集成电路芯片、计算机硬磁盘、微型机械系统(MEMS)、光学玻璃等表面的平整化.该文综述了CMP技术的研究现状,指出... 化学机械抛光(chemicalmechanicalpolishing,简称CMP)技术几乎是迄今惟一的可以提供全局平面化的表面精加工技术,可广泛用于集成电路芯片、计算机硬磁盘、微型机械系统(MEMS)、光学玻璃等表面的平整化.该文综述了CMP技术的研究现状,指出了CMP急待解决的技术和理论问题,并对其发展方向进行了展望. 展开更多
关键词 表面微加工 化学机械抛光 平整化 研究进展 微电子制造 集成电路芯片 计算机硬磁盘
在线阅读 下载PDF
平面五杆机构运动学和动力学特性分析 被引量:43
10
作者 于红英 唐德威 王建宇 《哈尔滨工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第6期940-943,共4页
对平面五杆机构的运动学特性和动力学特性进行分析.推导了五杆机构的运动学正解和运动学逆解方程.借助Kane动力学分析方程,对五杆机构进行了动力学分析,分析结果表明惯性力对机构的影响很大.
关键词 平面五杆机构 运动学 动力学
在线阅读 下载PDF
CMP抛光半导体晶片中抛光液的研究 被引量:20
11
作者 胡伟 魏昕 +1 位作者 谢小柱 向北平 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2006年第6期78-80,共3页
本文分析了化学机械抛光(CMP)半导体晶片过程中抛光液的重要作用,总结了抛光液的组成及其化学性能(氧化剂、磨料及pH值等)和物理性能(流速、粘性及温度)对抛光效果的影响规律,研究发现:酸性抛光液常用于抛光金属材料,pH最优值为4,碱性... 本文分析了化学机械抛光(CMP)半导体晶片过程中抛光液的重要作用,总结了抛光液的组成及其化学性能(氧化剂、磨料及pH值等)和物理性能(流速、粘性及温度)对抛光效果的影响规律,研究发现:酸性抛光液常用于抛光金属材料,pH最优值为4,碱性抛光液常用于抛光非金属材料,pH最优值为10~11.5;氧化剂能有效提高金属材料的抛光效率和表面平整度;磨料的种类、浓度及尺寸会影响抛光效果;分散剂有助于保持抛光液的稳定性;抛光初始阶段宜采用较低流速,然后逐渐提高;抛光液的粘性会影响晶片与抛光垫之间的接触模式、抛光液的均布、流动及加工表面的化学反应;抛光液温度的升高有助于提高抛光效率.最后本文指出了抛光液循环使用的重要意义及常用方法. 展开更多
关键词 化学机械抛光 抛光液 抛光效率 表面平整度
在线阅读 下载PDF
五自由度混联机器人优化设计与运动学分析 被引量:14
12
作者 张东胜 许允斗 +2 位作者 侯照伟 姚建涛 赵永生 《农业工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第24期69-76,共8页
为提高农业自动化程度,拓宽并联机构在农业工程领域的应用,提出一种存在连续转轴、关节数目少、易于控制的两移一转运动冗余平面并联机构,该并联机构任意位置的转轴均为相互平行的连续转轴,使其具备良好的灵活性。基于此平面并联机构,... 为提高农业自动化程度,拓宽并联机构在农业工程领域的应用,提出一种存在连续转轴、关节数目少、易于控制的两移一转运动冗余平面并联机构,该并联机构任意位置的转轴均为相互平行的连续转轴,使其具备良好的灵活性。基于此平面并联机构,构造出了多种五自由度混联机器人,首先建立了五自由度混联机器人的运动学模型,并对其进行了奇异分析,给出了减少机构奇异位型的条件;然后基于灵活性指标,对并联机构进行了尺寸优化,绘制了用于选取结构尺寸的性能图谱,且借助有限元软件对基于优化所得结构尺寸绘制的具有运动冗余特性的平面机构进行了结构拓扑优化,,完成了整体结构优化前后的静力学分析与对比,结果显示优化前后整体变形仅增大0.51%,优化前后机构优化部分的质量减少33.02%,满足机构变形要求。该混联机器人具有结构简单、运动学模型简单、结构刚度高和模块化程度高的特点,且其结构的变胞性有助于实现机构运动和驱动冗余模式的切换,增强了机器人的可研究性。该文可为混联机器人运动学分析及优化设计提供参考。 展开更多
关键词 机器人 设计 优化 平面并联机构 运动冗余 自由度 变胞机构
在线阅读 下载PDF
铜抛光液中缓蚀剂5-氨基四唑(ATA)的作用机制研究 被引量:5
13
作者 刘宇宏 董莹 +1 位作者 戴媛静 雒建斌 《润滑与密封》 CAS CSCD 北大核心 2012年第5期1-6,22,共7页
采用静态腐蚀实验、接触角测试、XPS等手段,比较在不同pH值下抛光液中缓蚀剂(5-氨基四唑(ATA),苯并三唑(BTA))对铜表面化学机械抛光(CMP)的影响,并探讨ATA在铜表面的作用机制。结果表明,BTA和ATA是优良的铜缓蚀剂,当pH值为3~10时,两者... 采用静态腐蚀实验、接触角测试、XPS等手段,比较在不同pH值下抛光液中缓蚀剂(5-氨基四唑(ATA),苯并三唑(BTA))对铜表面化学机械抛光(CMP)的影响,并探讨ATA在铜表面的作用机制。结果表明,BTA和ATA是优良的铜缓蚀剂,当pH值为3~10时,两者可在铜表面成膜,保护铜表面不受腐蚀,从而降低铜片的静态腐蚀速率和去除率,其中当pH=4时,2种缓蚀剂表现出最佳的缓蚀性能。当pH值为3~5时,ATA的缓蚀性能优于BTA。ATA通过四唑环上的N原子和氨基上的N原子吸附在铜表面,形成保护膜,从而抑制了H2O2对铜表面的腐蚀,改善了表面质量,是一种优良的适用于酸性铜抛光液的缓蚀剂。 展开更多
关键词 缓蚀剂 化学机械抛光 抛光机制 吸附
在线阅读 下载PDF
大直径硅晶片化学机械抛光及其终点检测技术的研究与应用 被引量:10
14
作者 罗余庆 康仁科 +1 位作者 郭东明 金洙吉 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2004年第6期24-29,37,共7页
化学机械抛光是硅片全局平坦化的核心技术,然而在实用阶段上,这项技术还受限于一些制造系统整合上的问题,其中有效的终点检测系统是影响抛光成效的重要关键。若未能有效地监测抛光运作,便无法避免硅片产生抛光过度或不足的缺陷。本文在... 化学机械抛光是硅片全局平坦化的核心技术,然而在实用阶段上,这项技术还受限于一些制造系统整合上的问题,其中有效的终点检测系统是影响抛光成效的重要关键。若未能有效地监测抛光运作,便无法避免硅片产生抛光过度或不足的缺陷。本文在介绍CMP机制与应用的基础上,系统分析了CMP终点检测技术的研究现状及存在的问题。 展开更多
关键词 大直径硅晶片 化学机械抛光 终点检测 平坦化
在线阅读 下载PDF
过氧化氢抛光液体系中钌的化学机械抛光研究 被引量:8
15
作者 储向峰 王婕 +2 位作者 董永平 乔红斌 张王兵 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第5期421-427,共7页
本文研究了过氧化氢(H2O2)抛光液体系中金属钌的化学机械抛光行为,采用电化学分析方法和X射线光电子能谱仪(XPS)分析了氧化剂和络合剂对腐蚀效果的影响,利用原子力显微镜(AFM)观察抛光表面的微观形貌.结果表明:在过氧化氢抛光液体系中,... 本文研究了过氧化氢(H2O2)抛光液体系中金属钌的化学机械抛光行为,采用电化学分析方法和X射线光电子能谱仪(XPS)分析了氧化剂和络合剂对腐蚀效果的影响,利用原子力显微镜(AFM)观察抛光表面的微观形貌.结果表明:在过氧化氢抛光液体系中,金属钌表面钝化膜的致密度和厚度与醋酸(CH3COOH)和H2O2的浓度有关.抛光液中醋酸主要通过促进阳极反应的进行从而增强抛光液对金属钌的化学作用,CH3COOH作为络合剂比三乙醇胺(TEA)或酒石酸(C4H6O6)得到的抛光速率更高.低浓度H2O2通过增强抛光液对金属钌的化学腐蚀,抛光速率增大,较高浓度H2O2可能通过在金属表面形成较厚的氧化膜,抛光速率下降.XPS图谱说明钌片浸泡在含醋酸介质过氧化氢体系抛光液后,钌、氧原子相对含量之比约为2∶3,而且金属钌被氧化到四价和八价,这可能是因为金属钌表面生成RuO2和RuO4.抛光后的金属钌表面在5μm×5μm范围内平均粗糙度Sa由抛光前的33 nm降至6.99 nm. 展开更多
关键词 化学机械抛光 电化学检测 过氧化氢 络合剂
在线阅读 下载PDF
爆炸箔起爆器用高压开关研究进展 被引量:11
16
作者 曾庆轩 李守殿 +1 位作者 袁士伟 吕军军 《安全与环境学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第1期202-205,共4页
爆炸箔起爆器由高压开关、桥箔、电容器和负载等部件组成,高压开关是控制其可靠工作的关键元器件。为研究体积更小,成本更低,易于集成的高压开关,综述了国内外爆炸箔起爆器用高压开关发展概况。简述了气体开关、真空开关、半导体开关、... 爆炸箔起爆器由高压开关、桥箔、电容器和负载等部件组成,高压开关是控制其可靠工作的关键元器件。为研究体积更小,成本更低,易于集成的高压开关,综述了国内外爆炸箔起爆器用高压开关发展概况。简述了气体开关、真空开关、半导体开关、平面开关及最新研制的单触发开关的工作原理,并在平面开关中介绍了其与桥箔组合的集成平面开关装置及这种装置的优点。最后对这5种高压开关的主要性能进行对比分析.得出结论:平面开关和单触发开关将成为现阶段我国爆炸箔起爆器用高压开关的研究趋势,集成平而开关装置将是爆炸箔起爆装置的发展方向。 展开更多
关键词 爆炸力学 气体开关 真空开关 半导体开关 平面开关 单触发开关 集成平面开关装置
在线阅读 下载PDF
作平面运动平底从动件盘形凸轮机构第Ⅱ类机构综合 被引量:11
17
作者 常勇 林荣富 李延平 《农业机械学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第7期286-292,共7页
通过引入固定、浮动坐标系和支撑函数法,揭示瞬时一维直线区域和投影得到瞬时区间套,进而提出推程、回程和整程区间套等概念,给出了求解平底方位线容许选择区域、凸轮基圆半径r0许用取值范围的基本原理,推导得到求解计算的一整套通用解... 通过引入固定、浮动坐标系和支撑函数法,揭示瞬时一维直线区域和投影得到瞬时区间套,进而提出推程、回程和整程区间套等概念,给出了求解平底方位线容许选择区域、凸轮基圆半径r0许用取值范围的基本原理,推导得到求解计算的一整套通用解析公式,得到解存在性和存在性态的系列判据,解决了作平面运动平底从动件盘形凸轮机构的第Ⅱ类机构综合问题。 展开更多
关键词 盘形凸轮机构 平底从动件 平面运动 机构综合
在线阅读 下载PDF
一种基于手眼视觉的并联机器人标定方法 被引量:13
18
作者 李永泉 王皓辰 +2 位作者 张阳 张岩 张立杰 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第6期722-730,755,共10页
提出了一种基于手眼视觉的并联机器人标定方法。基于环路增量法,建立了平面2-DOF冗余驱动并联机器人运动学误差与标定模型;设计了一种标定实验靶板,利用相机采集靶板图像并对其进行分割、识别、旋转补偿的处理,获取机构末端目标位置和... 提出了一种基于手眼视觉的并联机器人标定方法。基于环路增量法,建立了平面2-DOF冗余驱动并联机器人运动学误差与标定模型;设计了一种标定实验靶板,利用相机采集靶板图像并对其进行分割、识别、旋转补偿的处理,获取机构末端目标位置和实际位置的像素误差值;针对机构自身结构的限制,利用边界曲线识别特征角点,提出了一种基于特征角点确定检测点旋转角度的方法,在补偿相机旋转角度的基础上,再利用简化后的相机针孔模型,将像素误差值通过转换得到机构末端执行器的真实位置误差值;最后利用标定模型和通过视觉系统获取的误差值进行运动学标定。经过4次迭代,机构误差减小为原来的1/3,验证了该方法的可行性。同时该方法具有标定过程用时短、数据量小、实验成本低等优点。 展开更多
关键词 平面机构 环路增量法 运动学标定 视觉测量
在线阅读 下载PDF
延矾盆地北缘断裂深浅构造关系研究 被引量:9
19
作者 于贵华 徐锡伟 +6 位作者 马文涛 朱艾澜 刁桂苓 张四昌 张先康 刘保金 孙振国 《地震学报》 CSCD 北大核心 2004年第1期68-76,共9页
在已有的地表地质构造、浅层探测与深部探测等资料基础上 ,利用高精度地震局域网的数字地震记录 ,分析了延庆 矾山次级盆地北缘断裂上的微、小地震活动特征 ,及其与地表活断层和深部地壳结构关系 .通过对地震局域网获得的微、小地震的... 在已有的地表地质构造、浅层探测与深部探测等资料基础上 ,利用高精度地震局域网的数字地震记录 ,分析了延庆 矾山次级盆地北缘断裂上的微、小地震活动特征 ,及其与地表活断层和深部地壳结构关系 .通过对地震局域网获得的微、小地震的精确位置、震源机制解及其特点的分析 ,厘定了地表活断层延庆 矾山盆地北缘断裂属旋转平面状正断层 ,揭示了延怀盆地区浅表地质与深部构造的相互关系 。 展开更多
关键词 地质构造 地震勘测 震源机制 旋转平面状正断层
在线阅读 下载PDF
钛基片的化学机械抛光技术研究 被引量:5
20
作者 戴媛静 裴惠芳 +1 位作者 潘国顺 刘岩 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第2期131-136,共6页
采用化学机械抛光(CMP)方法对钛基片进行纳米级平坦化处理,通过系列抛光试验优化抛光液组成和抛光工艺条件后,得到AFM-Ra为0.159 nm的纳米级抛光表面和156.5 nm/min的抛光速率.抛光液的电化学分析结果表明:二氧化硅颗粒和乳酸在钛表面... 采用化学机械抛光(CMP)方法对钛基片进行纳米级平坦化处理,通过系列抛光试验优化抛光液组成和抛光工艺条件后,得到AFM-Ra为0.159 nm的纳米级抛光表面和156.5 nm/min的抛光速率.抛光液的电化学分析结果表明:二氧化硅颗粒和乳酸在钛表面有不同程度的吸附缓蚀作用,氨水和F-的络合、扩散作用能破坏缓蚀膜层,两者的中间平衡状态才能得到最佳抛光效果.抛光后钛表层XPS测试结果显示钛表层经过化学氧化形成疏松氧化层后,再通过磨粒和抛光垫的机械作用去除. 展开更多
关键词 钛基片 化学机械抛光 纳米级粗糙度 抛光机理
在线阅读 下载PDF
上一页 1 2 15 下一页 到第
使用帮助 返回顶部