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光电系统中的自归零复合轴稳瞄系统
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作者 刘小强 牛帅旭 +5 位作者 杨修林 王虎 杨永安 张蕙菁 柳井莉 赵子淳 《兵工学报》 北大核心 2025年第1期346-353,共8页
针对传统复合轴稳瞄系统子轴运动范围较小、易积分饱和导致系统失效的问题,提出自归零复合轴稳瞄系统。在剖析传统复合轴稳瞄系统子轴易积分饱和致系统失效原由的基础上,提出主轴据强度函数随动子轴的自归零复合轴稳瞄系统,通过直观展... 针对传统复合轴稳瞄系统子轴运动范围较小、易积分饱和导致系统失效的问题,提出自归零复合轴稳瞄系统。在剖析传统复合轴稳瞄系统子轴易积分饱和致系统失效原由的基础上,提出主轴据强度函数随动子轴的自归零复合轴稳瞄系统,通过直观展示、理论分析及数学仿真软件仿真其在避免子轴积分饱和及增强系统抗扰特性方面的可行性及优势,并搭建试验平台开展试验验证。测试结果表明,在低频段,自归零复合轴稳瞄系统可在保证子轴扰动抑制能力的同时,大幅度增强系统的主轴扰动抑制能力,使主轴误差维持在较小值,避免子轴限位饱和。由此表明自归零复合轴稳瞄系统的可行性,及其在避免子轴限位饱和、维持系统稳定性方面的优势。 展开更多
关键词 光电系统 稳瞄系统 复合轴 自归零 快速反射镜
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2维超大行程快反镜的分段非线性拟合标定
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作者 李晓天 陈青山 +1 位作者 王艳林 刘力双 《激光技术》 北大核心 2025年第1期87-91,共5页
为了实现集高速扫描与精确指向功能于一体的2维超大行程快速反射镜(快反镜)的高重复定位精度与分辨率,采用分段标定方法,设计了2维超大行程快反镜角度标定系统;对多项式拟合法进行优化得到分段式非线性拟合法,并对标定模型进行了理论分... 为了实现集高速扫描与精确指向功能于一体的2维超大行程快速反射镜(快反镜)的高重复定位精度与分辨率,采用分段标定方法,设计了2维超大行程快反镜角度标定系统;对多项式拟合法进行优化得到分段式非线性拟合法,并对标定模型进行了理论分析和实验测试。结果表明,在±5°范围内,传统的多项式拟合法标定误差最高达1.7 mrad,而优化后的分段式非线性拟合法在±5°标定的拟合误差小于8.2μrad,x、y轴分辨率分别可达4.6μrad和5.6μrad,x、y轴重复定位精度分别为19.4μrad和9.6μrad。此研究对精确控制2维超大行程快反镜有重要的作用。 展开更多
关键词 光学器件 超大行程快反镜 分段非线性拟合 系统标定
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小型磁阻式快速反射镜研究
3
作者 胡子鹏 刘力双 刘鑫 《激光技术》 北大核心 2025年第1期14-20,共7页
为了满足约束空间下的15 mm口径快速反射镜需求,对磁阻式电磁驱动进行了理论分析和建模仿真,分析了电磁驱动中线圈、永磁体参数、气隙,磁芯及导磁体等参数对驱动力矩的影响;根据仿真优化结果设计了快速反射镜样机,并进行了实验测试。结... 为了满足约束空间下的15 mm口径快速反射镜需求,对磁阻式电磁驱动进行了理论分析和建模仿真,分析了电磁驱动中线圈、永磁体参数、气隙,磁芯及导磁体等参数对驱动力矩的影响;根据仿真优化结果设计了快速反射镜样机,并进行了实验测试。结果表明,快速反射镜外形尺寸为24.0 mm×33.5 mm,转角范围为2维±1°,工作带宽大于350 Hz,主体重量79 g,口径15.0 mm,平均功耗7.36 W;快速反射镜样机体积小、重量轻、转角范围大,可应用于约束空间下的光束指向。此研究结果有助于推广小型磁阻式快速反射镜在空间或负载重量约束较高的场合进行应用。 展开更多
关键词 光学器件 快速反射镜 有限元分析 磁阻式电磁驱动
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基于FPGA的快速反射镜自适应模糊增量式PID控制
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作者 杨星宇 吕勇 《激光技术》 北大核心 2025年第2期233-238,共6页
为了解决快速反射镜在传统比例-积分-微分(PID)控制下超调量大及稳定所需时间长的问题,引入自适应模糊算法优化控制器参数,提高控制性能。根据音圈电机快速反射镜的构成与工作原理,构建音圈电机快速反射镜的闭环控制模型,并针对模糊控... 为了解决快速反射镜在传统比例-积分-微分(PID)控制下超调量大及稳定所需时间长的问题,引入自适应模糊算法优化控制器参数,提高控制性能。根据音圈电机快速反射镜的构成与工作原理,构建音圈电机快速反射镜的闭环控制模型,并针对模糊控制器中的隶属度函数及论域进行优化;通过现场可编程门阵列实现自适应模糊增量PID控制器,并进行了仿真及实物测试。结果表明,自适应模糊增量式PID控制器能使整体闭环过程“零超调”、“零振荡”,同时相比于传统PID控制器,系统稳定所需的时间缩短了17.5%,系统带宽提高了16.7%。该方法可有效提高快反镜的控制效果,可应用于其它需要高精度控制的系统当中。 展开更多
关键词 光学器件 快速反射镜 模糊比例-积分-微分控制 现场可编程门阵列 音圈电机
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镜面在三维空间旋转时反射光线角度变化的一般式
5
作者 杨润雨 张韵 《大学物理》 2025年第2期95-98,共4页
镜面在入射面内旋转时,其反射光线的角度变化是镜面转动角度的两倍;当镜面存在面外旋转时,其反射光线的角度变化难以定量描述.本文结合光线反射定律与解析几何相关知识,研究了当镜面在三维空间内自由旋转时,其反射光线的角度变化规律,... 镜面在入射面内旋转时,其反射光线的角度变化是镜面转动角度的两倍;当镜面存在面外旋转时,其反射光线的角度变化难以定量描述.本文结合光线反射定律与解析几何相关知识,研究了当镜面在三维空间内自由旋转时,其反射光线的角度变化规律,并得出了与入射角、入射面内旋转角、面外旋转角相关的一般表达式.结果表明,当不存在入射面内旋转时,反射光线的角度变化随面外旋转角度变化的变化速度是最快的;当入射面内旋转角度增大时,反射光线的角度变化随面外旋转角度变化的变化速度逐渐减小,直至为0.这一研究结果,将有助于理解自由空间中,镜面旋转时反射光线的变化规律,为光线在快速反射镜、扫描系统、数字微镜器件中的传播提供理论支撑. 展开更多
关键词 反射定律 镜面反射 自由空间旋转 快速反射镜 数字微镜器件
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快速反射镜双线性插值标定技术 被引量:2
6
作者 王宇先 刘力双 +1 位作者 陈青山 刘洋 《激光杂志》 CAS 北大核心 2024年第1期54-58,共5页
为满足光电系统中对快速反射镜高指向精度的需求,对基于电涡流传感器测量的快速反射镜二维角度标定技术进行研究。分析了利用电涡流传感器进行二维角度测量的工作原理,设计了快速反射镜角度标定系统。对多项式拟合、双线性插值两种标定... 为满足光电系统中对快速反射镜高指向精度的需求,对基于电涡流传感器测量的快速反射镜二维角度标定技术进行研究。分析了利用电涡流传感器进行二维角度测量的工作原理,设计了快速反射镜角度标定系统。对多项式拟合、双线性插值两种标定模型进行了理论分析和实验测试。结果表明,在±1000″角度范围内,双线性插值法标定的误差在2″以内,比传统的多项式拟合法标定精度高。标定精度的提高对实现快速反射镜高精度指向具有十分重要意义。 展开更多
关键词 快速反射镜 系统标定 双线性插值 电涡流传感器
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快速反射镜位移传感器高精度采集电路设计与实现
7
作者 王凯 孔德聪 +1 位作者 车鸿鹏 王碧衡 《光电技术应用》 2024年第4期67-71,共5页
对位移传感器高精度及低延时的数据采集是实现快速反射镜高精度和高带宽的关键。详细分析了复合轴中快速反射镜位移传感器采集电路的需求,并依此进行了硬件电路和软件设计。经过测试,采集电路有效分辨率可达17bit,数据频率为5kHz,信号... 对位移传感器高精度及低延时的数据采集是实现快速反射镜高精度和高带宽的关键。详细分析了复合轴中快速反射镜位移传感器采集电路的需求,并依此进行了硬件电路和软件设计。经过测试,采集电路有效分辨率可达17bit,数据频率为5kHz,信号采集延时200μs,能够实现对快速反射镜位移传感器信号的高速高精度采集,可有效提升控制带宽和控制精度。 展开更多
关键词 位移传感器 高精度 低延时 快速反射镜
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快速反射镜自适应反演PID复合控制系统设计
8
作者 艾志伟 张慕帆 +2 位作者 朱华 嵇建波 柏元忠 《红外技术》 CSCD 北大核心 2024年第2期144-149,共6页
为了提高复合轴系统的光束跟踪性能,必须考虑不可测扰动对快速反射镜系统的影响。针对可测量扰动,设计了自适应反演前馈控制算法,并由此得到启发,设计了用于抑制不可测量扰动的自适应反演PID(proportional-integral-derivative)控制系统... 为了提高复合轴系统的光束跟踪性能,必须考虑不可测扰动对快速反射镜系统的影响。针对可测量扰动,设计了自适应反演前馈控制算法,并由此得到启发,设计了用于抑制不可测量扰动的自适应反演PID(proportional-integral-derivative)控制系统,用自适应算法提高系统稳态精度以及对不同扰动的适应性,用PID控制器修正系统的误差信号改善系统动态性能。仿真结果表明,相较于PID控制算法,自适应反演PID复合控制系统的误差均方差值下降了34.76%,相较于自适应控制算法,自适应反演PID控制系统的误差均方差值下降了13.3%,自适应反演PID复合控制系统的稳态精度相比经典PID控制和自适应反演控制系统均得到了明显的提升,采用复合算法时上升时间相较自适应算法减少了48.9%,超调量相较经典PID算法减少了80.5%,系统动态性能得到较大改善。 展开更多
关键词 快速反射镜 扰动抑制 自适应 反演控制
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大转角快速反射镜柔性机构的优化设计与动态分析
9
作者 张萌 张松林 +2 位作者 吴垚 杨培基 何舟 《红外技术》 CSCD 北大核心 2024年第6期625-633,共9页
针对压电驱动快速反射镜普遍存在的偏转范围小、扫描频率低等问题,本文设计了一种具有较大偏转角度的压电驱动快速反射镜柔性机构。首先开展了柔性机构嵌套级数、构型方式与固有频率、放大系数的相关性研究,得出了三级混合构型的初步设... 针对压电驱动快速反射镜普遍存在的偏转范围小、扫描频率低等问题,本文设计了一种具有较大偏转角度的压电驱动快速反射镜柔性机构。首先开展了柔性机构嵌套级数、构型方式与固有频率、放大系数的相关性研究,得出了三级混合构型的初步设计方案。进一步将该机构离散为柔性铰链、刚性体和集中质量等基本单元,结合矩阵位移法,构建了柔性机构的通用动力刚度模型,得出柔性机构的结构参数与快速反射镜偏转角度的映射关系。在此基础上,对快速反射镜柔性机构关键尺寸参数进行优化设计,开展了柔性机构的模态分析。与国内外同类研究相比,该机构可以在保证较高一阶固有频率的基础上实现100 mrad机械偏转角度。 展开更多
关键词 快速反射镜 机械偏转角 柔性机构 优化设计
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基于扩张状态观测器的快速反射镜滑模控制
10
作者 缑泽恩 韩顺杰 +1 位作者 李双成 粟华 《红外技术》 CSCD 北大核心 2024年第2期150-154,共5页
快速反射镜需要具备快速的动态响应以及抗干扰能力。针对快速反射镜系统在工作环境中,因自身运动以及外界干扰等因素所引起的不确定性干扰问题,本文在对快速反射镜系统进行分析与数学建模的基础上,提出一种基于扩张状态观测器的改进滑... 快速反射镜需要具备快速的动态响应以及抗干扰能力。针对快速反射镜系统在工作环境中,因自身运动以及外界干扰等因素所引起的不确定性干扰问题,本文在对快速反射镜系统进行分析与数学建模的基础上,提出一种基于扩张状态观测器的改进滑模控制器,利用扩张状态观测器观测出未知扰动并直接补偿给控制器,在保证跟踪误差在期望精度范围的同时,有效减少了抖振,便于工程实现。通过仿真实验证明:相较于传统滑模控制器,采用基于扩张状态观测器的改进滑模控制器,上升时间缩短了50.4%,调节时间上缩短了39.1%,跟踪精度提高了30.5%,满足了快速反射镜的工作要求,提高了动态性能。 展开更多
关键词 快速反射镜 扩张状态观测器 滑模控制 音圈电机
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面向光束指向调控的双快速反射镜偏转角快速解算方法
11
作者 黄泽帆 李延伟 +3 位作者 谢虹波 杨睿 谷佳荣 谢新旺 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2024年第3期139-148,共10页
基于双快速反射镜的光束指向调控系统可补偿光束位置偏差及角度偏差,双反射镜引入的耦合效应致使难以快速求解合适的镜面绕轴偏转角。为解决该问题,文中构建了双快速反射镜光束指向调控模型,分析了偏转角与光斑位移在小角度下的近似线... 基于双快速反射镜的光束指向调控系统可补偿光束位置偏差及角度偏差,双反射镜引入的耦合效应致使难以快速求解合适的镜面绕轴偏转角。为解决该问题,文中构建了双快速反射镜光束指向调控模型,分析了偏转角与光斑位移在小角度下的近似线性关系,提出了偏转角的快速解算方法,可在单次求解后获得适用的镜面偏转角。该方法采用迭代收敛算法解算抑制随机光束指向失调的偏转角并形成数据集,基于该数据集训练浅层神经网络,可根据当前光斑位置偏差直接解算快速反射镜偏转角。仿真实验结果表明,依据该方法解算的偏转角进行调控,相较于未调控前光束状态,在X和Z方向的位置偏差分别减小99.32%、99.46%,角度偏差分别减小99.07%、98.98%,平均综合偏差减小99.16%,极大地抑制了光束指向失调。 展开更多
关键词 双快速反射镜 光束指向 偏转角求解 浅层神经网络
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基于分数阶自抗扰的快反镜控制方法
12
作者 车鸿鹏 孔德聪 +2 位作者 王凯 杜新宇 王碧衡 《光电技术应用》 2024年第6期41-48,共8页
快反镜作为复合轴光电跟踪系统的重要组成单元,其自身扰动抑制能力和动态响应能力决定了系统跟踪精度的上限。为提升快反镜系统性能,在现有自抗扰控制理论的基础上结合分数阶理论,提出一种分数阶自抗扰控制器(fractional-order active d... 快反镜作为复合轴光电跟踪系统的重要组成单元,其自身扰动抑制能力和动态响应能力决定了系统跟踪精度的上限。为提升快反镜系统性能,在现有自抗扰控制理论的基础上结合分数阶理论,提出一种分数阶自抗扰控制器(fractional-order active disturbance rejection control,FO-ADRC)。给出该控制器设计过程,并通过仿真和实验验证的方式对比分析了传统自抗扰控制器(active disturbance rejection control,ADRC)、扩张状态观测器和分数阶PDμ控制器组成的分数阶自抗扰控制器两种控制策略对于快反镜动态性能的控制效果。实验结果表明,分数阶自抗扰控制器相较于传统自抗扰控制器在阶跃响应情况下,快反镜快速性提升了20.58%,在正弦曲线跟踪情况下,缩小了快反镜跟踪起始阶段跟踪误差,取前两个周期的误差数据计算跟踪精度提升了26.9%。 展开更多
关键词 快反镜 分数阶比例-积分-微分(PID) 自抗扰控制 扩张状态观测器
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快速控制反射镜系统中的传递函数辨识 被引量:19
13
作者 胡浩军 马佳光 +1 位作者 王强 吴琼雁 《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第7期1-3,10,共4页
提出一种传递函数辨识方法。该方法使用非线性最小二乘曲线拟合法,结合控制对象的传递函数模型选取参数初始值,针对不同的频率特性分段拟合。使用该方法可以将复杂的控制系统频率特性转化为高精度的传递函数。在系统的中低频段内获得幅... 提出一种传递函数辨识方法。该方法使用非线性最小二乘曲线拟合法,结合控制对象的传递函数模型选取参数初始值,针对不同的频率特性分段拟合。使用该方法可以将复杂的控制系统频率特性转化为高精度的传递函数。在系统的中低频段内获得幅频±1dB和相频±1°的传递函数辨识精度。由此设计的数字补偿器有效补偿了机械谐振带来的影响,扩宽了控制系统的闭环带宽。传递函数辨识方法摆脱了数字补偿器设计依赖手工调试的状况,并可以提供复杂的数字补偿器以得到高性能的控制系统。 展开更多
关键词 传递函数 快速控制反射镜 最小二乘曲线拟合法 数字补偿器 辨识方法 控制系统 模型选取 控制对象 分段拟合 频率特性 特性转化 系统频率 辨识精度 机械谐振 闭环带宽 非线性 初始值 高精度 低频段 在系统 设计
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音圈电机驱动的快速控制反射镜高带宽控制 被引量:35
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作者 吴琼雁 王强 +2 位作者 彭起 任戈 傅承毓 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2004年第8期15-18,共4页
分析一种音圈电机驱动的快速控制反射镜(FSM)的机械结构,由此建立其数学模型。依据模型,以不完全微分PID控制算法来消除结构谐振的不稳定影响,采用线性功率放大驱动方式,可使控制带宽超过其结构谐振频率,实现高带宽控制。实验表明,该方... 分析一种音圈电机驱动的快速控制反射镜(FSM)的机械结构,由此建立其数学模型。依据模型,以不完全微分PID控制算法来消除结构谐振的不稳定影响,采用线性功率放大驱动方式,可使控制带宽超过其结构谐振频率,实现高带宽控制。实验表明,该方法应用于结构谐振频率分别为90Hz和20Hz的两种快速控制反射镜,系统的抑制带宽能分别达到315Hz和240Hz,而且该方法简单可行,通用性强。 展开更多
关键词 快速控制反射镜 结构谐振 光电跟踪 音圈电机
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快速反射镜关键技术研究 被引量:33
15
作者 徐新行 杨洪波 +1 位作者 王兵 高云国 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2013年第10期1095-1103,共9页
快速反射镜(FSM)凭借其高精度、高分辨力、快响应等优点,被广泛应用于天文望远镜、自适应光学、复合轴精密跟踪等领域。尽管国内外关于FSM的研究较多,但少有对其关键技术的系统总结。首先,介绍了国内外FSM的发展现状和研究热点,分析了FS... 快速反射镜(FSM)凭借其高精度、高分辨力、快响应等优点,被广泛应用于天文望远镜、自适应光学、复合轴精密跟踪等领域。尽管国内外关于FSM的研究较多,但少有对其关键技术的系统总结。首先,介绍了国内外FSM的发展现状和研究热点,分析了FSM的主要性能指标与各组成部分之间的关系。在延用FSM传统按支撑结构不同分类方式的同时,首次提出了按功能用途不同的分类方式,并针对各类FSM的结构特点和功能用途等进行了深入探讨;然后,在明确FSM结构组成的基础上,系统阐述了FSM系统中支撑铰链、工作镜体、驱动元件、测量元件和控制系统等关键技术,首次提出将柔性铰链分为四周分散式、中心集中式及四周分散与中心集中相结合式的分类方式,并分别对驱动元件、测量元件的排布方式进行了对比分析。最后,通过对FSM系统各关键技术的归纳总结,提出了FSM向大口径、大角度、高精度、高响应和高承载等方向发展的趋势。 展开更多
关键词 快速反射镜 柔性铰链 刚性支撑 响应速度
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新型快速反射镜伺服系统设计 被引量:16
16
作者 彭树萍 于洪君 +2 位作者 王伟国 刘廷霞 周子云 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2014年第5期1610-1615,共6页
为了满足光电跟踪系统高精度跟踪的要求,针对一种新型内外框架式快速反射镜进行了详细的伺服系统设计。首先,对新型快速反射镜进行了数学建模,采用速度环与位置环相结合的双闭环控制方法,对位置校正环节和速度校正环节进行了参数设计。... 为了满足光电跟踪系统高精度跟踪的要求,针对一种新型内外框架式快速反射镜进行了详细的伺服系统设计。首先,对新型快速反射镜进行了数学建模,采用速度环与位置环相结合的双闭环控制方法,对位置校正环节和速度校正环节进行了参数设计。其次,以DSP为实现平台,详细阐述了快速反射镜伺服系统的硬件组成。再次,对快速反射镜伺服系统的工作模式和软件工作流程进行了详细说明。最后,为了验证快速反射镜伺服系统的性能,进行了锁零实验和跟踪实验。实验结果表明:快速反射镜锁零时响应快速且稳态误差小于0.3″,跟踪时跟踪误差均方根小于7″。新型快速反射镜伺服系统能够满足光电跟踪系统对快速反射镜的快速性和高精度要求。 展开更多
关键词 伺服系统 快速反射镜 跟踪精度 音圈电机
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精密光路偏转及焦距调整机构的发展 被引量:10
17
作者 朱华征 范大鹏 +1 位作者 张智永 范世珣 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2009年第10期1028-1033,共6页
介绍了压电陶瓷和音圈电机在精密光路偏转和焦距调整机构的原理和发展状况;分析了偏转与调焦机构的主要结构形式、驱动特点及其在精密偏转与调焦机构中的应用前景;指出了需要进一步开展研究的关键技术。
关键词 快速反射镜 偏转机构 压电陶瓷 调焦机构 直线电机
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万向柔性铰链连接快速反射镜的设计与仿真 被引量:11
18
作者 赵磊 纪明 +2 位作者 王佳 赵振海 王虎 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2019年第2期164-170,共7页
在高能激光武器系统中,快速反射镜作为光束指向控制的核心器件,对提高毁伤效能起到关键作用。针对扩展高能激光武器系统光束指向范围的战术需求,设计了一种万向柔性铰链连接快速反射镜系统。研究了各组成单元对快速反射镜系统性能的影... 在高能激光武器系统中,快速反射镜作为光束指向控制的核心器件,对提高毁伤效能起到关键作用。针对扩展高能激光武器系统光束指向范围的战术需求,设计了一种万向柔性铰链连接快速反射镜系统。研究了各组成单元对快速反射镜系统性能的影响因素,分析了单自由度单音圈电机驱动反射镜设计方案的可行性。在此基础上给出了音圈电机和光栅测微仪的设计依据,进行参数设计,推导了万向柔性铰链的柔度表达方程,并验证了万向柔性铰链的弯曲强度。仿真结果表明,快速反射镜系统具有±3.3°的运动行程,一阶谐振频率达到了231.04 Hz,满足了大行程、高带宽的设计要求。 展开更多
关键词 高能激光 快速反射镜 光束指向控制 万向柔性铰链
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大口径大角位移的两维高速压电倾斜反射镜 被引量:8
19
作者 凌宁 陈东红 +1 位作者 于继龙 饶学军 《量子电子学报》 CAS CSCD 1998年第2期206-211,217,共7页
两维高速压电倾斜反射镜是自适应光学系统和提高跟瞄系统精度的关键器件。本文介绍了我们研制的各种倾斜镜的性能,对于大口径大角位移的倾斜镜,谐振频率将受到口径和角位移的限制,本文分析了这些限制,并提出提高谐振频率的措施。
关键词 高速倾斜反射镜 反射镜 自适应光学
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快速反射镜系统用光栅测微仪 被引量:7
20
作者 韩旭东 徐新行 +2 位作者 王兵 王恒坤 刘长顺 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2011年第10期115-119,共5页
为了精确控制FSM系统中平面反射镜的偏转角度,研制了专用型光栅测微仪对其进行位置测量,以实现系统的闭环控制。在明确了FSM系统对测微仪应用需求的基础上,根据其技术原理,对光栅测微仪的小型滑轨、标尺光栅图案、指示光栅图案、绝对零... 为了精确控制FSM系统中平面反射镜的偏转角度,研制了专用型光栅测微仪对其进行位置测量,以实现系统的闭环控制。在明确了FSM系统对测微仪应用需求的基础上,根据其技术原理,对光栅测微仪的小型滑轨、标尺光栅图案、指示光栅图案、绝对零位编码、指示光栅移相以及接触探头分别进行了设计与选择。经精密加工、装配、调试后,所得光栅测微仪的测量范围为±2.5mm,响应频率为1000Hz,全行程测量精度优于2μm,测量分辨力优于0.06μm,并能提供绝对零点位置。工程应用实践证明:该光栅测微仪具有高精度、高分辨力、高可靠性的特点,满足FSM系统的使用要求。 展开更多
关键词 快速反射镜 光栅 微位移测量 增量式
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