期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
移相式干涉仪在锥体棱镜角度测试中的应用
被引量：
1
1
作者
郭仁慧
何勇
+1 位作者
朱日宏
高志山
《应用光学》
CAS
CSCD
2006年第5期450-454,共5页
为了实时、高精度地测试光学零件,对移相式数字波面干涉仪在锥体棱镜角度测试中的应用进行了研究。通过锥体棱镜二面角偏差计算方法得到了二面角偏差和干涉波面之间的关系,分析了干涉波面的形状与锥体棱镜综合误差的关系,编写了锥体棱...
为了实时、高精度地测试光学零件,对移相式数字波面干涉仪在锥体棱镜角度测试中的应用进行了研究。通过锥体棱镜二面角偏差计算方法得到了二面角偏差和干涉波面之间的关系,分析了干涉波面的形状与锥体棱镜综合误差的关系,编写了锥体棱镜角度和综合误差测试程序,并且在移相式数字波面干涉仪和ZYGO干涉仪上分别对锥体棱镜进行测试,给出了2者的比较测试结果。结果表明,移相式数字波面干涉仪测量锥体棱镜二面角偏差的误差在0.3″范围内,RM S值的测量误差在λ/50内;提出的方法可实现检测过程的自动化。
展开更多
关键词
移相式干涉仪
锥体棱镜
角度误差
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
移相式干涉仪在锥体棱镜角度测试中的应用
被引量：
1
1
作者
郭仁慧
何勇
朱日宏
高志山
机构
南京理工大学电光学院
出处
《应用光学》
CAS
CSCD
2006年第5期450-454,共5页
基金
江苏省现代光学技术重点实验室开放课题(T8108030)
文摘
为了实时、高精度地测试光学零件,对移相式数字波面干涉仪在锥体棱镜角度测试中的应用进行了研究。通过锥体棱镜二面角偏差计算方法得到了二面角偏差和干涉波面之间的关系,分析了干涉波面的形状与锥体棱镜综合误差的关系,编写了锥体棱镜角度和综合误差测试程序,并且在移相式数字波面干涉仪和ZYGO干涉仪上分别对锥体棱镜进行测试,给出了2者的比较测试结果。结果表明,移相式数字波面干涉仪测量锥体棱镜二面角偏差的误差在0.3″范围内,RM S值的测量误差在λ/50内;提出的方法可实现检测过程的自动化。
关键词
移相式干涉仪
锥体棱镜
角度误差
Keywords
phase-shifting interferometer cone cube reflector（ccr） angle error
分类号
TN274 [电子电信—物理电子学]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
移相式干涉仪在锥体棱镜角度测试中的应用
郭仁慧
何勇
朱日宏
高志山
《应用光学》
CAS
CSCD
2006
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
