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The 18.3% Silicon Solar Cells with Nano-Structured Surface and Rear Emitter
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作者 Jun-Na Zhang Lei Wang +3 位作者 Zhun Dai Xun Tang You-Bo Liu De-Ren Yang 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2017年第2期122-125,共4页
A nano-structured surface is formed on the pyramid structure of n-type silicon solar cells by size-controlled silver nano-particle assisted etching. Such a nano-structure creates a front average weighted reflectance o... A nano-structured surface is formed on the pyramid structure of n-type silicon solar cells by size-controlled silver nano-particle assisted etching. Such a nano-structure creates a front average weighted reflectance of less than 2.5% in the 300-1200nm range due to the broadband reflection suppression. The sodium hydroxide is used to obtain the low-area surface by post-etching the nano-structure, thus the severe carrier recombination associated with the nano-structured surface could be reduced. After emitter forming, screen printing and firing by means of the industrial fabrication protocol, an 18.3%-efficient nano-structured silicon solar cell with rear emitter is fabricated. The process of fabricating the solar cells matches well with industrial manufacture and shows promising prospects. 展开更多
关键词 The 18.3 Silicon solar cells with Nano-Structured Surface and rear emitter
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Back interface passivation for ultrathin Cu(In,Ga)Se_(2) solar cells with Schottky back contact: A trade-off of electrical effects 被引量:1
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作者 涂野 李勇 殷官超 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2023年第6期621-628,共8页
Back interface passivation reduces the back recombination of photogenerated electrons, whereas aggravates the blocking of hole transport towards back contact, which complicate the back interface engineering for ultrat... Back interface passivation reduces the back recombination of photogenerated electrons, whereas aggravates the blocking of hole transport towards back contact, which complicate the back interface engineering for ultrathin CIGSe solar cells with a Schottky back contact. In this work, theoretical explorations were conducted to study how the two contradictory electrical effects impact cell performance. For ultrathin CIGSe solar cells with a pronounced Schottky potential barrier(E_(h)> 0.2 eV), back interface passivation produces diverse performance evolution trends, which are highly dependent on cell structures and properties. Since a back Ga grading can screen the effect of reduced recombination of photogenerated electrons from back interface passivation, the hole blocking effect predominates and back interface passivation is not desirable. However, when the back Schottky diode merges with the main pn junction due to a reduced absorber thickness,the back potential barrier and the hole blocking effect is much reduced on this occasion. Consequently, cells exhibit the same efficiency evolution trend as ones with an Ohmic contact, where back interface passivation is always advantageous.The discoveries imply the complexity of back interface passivation and provide guidance to manipulate back interface for ultrathin CIGSe solar on TCOs with a pronounced Schottky back contact. 展开更多
关键词 ultrathin cigse solar cells Schottky back contact back interface passivation back recombination hole blocking
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The n-type Si-based materials applied on the front surface of IBC-SHJ solar cells 被引量:1
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作者 Jianhui Bao Ke Tao +2 位作者 Yiren Lin Rui Jia Aimin Liu 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2019年第9期353-358,共6页
Interdigitated back contact silicon hetero-junction(IBC-SHJ) solar cells exhibit excellent performance owing to the IBC and SHJ structures.The front surface field(FSF) layer composed of electric field passivation and ... Interdigitated back contact silicon hetero-junction(IBC-SHJ) solar cells exhibit excellent performance owing to the IBC and SHJ structures.The front surface field(FSF) layer composed of electric field passivation and chemical passivation has been proved to play an important role in IBC-SHJ solar cells.The electric field passivated layer n^+-a-Si: H, an n-type Si alloy with carbon or oxygen in amorphous phase, is simulated in this study to investigate its effect on IBC-SHJ.It is indicated that the n^+-a-Si: H layer with wider band gap can reduce the light absorption on the front side efficaciously,which hinders the surface recombination of photo-generated carriers and thus contributes to the improvement of the short circuit current density Jsc.The highly doped n^+-a-Si: H can result in the remakable energy band bending, which makes it outstanding in the field passivation, while it makes little contribution to the chemical passivation.It is noteworthy that when the electric field intensity exceeds 1.3 × 10^5 V/cm, the efficiency decrease caused by the inferior chemical passivation is only 0.16%.In this study, the IBC-SHJ solar cell with a front n^+-a-Si: H field passivation layer is simulated, which shows the high efficiency of 26% in spite of the inferior chemical passivation on the front surface. 展开更多
关键词 Si-based doped materials PASSIVATION interdigitated BACK contact silicon hetero-junction(IBC-SHJ) solar cell simulation
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Atomic layer deposition enabling higher efficiency solar cells:A review 被引量:3
4
作者 MdAnower Hossain Kean Thong Khoo +5 位作者 Xin Cui Geedhika K Poduval Tian Zhang Xiang Li Wei Min Li Bram Hoex 《Nano Materials Science》 CAS 2020年第3期204-226,共23页
Atomic layer deposition(ALD)can synthesise materials with atomic-scale precision.The ability to tune the material composition,film thickness with excellent conformality,allow low-temperature processing,and in-situ rea... Atomic layer deposition(ALD)can synthesise materials with atomic-scale precision.The ability to tune the material composition,film thickness with excellent conformality,allow low-temperature processing,and in-situ real-time monitoring makes this technique very appealing for a wide range of applications.In this review,we focus on the application of ALD layers in a wide range of solar cells.We focus on industrial silicon,thin film,organic and quantum dot solar cells.It is shown that the merits of ALD have already been exploited in a wide range of solar cells at the lab scale and that ALD is already applied in high-volume manufacturing of silicon solar cells. 展开更多
关键词 Atomic layer deposition Transition metal oxides solar cells contact resistivity Surface passivation Carrier selectivity
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PERC结构多晶硅太阳电池的研究 被引量:10
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作者 赵素香 张松 +2 位作者 王振交 李果华 季静佳 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2012年第12期939-942,968,共5页
高效、低成本是目前硅太阳电池追求的主要目标。多晶硅太阳电池成本低,但其电性能较差。背面钝化及局部背接触是提高多晶硅太阳电池电性能的主要技术。通过采用SiO2/SiNx叠层膜作为背钝化介质层,依次经过背面开槽、丝网印刷、烧结形成... 高效、低成本是目前硅太阳电池追求的主要目标。多晶硅太阳电池成本低,但其电性能较差。背面钝化及局部背接触是提高多晶硅太阳电池电性能的主要技术。通过采用SiO2/SiNx叠层膜作为背钝化介质层,依次经过背面开槽、丝网印刷、烧结形成背面局部接触,制备钝化发射极和背表面电池(PERC)结构多晶硅太阳电池。采用恒光源I-V特性测试系统测试其电性能,结果表明:较之常规铝背场多晶硅太阳电池,PERC结构电池在开路电压Voc、短路电流密度Jsc、转换效率η方面分别提高了13 mV、1.8 mA/cm2和0.67%(绝对值),其转换效率达到17.27%。PERC结构多晶硅电池采用了常规丝网印刷工艺,有利于实现高效多晶硅电池的产业化生产,具有很高的实际意义。 展开更多
关键词 多晶硅太阳电池 背面钝化 背面局部接触 钝化发射极和背表面电池(PERC) SIO2 SiNx叠层膜
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PERC电池EL黑斑对于光伏组件性能的影响 被引量:3
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作者 杨博 赵勇 +3 位作者 谢小军 董国伟 温友超 张瑞刚 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第12期97-102,共6页
目前国内光伏电站使用的主流组件为单晶PERC(passivated emitter rear cell)组件,PERC电池结构特点决定其对硅片表面状态非常敏感,背面钝化膜与硅片间出现任何异常或污染,均会导致PERC电池EL下出现黑斑或黑点。设计对比试验,通过量子效... 目前国内光伏电站使用的主流组件为单晶PERC(passivated emitter rear cell)组件,PERC电池结构特点决定其对硅片表面状态非常敏感,背面钝化膜与硅片间出现任何异常或污染,均会导致PERC电池EL下出现黑斑或黑点。设计对比试验,通过量子效率测试以及LBIC分析,研究黑斑对于电池片性能的影响,再用多个电池片封装成组件,通过LID试验分析PERC电池EL黑斑对于组件性能的影响,结果表明黑斑对于电池片性能的影响较小,通过CTM分析在同样投入成本的情况下,组件制造厂家可通过减少EL黑斑组件来增加自己的产能和利润,而PERC电池EL黑斑对于光伏组件光致衰减的影响很大,而且不可逆,这说明EL黑斑主要是杂质金属污染所致,这也更深入的解释了EL黑斑形成的原因,对于工程设备的质量把控和监造提供理论支撑。 展开更多
关键词 单晶硅 量子效率 电致发光(EL) PERC 黑斑 光致衰减
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PERC电池背表面钝化的PC1D仿真分析 被引量:4
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作者 李宁 谷书辉 任丙彦 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第8期2273-2278,共6页
采用PC1D软件仿真分析钝化发射极及背接触(passivation emitter and rear contact,PERC)电池;模拟结果表明:降低电池的背表面复合速率有利于增强电池性能、提高电池长波响应。PERC电池由于背表面钝化可采用较低的背场厚度;背钝化层... 采用PC1D软件仿真分析钝化发射极及背接触(passivation emitter and rear contact,PERC)电池;模拟结果表明:降低电池的背表面复合速率有利于增强电池性能、提高电池长波响应。PERC电池由于背表面钝化可采用较低的背场厚度;背钝化层中的表面电荷对高背表面复合速率的电池性能的提升作用显著,但在背表面复合速率较低时影响不大;实测得到PERC电池比常规全铝背接触电池的开路电压和短路电流分别增大1.56%和2.56%。 展开更多
关键词 太阳电池 表面电荷 钝化 钝化发射极及背局域接触电池
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背接触太阳电池发射区设计及可靠性研究 被引量:2
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作者 周涛 陆晓东 +1 位作者 吴元庆 夏婷婷 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2015年第10期775-782,共8页
利用Silvaco-TCAD仿真软件全面系统地分析了不同发射区表面浓度和结深对n型插指背接触(IBC)太阳电池短路电流、开路电压、填充因子及转换效率的影响。借鉴双极半导体器件抗二次击穿技术,详细分析了不同发射区结深、发射区边缘刻蚀技术... 利用Silvaco-TCAD仿真软件全面系统地分析了不同发射区表面浓度和结深对n型插指背接触(IBC)太阳电池短路电流、开路电压、填充因子及转换效率的影响。借鉴双极半导体器件抗二次击穿技术,详细分析了不同发射区结深、发射区边缘刻蚀技术和发射区边缘选择性掺杂技术对IBC电池热击穿特性的影响。结果表明:发射区表面浓度越大、结深越深,IBC电池效率越高。当发射区表面浓度为5×1020cm-3、结深为1μm时,转换效率高达23.35%。同时,深结发射区也有助于改善IBC电池的热击穿特性。发射区边缘刻蚀结构不具有改善IBC电池热击穿特性的作用,而发射区边缘选择性掺杂结构可有效改善IBC电池的热击穿特性,从而提高IBC太阳电池组件的可靠性。 展开更多
关键词 背接触 太阳电池 发射区 表面浓度 结深 转换效率 热击穿
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聚光背结背接触太阳电池发射区半宽度的优化研究 被引量:1
9
作者 周涛 陆晓东 +1 位作者 吴元庆 李媛 《高技术通讯》 北大核心 2017年第1期88-94,共7页
利用TCAD半导体器件仿真软件对中低倍聚光光伏系统中应用的N型叉指背接触(IBC)单晶硅太阳电池的电学性能进行了仿真研究。全面系统地分析了在不同聚光比情况下,单元电池发射区半宽度对聚光IBC太阳电池短路电流密度、开路电压、填充因子... 利用TCAD半导体器件仿真软件对中低倍聚光光伏系统中应用的N型叉指背接触(IBC)单晶硅太阳电池的电学性能进行了仿真研究。全面系统地分析了在不同聚光比情况下,单元电池发射区半宽度对聚光IBC太阳电池短路电流密度、开路电压、填充因子及转换效率的影响。仿真结果表明:聚光IBC太阳电池的电学性能受到单元电池发射区半宽度和聚光比的显著影响。在不同的聚光比情况下,存在最优的发射区半宽度,使得聚光IBC太阳电池转换效率最高。随着聚光比的增大,最优的发射区半宽度减小。虽然增大聚光比可提高聚光IBC太阳电池的转换效率,但同时减小了最优的发射区半宽度及参考范围,增加了聚光IBC太阳电池的制备难度。 展开更多
关键词 背接触 太阳电池 聚光比 发射区半宽度 转换效率 优化
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PERL硅太阳电池的性能及结构特点 被引量:4
10
作者 史济群 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1994年第2期97-99,共3页
报道了PERL硅太阳电池的研制结果,在AM1.5、25℃条件下,电池效率=23.76%。阐述其结构设计上的主要特点,并分析了高性能的机理。
关键词 硅太阳能电池 性能 结构
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激光开槽埋槽电极硅太阳电池的性能及分析 被引量:3
11
作者 史济群 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1994年第1期7-11,共5页
报道了面积为45cm2的激光开槽、埋槽电极硅太阳电池的研制情况。在AM1.5、25℃、100mWcm-2的条件下,测试36片该类太阳电池,其输出参数的平均值为:Jsc=36.1mAcm-2,Voc=633mV,F.F... 报道了面积为45cm2的激光开槽、埋槽电极硅太阳电池的研制情况。在AM1.5、25℃、100mWcm-2的条件下,测试36片该类太阳电池,其输出参数的平均值为:Jsc=36.1mAcm-2,Voc=633mV,F.F.=0.798,η=18.23%。最后,分析了该类电池特有的工艺及结构设计的作用机理。 展开更多
关键词 激光开槽 埋槽电极 太阳能电池
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高效背接触太阳电池反向热击穿特性研究
12
作者 周涛 陆晓东 +1 位作者 吴元庆 李媛 《高技术通讯》 CAS CSCD 北大核心 2015年第12期1076-1082,共7页
基于非等温能量平衡传输模型,利用TCAD半导体器件仿真软件对N型插指背接触(IBC)单晶硅太阳电池反向输出特性进行了仿真研究。通过光电转换效率和反向热击穿特性对IBC太阳电池的性能进行综合评价。全面系统地分析了不同衬底电阻率、发射... 基于非等温能量平衡传输模型,利用TCAD半导体器件仿真软件对N型插指背接触(IBC)单晶硅太阳电池反向输出特性进行了仿真研究。通过光电转换效率和反向热击穿特性对IBC太阳电池的性能进行综合评价。全面系统地分析了不同衬底电阻率、发射区表面浓度、发射结结深对IBC电池反向热击穿特性和转换效率的影响。借鉴双极功率半导体器件的抗二次击穿技术并应用于IBC电池,详细分析了发射区边缘刻蚀结构对IBC电池反向热击穿特性的影响。仿真结果表明:高晶硅衬底电阻率、低发射区表面浓度有利于改善IBC电池的反向热击穿特性,但不利于电池转换效率的提高。深结发射区不仅有利于改善IBC电池的热击穿特性,而且有利于电池转换效率的提高。当发射区边缘柱面结未被完全刻蚀时,不具有改善IBC电池反向热击穿特性的作用。当发射区边缘柱面结被完全刻蚀时,随着横向刻蚀距离的增大,热击穿临界电压增大。 展开更多
关键词 背接触 太阳电池 电阻率 发射区 表面浓度 结深 刻蚀 热击穿
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SiN_x∶H/Al复合膜层在背点接触太阳电池中的应用
13
作者 陈达明 梁宗存 +3 位作者 沈辉 杨灼坚 梁学勤 邹禧武 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第4期472-475,共4页
尝试将SiNx∶H/Al复合膜层应用到晶体硅太阳电池的背部结构上。首先利用PECVD在硅片背面沉积一层SiNx∶H薄膜,然后在SiNx∶H薄膜上丝网印刷Al层,构成SiNx∶H/Al复合膜层。研究了具有SiNx∶H/Al复合膜层结构的硅片的光学内背反射性能,测... 尝试将SiNx∶H/Al复合膜层应用到晶体硅太阳电池的背部结构上。首先利用PECVD在硅片背面沉积一层SiNx∶H薄膜,然后在SiNx∶H薄膜上丝网印刷Al层,构成SiNx∶H/Al复合膜层。研究了具有SiNx∶H/Al复合膜层结构的硅片的光学内背反射性能,测得其内背反射率达88.9%。并从理论上设计出基于SiNx∶H/Al复合膜层的背点接触太阳电池最优结构,并从实验上制备出这种背点接触太阳电池,初期效率达12.36%。最后,提出了背点接触太阳电池工艺的改进方案。 展开更多
关键词 SiNx:H/Al复合膜层 丝网印刷 内背反射率 背点接触太阳电池
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高效单晶硅太阳电池的最新进展及发展趋势 被引量:36
14
作者 陈俊帆 赵生盛 +6 位作者 高天 徐玉增 张力 丁毅 张晓丹 赵颖 侯国付 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第1期110-116,共7页
晶体硅太阳电池是目前光伏市场的主流产品,其又可分为多晶硅电池和单晶硅(c-Si)电池。目前,多晶硅电池成本较低,市场份额较大,但其效率较低;单晶硅电池成本相对偏高,但其效率更高,市场份额小于多晶硅电池。随着硅材料和硅片切割技术的进... 晶体硅太阳电池是目前光伏市场的主流产品,其又可分为多晶硅电池和单晶硅(c-Si)电池。目前,多晶硅电池成本较低,市场份额较大,但其效率较低;单晶硅电池成本相对偏高,但其效率更高,市场份额小于多晶硅电池。随着硅材料和硅片切割技术的进步,单晶硅片的成本持续下降,且未来市场对高效率的高端光伏产品需求日益增长。因此,高效率的单晶硅电池将受到更多的关注。为进一步提高单晶硅太阳电池的效率,近几年的研究工作主要集中于提高硅片质量来降低体缺陷,寻找新型钝化材料来降低表面和界面缺陷,开发先进的减反技术(新型的绒面陷光结构和材料)以提高光的利用率,引入低电阻金属化技术降低串联电阻,优化PN结制备技术以及器件结构等。2014年至今,单晶硅太阳电池的转换效率得到连续突破。目前,最高效率是日本Kaneka公司创造的26.6%,其他效率达到或者超过25%的晶硅电池包括钝化发射极背面局部场接触(PERL)电池、交叉指式背接触(IBC)电池、硅异质结(SHJ)电池、交叉指式背接触异质结(HBC)电池、隧穿氧化层钝化接触(TOPCon)电池、多晶硅氧化物选择钝化接触(POLO)电池等。分析这些典型电池的关键技术可以发现,栅线电极与c-Si的金属-半导体接触复合成为影响电池效率的关键因素。为减小这些复合,一方面通过电池背面局部开孔来减小金属与c-Si直接接触的面积,包括钝化发射极背场点接触(PERC)、PERL、钝化发射极和背面全扩散(PERT)等电池。另一方面则是开发既能够实现优异的表面钝化,同时又无需开孔便可分离与输运载流子的新型载流子选择性钝化接触技术,如SHJ电池、TOPCon电池等。此外,采用交叉指式背接触技术与其他电池结构结合则是最大限度提高光利用率的必然选择,包括IBC电池和HBC电池。本文介绍了当前国际上转化效率达到或超过25%的典型高效单晶硅太阳电池,分别对其器件结构、核心工艺、关键材料等进行了分析,在总结这些高效单晶硅太阳电池各自特点的基础上对该领域的发展前景进行了展望。 展开更多
关键词 单晶硅太阳电池 减反技术 新型钝化材料 载流子选择性钝化接触 交叉指式背接触
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低损伤选择性发射极太阳电池激光工艺 被引量:4
15
作者 宋帅迪 赵广全 +2 位作者 杨冬琴 张竹青 王强 《半导体技术》 CAS 北大核心 2019年第11期893-898,共6页
钝化发射极及背面接触(PERC)太阳电池技术叠加激光选择性发射极(SE)制备工艺是近年发展起来的提升PERC太阳电池效率的有效方法之一,但是在SE的制备过程中易发生磷硅玻璃(PSG)层被激光烧蚀的现象,导致电池性能下降。通过研究激光波长、... 钝化发射极及背面接触(PERC)太阳电池技术叠加激光选择性发射极(SE)制备工艺是近年发展起来的提升PERC太阳电池效率的有效方法之一,但是在SE的制备过程中易发生磷硅玻璃(PSG)层被激光烧蚀的现象,导致电池性能下降。通过研究激光波长、脉冲频率、激光功率和扫描速度对硅片表面形貌、表面方块电阻、电池性能的影响,探索高效率、低损伤SE太阳电池的制备方法。实验结果表明,在激光波长为1 064 nm、激光功率为2 W、脉冲频率为30 Hz条件下可获得最佳电池性能,SE太阳电池光电转换效率最高达到22.01%,与传统工艺制备的太阳电池相比提升约0.51%。 展开更多
关键词 选择性发射极(SE)太阳电池 激光 选择性掺杂 钝化发射极及背面接触(PERC) 磷硅玻璃(PSG)
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背面点接触结构在晶体硅太阳电池中的应用 被引量:5
16
作者 陶路平 陈达明 洪瑞江 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第13期124-129,共6页
背面点接触结构晶体硅太阳电池是实验室高效电池的一种。介绍了目前研究较多的两种背面点接触晶体硅太阳电池,比较了几种背部结构的设计方法和制造工艺,包括背面钝化层的材料选择、背反射层的光学性能、去背结技术以及点电极结构的设计... 背面点接触结构晶体硅太阳电池是实验室高效电池的一种。介绍了目前研究较多的两种背面点接触晶体硅太阳电池,比较了几种背部结构的设计方法和制造工艺,包括背面钝化层的材料选择、背反射层的光学性能、去背结技术以及点电极结构的设计等。并展望了背面点接触太阳电池在工业生产上的前景。 展开更多
关键词 背面点电极 晶体硅太阳电池 背面钝化
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MWT和EWT背接触太阳电池结构及其技术发展 被引量:4
17
作者 林阳 高云 +3 位作者 贾锐 陈宝钦 孟彦龙 李昊峰 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2012年第1期12-21,共10页
主要介绍了两种高效前结背接触太阳电池即金属电极绕通(metal wrap through,MWT)太阳电池和发射极电极绕通(emitter wrap through,EWT)太阳电池的基本结构以及其关键技术构成。这两种太阳电池是目前较为高端的两种电池类型,单个电池效... 主要介绍了两种高效前结背接触太阳电池即金属电极绕通(metal wrap through,MWT)太阳电池和发射极电极绕通(emitter wrap through,EWT)太阳电池的基本结构以及其关键技术构成。这两种太阳电池是目前较为高端的两种电池类型,单个电池效率能达到20%左右,组件效率能达到17%,其主要优点在于实现了共面拼装和减小了正面遮光损耗,可以应用于大规模生产。针对MWT和EWT两种电池的一些关键技术,总结了两种电池的技术共性,如激光打孔、制绒、扩散、钝化和表面电极制备等工艺,提出了其各项关键技术存在的问题并进行了发展展望。 展开更多
关键词 太阳电池 背接触太阳电池 金属电极绕通(MWT) 发射极电极绕通(EWT) 高效电池
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PERL结构单晶硅太阳电池的研究 被引量:2
18
作者 陈丽萍 王永谦 +6 位作者 钱洪强 陆红艳 陈如龙 杨健 李果华 朱景兵 施正荣 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第12期2170-2174,共5页
通过采用SiO2/SiNx叠层膜作为背钝化介质层,PECVD沉积掺硼氧化硅结合激光掺杂形成局部背场,依次经过背面溅射铝、低温烧结形成背面电极,电镀形成正面电极制备PERL结构单晶硅太阳电池。对比不同清洗条件对表面钝化的影响,背面电极不同烧... 通过采用SiO2/SiNx叠层膜作为背钝化介质层,PECVD沉积掺硼氧化硅结合激光掺杂形成局部背场,依次经过背面溅射铝、低温烧结形成背面电极,电镀形成正面电极制备PERL结构单晶硅太阳电池。对比不同清洗条件对表面钝化的影响,背面电极不同烧结条件对单晶PERL电池电性能的影响,优化后单晶电池转换效率可达20.36%。 展开更多
关键词 单晶硅太阳电池 背面钝化 激光掺杂 钝化发射极背面局域扩散(PERL)
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Al_(2)O_(3)/SiO_(x)N_(y)/SiN_(x)叠层钝化膜对PERC太阳电池性能及LID效应的研究 被引量:2
19
作者 凡金星 陈达明 +2 位作者 许林云 杨言华 周宏平 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第7期122-127,共6页
由于等离子体增强化学的气相沉积(PECVD)法制备的SiO_(x)N_(y)薄膜中含有大量H原子,因而具有优异的表面钝化性能。通过在PERC太阳电池的Al_(2)O_(3)/SiN_(x)背钝化叠层中间插入一层SiO_(x)N_(y)薄膜,形成Al_(2)O_(3)/SiO_(x)N_(y)/SiN_... 由于等离子体增强化学的气相沉积(PECVD)法制备的SiO_(x)N_(y)薄膜中含有大量H原子,因而具有优异的表面钝化性能。通过在PERC太阳电池的Al_(2)O_(3)/SiN_(x)背钝化叠层中间插入一层SiO_(x)N_(y)薄膜,形成Al_(2)O_(3)/SiO_(x)N_(y)/SiN_(x)结构,可避免SiN_(x)所带的固定正电荷对Al_(2)O_(3)负电荷场钝化效应的负面影响。试验结果表明,硅片少子寿命从原来的130μs提高至162μs,电池转换效率增加0.09%。同时,基于Al_(2)O_(3)/SiO_(x)N_(y)/SiN_(x)背钝化的PERC太阳电池的LID也得到了改善,由对照组的1.83%下降到实验组的1.09%。 展开更多
关键词 PERC太阳电池 背钝化 SiO_(x)N_(y) LID 叠层膜 场钝化
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聚苯乙烯微球辅助制备超薄PERC太阳电池 被引量:1
20
作者 王明明 沈鸿烈 +3 位作者 陈春明 唐群涛 顾浩 任学明 《微纳电子技术》 北大核心 2019年第5期341-345,363,共6页
利用旋涂法将自制的聚苯乙烯(PS)微球涂覆到不同厚度的单晶硅片上,作为钝化发射极和背面电池(PERC)的背接触开口的掩模,然后用快速热退火工艺使PS微球挥发形成PERC电池的背接触开口,最后用磁控溅射在PERC电池背面生长一层Ag电极。利用... 利用旋涂法将自制的聚苯乙烯(PS)微球涂覆到不同厚度的单晶硅片上,作为钝化发射极和背面电池(PERC)的背接触开口的掩模,然后用快速热退火工艺使PS微球挥发形成PERC电池的背接触开口,最后用磁控溅射在PERC电池背面生长一层Ag电极。利用该方法制备了面积为40 mm×40 mm、厚度分别为40、55和70μm的三种超薄单晶PERC太阳电池。制备的超薄太阳电池未出现任何翘曲。超薄太阳电池的电流密度-开路电压(Jsc-Voc)曲线和外量子效率(EQE)曲线测试结果表明,随着电池厚度的减小,电池的转换效率随之下降。其中,40μm厚的电池转换效率最高达13.6%,平均转换效率为13.3%,并展现出良好的柔韧性,极限弯曲角度达到135°。 展开更多
关键词 太阳电池 聚苯乙烯(PS)微球 超薄 钝化发射极和背面电池(PERC) 翘曲 柔韧性
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