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PARTITION OF UNITY FINITE ELEMENT METHOD FOR SHORT WAVE PROPAGATION IN SOLIDS 被引量:2
1
作者 李锡夔 周浩洋 《应用数学和力学》 EI CSCD 北大核心 2005年第8期965-971,共7页
A partition of unity finite element method for numerical simulation of short wave propagation in solids is presented. The finite element spaces were constructed by multiplying the standard isoparametric finite element... A partition of unity finite element method for numerical simulation of short wave propagation in solids is presented. The finite element spaces were constructed by multiplying the standard isoparametric finite element shape functions, which form a partition of unity, with the local subspaces defined on the corresponding shape functions, which include a priori knowledge about the wave motion equation in trial spaces and approximately reproduce the highly oscillatory properties within a single element. Numerical examples demonstrate the performance of the proposed partition of unity finite element in both computational accuracy and efficiency. 展开更多
关键词 短波传播 固体介质 单位分解有限元法
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EXPANDABLE PARALLEL FINITE ELEMENT METHODS FOR LINEAR ELLIPTIC PROBLEMS 被引量:1
2
作者 Guangzhi DU 《Acta Mathematica Scientia》 SCIE CSCD 2020年第2期572-588,共17页
In this article,two kinds of expandable parallel finite element methods,based on two-grid discretizations,are given to solve the linear elliptic problems.Compared with the classical local and parallel finite element m... In this article,two kinds of expandable parallel finite element methods,based on two-grid discretizations,are given to solve the linear elliptic problems.Compared with the classical local and parallel finite element methods,there are two attractive features of the methods shown in this article:1)a partition of unity is used to generate a series of local and independent subproblems to guarantee the final approximation globally continuous;2)the computational domain of each local subproblem is contained in a ball with radius of O(H)(H is the coarse mesh parameter),which means methods in this article are more suitable for parallel computing in a large parallel computer system.Some a priori error estimation are obtained and optimal error bounds in both H^1-normal and L^2-normal are derived.Finally,numerical results are reported to test and verify the feasibility and validity of our methods. 展开更多
关键词 Two-grid method expandable method partition of unity parallel algorithm finite element method
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有限元强度折减法分析软基边坡稳定性
3
作者 尼珂 王海建 《云南水力发电》 2024年第7期33-38,共6页
有限元强度折减法在均质土坡和岩石边坡中已有较多的研究和应用,但应用到强度较低的软基边坡,其模型网格划分和边界条件,与均质边坡有所不同。经对比研究得出软基边坡模型的网格节点密度达到每米2点较为适宜,模型边界应以修正后的坡高H... 有限元强度折减法在均质土坡和岩石边坡中已有较多的研究和应用,但应用到强度较低的软基边坡,其模型网格划分和边界条件,与均质边坡有所不同。经对比研究得出软基边坡模型的网格节点密度达到每米2点较为适宜,模型边界应以修正后的坡高H来界定。结合具体工程案例,利用有限元强度折减法复核其稳定,并与极限平衡法进行了对比,结果表明前述网格划分和模型边界设置较为适宜,且有限元强度折减法可以较好的反映边坡应力应变分布。 展开更多
关键词 有限元强度折减法 软基 边坡稳定 网格划分 边界条件 屈服准则
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广义有限元方法研究进展 被引量:18
4
作者 李录贤 刘书静 +2 位作者 张慧华 陈方方 王铁军 《应用力学学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第1期96-108,共13页
广义有限元方法是常规有限元方法在思想上的延伸,它基于单位分解方法,通过在结点处引入广义自由度,对结点自由度进行再次插值,从而提高有限元方法的逼近精度,或满足对特定问题的特殊逼近要求。基于广义有限元方法对单元形状函数构造理... 广义有限元方法是常规有限元方法在思想上的延伸,它基于单位分解方法,通过在结点处引入广义自由度,对结点自由度进行再次插值,从而提高有限元方法的逼近精度,或满足对特定问题的特殊逼近要求。基于广义有限元方法对单元形状函数构造理论的深入研究,具有任意内部特征(空洞、夹杂、裂纹等)及外部特征(凹角、角点、棱边等)的复杂问题,都将在简单、且与区域无关的有限元网格上加以求解。本文主要介绍广义有限元方法的基本思想、主要特征及对重要细节的处理策略,包括线性相关性的处理、局部逼近函数的获取、区域上的数值积分技术以及边界条件的处理。与扩展有限元方法和有限覆盖方法比较,分析它们各自的特点。综述广义有限元方法的研究现状、应用,展望广义有限元方法的未来发展。 展开更多
关键词 常规有限元方法(CFEM) 单位分解法(PUM) 广义有限元方法(GFEM) 扩展有限元方法(XFEM) 有限覆盖方法(FCM)
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三类边坡失稳判据的统一性 被引量:26
5
作者 涂义亮 刘新荣 +2 位作者 钟祖良 杜立兵 王鹏 《岩土力学》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第1期173-180,190,共9页
将热力学理论中材料破坏的能量机制引入边坡工程中,推导了强度折减过程中边坡的能量方程,利用FLAC^(3D)二次开发了能量的计算程序,并应用于某经典边坡算例中。通过与Spencer法的计算结果对比发现:强度折减法中边坡的稳定性与能量变化关... 将热力学理论中材料破坏的能量机制引入边坡工程中,推导了强度折减过程中边坡的能量方程,利用FLAC^(3D)二次开发了能量的计算程序,并应用于某经典边坡算例中。通过与Spencer法的计算结果对比发现:强度折减法中边坡的稳定性与能量变化关系紧密,由此提出了4种新的失稳判据——能量突变失稳判据,且4种能量突变失稳判据理论上是统一的。通过对比发现:动能突变判据与数值计算收敛性判据、重力势能降突变判据与特征点垂直位移突变判据、耗散能增量突变判据与塑性区贯通判据分别存在对应关系,证明了常见的3类失稳判据也是统一的。通过算例试算发现,3类判据判定结果不相等主要是由收敛标准和网格精度等人为因素造成的,本质上是因为数值计算是一种近似解。工程应用中,可通过3类失稳判据判定结果的一致性来自评安全系数的计算精度,一致性越好,精度越高。提高计算精度的根本办法是严格收敛标准和精细网格划分,但应同时兼顾数值计算的时长,从而实现计算效率最大化。 展开更多
关键词 边坡 有限元强度折减法 失稳判据 能量 统一性
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基于单位分解法的无网格数值流形方法 被引量:47
6
作者 李树忱 程玉民 《力学学报》 EI CSCD 北大核心 2004年第4期496-500,共5页
在数值流形方法和单位分解法的基础上,提出了无网格数值流形方法,无网格数值流形方法在分析时采用了双重覆盖系统,即数学覆盖和物理覆盖,数学覆盖提供的节点形成求解域的有限覆盖和单位分解函数;而物理覆盖描述问题的几何区域及其域内... 在数值流形方法和单位分解法的基础上,提出了无网格数值流形方法,无网格数值流形方法在分析时采用了双重覆盖系统,即数学覆盖和物理覆盖,数学覆盖提供的节点形成求解域的有限覆盖和单位分解函数;而物理覆盖描述问题的几何区域及其域内不连续性,与原有的数值流形方法相比,无网格数值流形方法的数学覆盖形状更加灵活,可以用一系列节点的影响域来建立数学覆盖和单位分解函数,具有无网格方法的特性,从而摆脱了传统的数值流形方法中网格所带来的困难,与无网格方法相比,由于采用了有限覆盖技术,试函数的构造不受域内不连续的影响,克服了原有的无网格方法在处理不连续问题时所遇到的困难,详细推导了无网格数值流形方法的试函数和求解方程,最后给出了算例,验证了该方法的正确性。 展开更多
关键词 数值流形法 单位分解法 无网格法 有限覆盖技术 不连续性
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基于虚节点的多边形有限元法 被引量:5
7
作者 唐旭海 吴圣川 +1 位作者 郑超 张建海 《应用数学和力学》 EI CSCD 北大核心 2009年第10期1153-1164,共12页
虚节点法是一种新的基于单位分解理论的多边形有限元法.将虚节点法应用于求解弹性力学问题,并且通过大量数值实验测试虚节点法的计算效果.因为虚节点法具有多项式形式,所以有效地降低了传统多边形有限元法的积分误差.数值实验证明,在分... 虚节点法是一种新的基于单位分解理论的多边形有限元法.将虚节点法应用于求解弹性力学问题,并且通过大量数值实验测试虚节点法的计算效果.因为虚节点法具有多项式形式,所以有效地降低了传统多边形有限元法的积分误差.数值实验证明,在分片实验中虚节点法能得到比包括Wachspress法和mean value法在内的传统多边形有限元法更精确的数值结果.在收敛性试验中,虚节点法在相同节点数的条件下能取得比三角形一次单元更精确的数值结果.因为虚节点法能适应任意边数的多边形单元,所以对网格具有很强的适应性,在几何条件复杂、网格生成困难的问题中具有良好的应用价值.为了展示虚节点法潜在的应用价值,用虚节点法求解断裂力学应力强度因子和模拟裂纹扩展.同时,基于多边形单元的网格重划分技术和网格加密技术也应用于求解断裂力学应力强度因子和模拟裂纹扩展. 展开更多
关键词 虚节点法 多边形单元 单位分解法 裂纹扩展
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不同开挖工序对连拱隧道中墙的影响 被引量:30
8
作者 王胜辉 杜小平 +3 位作者 袁勇 章勇武 杜国平 刘亮 《岩土力学》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第7期1102-1106,共5页
针对筲箕湾连拱隧道的开挖过程进行两种不同工序的模拟计算,计算中墙在两种不同开挖工序下的强度、变形与稳定性,比较不同开挖工序对隧道中墙的影响。结果表明,中墙是连拱隧道最主要的受力构件,非对称开挖容易在中墙上引起较大偏心荷载... 针对筲箕湾连拱隧道的开挖过程进行两种不同工序的模拟计算,计算中墙在两种不同开挖工序下的强度、变形与稳定性,比较不同开挖工序对隧道中墙的影响。结果表明,中墙是连拱隧道最主要的受力构件,非对称开挖容易在中墙上引起较大偏心荷载。根据计算结果来评价开挖工序的优劣,对连拱隧道的开挖过程提出一些建议。 展开更多
关键词 双连拱隧道 中隔墙 非对称开挖 有限元 模拟计算 力学性能
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连拱隧道中墙受力研究 被引量:41
9
作者 陈贵红 李玉文 赵玉光 《中国铁道科学》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第1期20-24,共5页
采用有限元数值计算方法,进行连拱隧道中墙的受力分析研究。结果表明:在中墙一定的情况下,两侧主洞的施工顺序、支护情况、应力释放系数对中墙的最终受力影响不大;中墙轴力随中导坑的扩大而减小,其中中导坑宽度影响较大;中墙应力随中墙... 采用有限元数值计算方法,进行连拱隧道中墙的受力分析研究。结果表明:在中墙一定的情况下,两侧主洞的施工顺序、支护情况、应力释放系数对中墙的最终受力影响不大;中墙轴力随中导坑的扩大而减小,其中中导坑宽度影响较大;中墙应力随中墙厚度的增加而减小,但超过2m以后,减小幅度变得不明显,说明一味采用增加中墙厚度来确保中墙安全的做法是不合理的;在一定范围内,随着埋深的增加中墙受力增大;当埋深较大时,在中墙顶部预留适当的变形量,可以有效减小中墙承受的形变压力。 展开更多
关键词 隧道工程 连拱隧道 中墙受力 数值分析
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直接计算应力强度因子的扩展有限元法 被引量:27
10
作者 董玉文 余天堂 任青文 《计算力学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第1期72-77,共6页
系统地给出了直接计算应力强度因子的扩展有限元法。该方法以常规有限元法为基础,利用单位分解法思想,通过在近似位移表达式中增加能够反映裂纹面的不连续函数及反映裂尖局部特性的裂尖渐进位移场函数,间接体现裂纹面的存在,从而无需使... 系统地给出了直接计算应力强度因子的扩展有限元法。该方法以常规有限元法为基础,利用单位分解法思想,通过在近似位移表达式中增加能够反映裂纹面的不连续函数及反映裂尖局部特性的裂尖渐进位移场函数,间接体现裂纹面的存在,从而无需使裂纹面与有限元网格一致,无需在裂尖布置高密度网格,也不需要后处理就可以直接计算出应力强度因子,并且大大简化了前后处理工作。最后通过两个简单算例验证了该方法的精度,分析了影响计算结果的因素,并与采用J积分计算的应力强度因子作了对比,得出了两种方法计算精度相当的结论。 展开更多
关键词 扩展有限元 应力强度因子 单位分解法 不连续函数 裂尖渐近位移场
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考虑渗流的基坑边坡稳定分析 被引量:10
11
作者 黄春娥 龚晓南 顾晓鲁 《土木工程学报》 EI CSCD 北大核心 2001年第4期98-101,共4页
系统地总结了 ,目前基坑边坡稳定验算中常用的几种考虑渗流力的方法。在深入探讨地下水渗流对基坑边坡稳定作用机理的基础上 ,提出有限元法与条分法相结合的新方法。该方法采用条分法进行基坑边坡的稳定性分析 ;采用有限元法计算基坑周... 系统地总结了 ,目前基坑边坡稳定验算中常用的几种考虑渗流力的方法。在深入探讨地下水渗流对基坑边坡稳定作用机理的基础上 ,提出有限元法与条分法相结合的新方法。该方法采用条分法进行基坑边坡的稳定性分析 ;采用有限元法计算基坑周围的渗流场 ,求出作用于各土条上的渗流力并将其参与到稳定验算中。通过对以上几种计算方法的比较 ,阐明了各种方法的优劣及其适用条件。 展开更多
关键词 基坑 边坡 渗流 有限元法 条分法 稳定性
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一种曲折裂纹尖端单元位移场的构造方法 被引量:2
12
作者 方修君 金峰 +1 位作者 寇立夯 王进廷 《计算力学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第1期95-101,共7页
在扩展有限元的框架内,本文发展了一种构造裂尖单元位移场的方法。整个裂纹沿程两侧的非连续位移场只通过富集变换的阶梯函数表征,在裂尖单元,通过调整形函数使得非连续性严格地消失于裂纹尖端。在避免混合区单元引入不满足单位分解的... 在扩展有限元的框架内,本文发展了一种构造裂尖单元位移场的方法。整个裂纹沿程两侧的非连续位移场只通过富集变换的阶梯函数表征,在裂尖单元,通过调整形函数使得非连续性严格地消失于裂纹尖端。在避免混合区单元引入不满足单位分解的附加位移项的同时,实现了裂纹尖端单元位移场部分非连续特性的表达。还对裂尖单元的形函数调整原则进行了分析,以平面四节点单元为例提出了两种调整方式。文中裂尖单元中含有曲折裂纹的算例说明了本文方法的有效性和适用性。 展开更多
关键词 扩展有限元 富集 单位分解 非连续 形函数
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考虑井阻和涂抹的砂井地基平面应变等效方法分析 被引量:34
13
作者 陈小丹 赵维炳 《岩土力学》 EI CSCD 北大核心 2005年第4期567-571,共5页
根据固结度或平均孔压不变的条件,推导出考虑砂井阻力和涂抹效应的砂井地基平面应变等效公式,将砂井地基等效为砂墙地基进行计算,从而使复杂的空间问题转变为简单的平面问题。采用此方法时,只需对地基的渗透系数进行调整,计算方法简便易... 根据固结度或平均孔压不变的条件,推导出考虑砂井阻力和涂抹效应的砂井地基平面应变等效公式,将砂井地基等效为砂墙地基进行计算,从而使复杂的空间问题转变为简单的平面问题。采用此方法时,只需对地基的渗透系数进行调整,计算方法简便易行,计算结果可以满足工程的需要,便于在实际工程中推广应用。 展开更多
关键词 等效方法 砂井地基 平面应变 固结 有限元法
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浅埋大断面隧道在初期支护下的稳定性数值分析 被引量:9
14
作者 周阳敏 王哲 +1 位作者 王哲 蒋帅华 《科技通报》 北大核心 2015年第5期102-105,共4页
浅埋大断面隧道由于明显的空间效应以及断面面积、高跨比、跨度、埋深、施工方法等因素的不同,隧道在围岩和支护结构的破坏模式上常出现较大的差别。本文通过对宁波大榭管廊浅埋大断面隧道进行有限元方法,模拟经济简单的中隔墙台阶法和... 浅埋大断面隧道由于明显的空间效应以及断面面积、高跨比、跨度、埋深、施工方法等因素的不同,隧道在围岩和支护结构的破坏模式上常出现较大的差别。本文通过对宁波大榭管廊浅埋大断面隧道进行有限元方法,模拟经济简单的中隔墙台阶法和上下台阶法,对拱顶沉降及初次支护的受力状态进行分析,并与实际监测数据进行对比分析,得出较为一致的结果。最后,通过对比分析,得出中隔墙台阶法能有效减少拱顶沉降及初次支护应力,各项变形指标均在规范之内。本研究对此类隧道的施工与设计有一定指导意义。 展开更多
关键词 浅埋隧道 大断面 有限元 中隔墙台阶法 上下台阶法
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流固耦合分析的一种改进CBS有限元算法 被引量:8
15
作者 周岱 何涛 涂佳黄 《力学学报》 EI CSCD 北大核心 2012年第3期494-504,共11页
针对流固耦合问题,发展了一种基于任意拉格朗日-欧拉(ALE)描述有限元法的弱耦合分区算法.运用半隐式特征线分裂算法求解Navier-Stokes方程,在压力Poisson方程中引入质量源项以满足几何守恒律;运用子块移动技术更新动态网格,并配以光滑... 针对流固耦合问题,发展了一种基于任意拉格朗日-欧拉(ALE)描述有限元法的弱耦合分区算法.运用半隐式特征线分裂算法求解Navier-Stokes方程,在压力Poisson方程中引入质量源项以满足几何守恒律;运用子块移动技术更新动态网格,并配以光滑处理防止网格质量下降;采用Newmark-β法求解结构运动方程.为保持流体-结构界面处速度和动量守恒,利用修正结合界面边界条件方法求解界面处速度通量和动量通量.运用本方法分别模拟了不同雷诺数下单圆柱横向和两向流致振动、串列双圆柱两向流致振动.计算表明,本文方法计算效率高,计算结果与已有实验和数值计算数据吻合. 展开更多
关键词 流固耦合 ALE有限元法 弱耦合分区算法 特征线分离算法 子块移动技术 结合界面边界法
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C^1连续型广义有限元格式 被引量:3
16
作者 田荣 《力学学报》 EI CSCD 北大核心 2019年第1期263-277,共15页
C^1连续,即一阶导数连续. C^1连续型插值格式具有同时适用于离散PDE的弱形式与强形式的优点——即一种插值格式可以在使用PDE弱形式还是强形式之间做出选择,从而构造出更加高效的数值方法.由于单位分解广义有限元方法 (PUFEM, Babuka ... C^1连续,即一阶导数连续. C^1连续型插值格式具有同时适用于离散PDE的弱形式与强形式的优点——即一种插值格式可以在使用PDE弱形式还是强形式之间做出选择,从而构造出更加高效的数值方法.由于单位分解广义有限元方法 (PUFEM, Babuka and Melenk (1997)),允许用户根据局部解的特征自定义任意高阶局部近似,具有精度高、程序实现与传统有限元相容性好的特点而受到广泛关注.但是,其总体近似函数的光滑性是由其所采用的单位分解函数——一般为标准有限元形函数——的光滑性所决定,因此多为C^0连续.如何在C^0连续标准有限元形函数的基础上,构造出满足C^1连续的总体近似函数,是一个仍未解决的问题.本文在作者前期研究的无额外自由度的单位分解插值格式的基础上,仅基于C^0标准有限元形函数,构造出至少C^1连续的无额外自由度单位分解格式.针对Poisson方程,讨论了该格式对PDE弱形式与强形式的离散.测试结果表明,方法可以同时用于弱形式与强形式的数值求解,而且可以在不改变网格和自由度数的前提下,获得高阶收敛.使用该插值格式的条件是:网格须是直角坐标网格(不要求均匀).该插值格式可以同时用于流体力学问题和使用欧拉背景网格求解动量方程的固体力学方法,如材料物质点法(material point method).对于强形式的欧拉网格求解,该插值格式与"差分"不同之处在于,它具有有限元一样的在任意点处进行"插值"的特点.对于弱形式的积分求解,由于该插值格式具有导数连续性,可以允许积分网格独立于插值网格.这一特点将使得弱形式的数值积分的实施更加灵活方便. 展开更多
关键词 单位分解插值 广义有限元 无额外自由度 C1连续
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双层拱架结构塑料大棚透光率及稳定性分析 被引量:4
17
作者 汤庆 伍德林 +1 位作者 朱世东 卯鑫 《农机化研究》 北大核心 2012年第8期34-37,41,共5页
设计了一种新型双层拱架结构塑料大棚,并对其透光率进行了分析计算,外层棚的平均透光率为76.08%,能满足棚内植株生长发育光照要求。将薄膜与骨架看作一体,采用三维建模软件构建双层棚的整体模型,运用有限元方法对外层棚进行较准确的受... 设计了一种新型双层拱架结构塑料大棚,并对其透光率进行了分析计算,外层棚的平均透光率为76.08%,能满足棚内植株生长发育光照要求。将薄膜与骨架看作一体,采用三维建模软件构建双层棚的整体模型,运用有限元方法对外层棚进行较准确的受力分析。结果表明,新型大棚能够增加拱架的结构稳定性,解决了过去只对骨架或单拱分析计算造成的误差,为该棚型的进一步优化和改进提供了必要的依据。 展开更多
关键词 双层塑料大棚 整体建模 有限元方法 稳定性 透光率
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大跨度双链式悬索桥受力特性影响因素研究 被引量:5
18
作者 王东绪 霍学晋 +1 位作者 唐贺强 肖海珠 《世界桥梁》 北大核心 2021年第1期65-70,共6页
为探索理想的大跨度双链式悬索桥布置形式,以某在建过江通道主桥(主跨1760 m的单跨简支钢箱梁悬索桥,加劲梁采用扁平流线型钢箱梁,梁宽31.5 m,梁高4.0 m)为工程背景,利用大跨度悬索桥几何非线性计算软件SNAS建立有限元模型,分析不同恒... 为探索理想的大跨度双链式悬索桥布置形式,以某在建过江通道主桥(主跨1760 m的单跨简支钢箱梁悬索桥,加劲梁采用扁平流线型钢箱梁,梁宽31.5 m,梁高4.0 m)为工程背景,利用大跨度悬索桥几何非线性计算软件SNAS建立有限元模型,分析不同恒载分配系数μ和矢跨比λ对结构受力特性的影响。结果表明:随着μ减小,结构竖向非对称刚度提高,但主缆最大拉力增大;随着λ减小,结构竖向刚度提高,但塔底纵向弯矩与主缆最大拉力增大;当μ=0.3且λ=1/9.0对应的大跨度双链式悬索桥布置形式较优,结构具有较好的抵抗对称及非对称活载的竖向变形能力,且颤振临界风速最大。 展开更多
关键词 悬索桥 双链式 恒载分配系数 矢跨比 受力特性 有限元法
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行波输入下土层有限元网格的划分原则 被引量:4
19
作者 白建方 楼梦麟 《世界地震工程》 CSCD 北大核心 2009年第1期48-51,共4页
在行波输入下,用有限单元法分析土层地震反应时会遇到土层与基岩接触面如何离散化的问题。文中指出了在此情况下传统的有限元网格划分中存在的问题,并结合数值试验给出了沿行波输入方向进行土层有限元网格划分的原则。
关键词 行波输入 有限单元法 土层地震反应 网格划分
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基于分区独立温度控制的探针台卡盘温度均匀性研究 被引量:2
20
作者 刘洪 苏中 刘宁 《现代电子技术》 北大核心 2018年第16期13-16,21,共5页
在半导体测试的高低温测试中需要有效地保证探针台卡盘表面温度的均匀性。利用基于有限元方法的仿真软件ANSYS Workbench对探针台卡盘冷却层进行建模,研究表面温度场分布情况。同时,对探针台卡盘表面各区域进行温度测试获取探针台卡盘... 在半导体测试的高低温测试中需要有效地保证探针台卡盘表面温度的均匀性。利用基于有限元方法的仿真软件ANSYS Workbench对探针台卡盘冷却层进行建模,研究表面温度场分布情况。同时,对探针台卡盘表面各区域进行温度测试获取探针台卡盘温度分布。仿真结果和实验结果一致,表明探针台卡盘表面中心位置温度最高,距离卡盘中心位置距离越远,温度越低。基于现有探针台卡盘均匀加热下表面温度分布的状况,提出加热板实施分区独立温度控制,从而改善探针台卡盘表面温度的均匀性,提高探针台高低温测试的精确性。 展开更多
关键词 探针台 有限元方法 均匀性 分区控制 半导体 温度测试
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