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基于Ppy敏感膜的pH-ISFET研制
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作者 汪祖民 孙红光 +3 位作者 韩泾鸿 边超 陈绍凤 夏善红 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第z2期1065-1066,共2页
研制了一种采用0.35μm标准CMOS工艺制造的,集成ISFET/REFET及其信号处理电路于一体的集成化芯片系统(SOC)。其中ISFET敏感膜为采用电化学法制备的导电聚合物Ppy(Polypyrrole,聚吡咯),通过对各种条件的优化,最终得到了pH响应为56mV/p... 研制了一种采用0.35μm标准CMOS工艺制造的,集成ISFET/REFET及其信号处理电路于一体的集成化芯片系统(SOC)。其中ISFET敏感膜为采用电化学法制备的导电聚合物Ppy(Polypyrrole,聚吡咯),通过对各种条件的优化,最终得到了pH响应为56mV/pH的高灵敏度。 展开更多
关键词 离子敏场效应管 聚吡咯 敏感膜 集成化芯片系统
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