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激光全息光栅精密测试系统 被引量:3
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作者 冯功和 韩德湘 周茂华 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 1997年第1期23-24,29,共3页
介绍了系统结构,位移测量原理和光学测量,程序设计,系统已通过技术鉴定。
关键词 膜盒 激光全息光栅 精密测试系统
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