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题名薄膜铌酸锂复杂波导的光刻工艺参数优化
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作者
石照耀
唐长发
杨登才
杨锋
李子琰
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机构
北京工业大学机械与能源工程学院
北京工业大学物理与光电学院
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出处
《北京工业大学学报》
北大核心
2025年第9期1121-1128,共8页
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基金
四川省重点实验室基金资助项目(2023-07)。
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文摘
近年来不断有新技术应用于光刻来提升光刻分辨率,由于研究和资金等方面的问题,其技术难度呈指数级增长,研究如何改进光刻工艺技术,寻找更优秀的工艺方法,已成为当前优化光刻图形、提升光刻最小分辨率的研究方向。提出了一种光刻参数优化方法,该方法通过定义最大允许时差的概念,来表征光刻工艺参数之间的相互关系。分别选用图案线宽为1.5、2.0、2.5μm的掩模版,用优化前后的光刻参数在SUSS MJB4光刻机下套刻。经过实验测试,用优化后光刻参数套刻得到的线条宽度窄于同样条件下未优化光刻参数套刻得到的线条宽度。
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关键词
薄膜铌酸锂
光波导
光刻分辨率
光刻工艺
最大允许时差
优化设计
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Keywords
lithium niobate on insulator(LNOI)
waveguide
lithographic resolution
lithography process
maximum allowable time difference
optimal design
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分类号
TN252
[电子电信—物理电子学]
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题名复杂曲面薄壁件铣削颤振稳定性研究综述
被引量：6
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作者
吴雁
王开发
郑刚
周琼
张而耕
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机构
上海应用技术大学机械工程学院
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出处
《机电工程》
CAS
北大核心
2020年第1期1-7,共7页
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基金
上海市科委重点支撑计划资助项目(170905038000)
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文摘
针对复杂曲面薄壁件铣削过程中出现的颤振问题,基于再生型颤振理论,对复杂曲面薄壁件铣削颤振产生的原因进行了分析,阐述了抑制颤振发生的相关工艺优化策略和颤振稳定性分析之间的联系;在此基础上,对现阶段复杂曲面铣削稳定性分析中的频域法、时域法、试验法,以及工艺优化方法研究现状进行了综述和归纳,对现阶段国内外复杂曲面薄壁件铣削颤振的抑制方法的优缺点和适用条件进行了评价,并提出了整体式叶轮五轴加工非均匀余量工艺优化策略;通过分析影响颤振稳定性的因素,提出了今后复杂曲面薄壁件颤振抑制的研究方向。研究结果表明:相对于普通铣削颤振,复杂曲面薄壁件颤振抑制更为复杂,建立三维工艺系统稳定性模型,并考虑工件模态参数的变化,可有效抑制颤振的发生。
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关键词
复杂曲面
铣削颤振
稳定性分析
非均匀余量优化
综述
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Keywords
complex surface
milling flutter
stability analysis
non-uniform allowance process optimization
review
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分类号
TH161
[机械工程—机械制造及自动化]
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题名基于非均匀余量的整体叶轮加工工艺优化策略
被引量：8
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作者
吴雁
吕博鑫
吕仕强
郑刚
张杰人
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机构
上海应用技术大学机械工程学院
中航工业贵州省永红航空机械有限责任公司
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出处
《航空制造技术》
2017年第5期72-76,81,共6页
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基金
国家自然科学基金青年基金(51405304)
上海市教育委员会科研创新项目(14YZ143)
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文摘
针对超薄结构叶片整体叶轮在制造过程中叶片产生较大的变形和切削振动,使用非均匀余量加工工艺方案,减小叶片变形提高加工质量。分析了集中载荷对薄壁结构和加厚结构变形的影响,对生产中的叶轮叶片进行非均匀余量加工工艺设计,依据优化后的工艺对叶轮进行刀具轨迹规划并进行加工试验,结果显示该工艺优化策略能有效减小超薄叶片的铣削振动和铣削变形,最大误差优化率为54.47%,平均误差优化率为52.57%,对类似高度与平均厚度比值较大且叶片扭转曲率较大的复杂零件的实际加工有一定的指导意义。
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关键词
非均匀余量
工艺优化策略
超薄叶片
整体叶轮
切削振动
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Keywords
non-uniform machining allowance
process optimization strategy： Ultra-thin blade
Integral impeller
Cutting vibration
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分类号
TH16
[机械工程—机械制造及自动化]
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题名基于制造特征和非均匀余量的轴流式叶轮叶片工艺优化
被引量：1
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作者
徐海潜
吕博鑫
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机构
上海应用技术大学工程训练中心
西门子工业软件(上海)有限公司
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出处
《组合机床与自动化加工技术》
北大核心
2019年第12期114-117,共4页
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文摘
针对轴流式复杂曲面整体叶轮零件的特殊结构,基于生产实践中的某型号环控系统内置整体叶轮,论述了该类型零件的制造难点,基于制造特征和非均匀余量优化了轴流式叶轮叶片的制造工艺,并在同一工况下进行了切削加工对比试验,使用三维扫描检测及模型重构技术进行叶片曲面轮廓度检测,结果显示叶片吸力面和压力面曲面轮廓精度平均优化率分别为28.8%和65.7%,且优化后叶片表面质量较高,无振刀纹。证明了该工艺优化方案的有效性和实用性,对类似结构零件的加工制造有一定指导意义。
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关键词
复杂曲面
整体叶轮
工艺优化
切削颤振
非均匀余量
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Keywords
complex surface
integrated impeller
process optimization
cutting chatter
non-uniform allowance
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分类号
TH164
[机械工程—机械制造及自动化]
TG506
[金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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