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The study on mechanism and model of negative bias temperature instability degradation in P-channel metal-oxide-semiconductor field-effect transistors
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作者 曹艳荣 马晓华 +1 位作者 郝跃 田文超 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2010年第9期564-569,共6页
Negative Bias Temperature Instability (NBTI) has become one of the most serious reliability problems of metaloxide-semiconductor field-effect transistors (MOSFETs). The degradation mechanism and model of NBTI are ... Negative Bias Temperature Instability (NBTI) has become one of the most serious reliability problems of metaloxide-semiconductor field-effect transistors (MOSFETs). The degradation mechanism and model of NBTI are studied in this paper. From the experimental results, the exponential value 0.25-0.5 which represents the relation of NBTI degradation and stress time is obtained. Based on the experimental results and existing model, the reaction-diffusion model with H^+ related species generated is deduced, and the exponent 0.5 is obtained. The results suggest that there should be H^+ generated in the NBTI degradation. With the real time method, the degradation with an exponent 0.5 appears clearly in drain current shift during the first seconds of stress and then verifies that H^+ generated during NBTI stress. 展开更多
关键词 NBTI 90nm p-channel metal-oxide-semiconductor field-effect transistors (PMOS-fets) model
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Influences of fringing capacitance on threshold voltage and subthreshold swing of a GeOI metal-oxide-semiconductor field-effect transistor
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作者 范敏敏 徐静平 +2 位作者 刘璐 白玉蓉 黄勇 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第3期327-331,共5页
Models of threshold voltage and subthreshold swing, including the fringing-capacitance effects between the gate electrode and the surface of the source/drain region, are proposed. The validity of the proposed models i... Models of threshold voltage and subthreshold swing, including the fringing-capacitance effects between the gate electrode and the surface of the source/drain region, are proposed. The validity of the proposed models is confirmed by the good agreement between the simulated results and the experimental data. Based on the models, some factors impacting the threshold voltage and subthreshold swing of a GeOI metal-oxide-semiconductor field-effect transistor(MOSFET) are discussed in detail and it is found that there is an optimum thickness of gate oxide for definite dielectric constant of gate oxide to obtain the minimum subthreshold swing. As a result, it is shown that the fringing-capacitance effect of a shortchannel GeOI MOSFET cannot be ignored in calculating the threshold voltage and subthreshold swing. 展开更多
关键词 GeOI metal-oxide-semiconductor field-effect transistor fringing capacitance subthreshold swing threshold voltage
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Review of gallium oxide based field-effect transistors and Schottky barrier diodes 被引量:9
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作者 Zeng Liu Pei-Gang Li +3 位作者 Yu-Song Zhi Xiao-Long Wang Xu-Long Chu Wei-Hua Tang 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2019年第1期65-81,共17页
Gallium oxide(Ga_2O_3), a typical ultra wide bandgap semiconductor, with a bandgap of ~4.9 e V, critical breakdown field of 8 MV/cm, and Baliga's figure of merit of 3444, is promising to be used in high-power and ... Gallium oxide(Ga_2O_3), a typical ultra wide bandgap semiconductor, with a bandgap of ~4.9 e V, critical breakdown field of 8 MV/cm, and Baliga's figure of merit of 3444, is promising to be used in high-power and high-voltage devices.Recently, a keen interest in employing Ga_2O_3 in power devices has been aroused. Many researches have verified that Ga_2O_3 is an ideal candidate for fabricating power devices. In this review, we summarized the recent progress of field-effect transistors(FETs) and Schottky barrier diodes(SBDs) based on Ga_2O_3, which may provide a guideline for Ga_2O_3 to be preferably used in power devices fabrication. 展开更多
关键词 GALLIUM oxide(Ga2O3) field-effect transistors(fets) Schottky barrier diodes(SBDs)
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Electrically Tunable Energy Bandgap in Dual-Gated Ultra-Thin Black Phosphorus Field Effect Transistors 被引量:1
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作者 Shi-Li Yan Zhi-Jian Xie +2 位作者 Jian-Hao Chen Takashi Taniguchi Kenji Watanabe 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2017年第4期87-91,共5页
The energy bandgap is an intrinsic character of semiconductors, which largely determines their properties. The ability to continuously and reversibly tune the bandgap of a single device during real time operation is o... The energy bandgap is an intrinsic character of semiconductors, which largely determines their properties. The ability to continuously and reversibly tune the bandgap of a single device during real time operation is of great importance not only to device physics but also to technological applications. Here we demonstrate a widely tunable bandgap of few-layer black phosphorus (BP) by the application of vertical electric field in dual-gated BP field-effect transistors. A total bandgap reduction of 124 meV is observed when the electrical displacement field is increased from 0.10 V/nm to 0.83 V/nm. Our results suggest appealing potential for few-layer BP as a tunable bandgap material in infrared optoelectronies, thermoelectric power generation and thermal imaging. 展开更多
关键词 Electrically Tunable Energy Bandgap in Dual-Gated Ultra-Thin Black Phosphorus field effect transistors fet BP
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Tunneling field effect transistors based on in-plane and vertical layered phosphorus heterostructures
5
作者 冯申艳 张巧璇 +2 位作者 杨洁 雷鸣 屈贺如歌 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2017年第9期421-427,共7页
Tunneling field effect transistors(TFETs) based on two-dimensional materials are promising contenders to the traditional metal oxide semiconductor field effect transistor, mainly due to potential applications in low... Tunneling field effect transistors(TFETs) based on two-dimensional materials are promising contenders to the traditional metal oxide semiconductor field effect transistor, mainly due to potential applications in low power devices. Here,we investigate the TFETs based on two different integration types: in-plane and vertical heterostructures composed of two kinds of layered phosphorous(β-P and δ-P) by ab initio quantum transport simulations. NDR effects have been observed in both in-plane and vertical heterostructures, and the effects become significant with the highest peak-to-valley ratio(PVR)when the intrinsic region length is near zero. Compared with the in-plane TFET based on β-P and δ-P, better performance with a higher on/off current ratio of - 10-6 and a steeper subthreshold swing(SS) of - 23 mV/dec is achieved in the vertical TFET. Such differences in the NDR effects, on/off current ratio and SS are attributed to the distinct interaction nature of theβ-P and δ-P layers in the in-plane and vertical heterostructures. 展开更多
关键词 tunneling field effect transistors negative differential resistance effect on/off current ratio subthreshold swing
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Analytical capacitance model for 14 nm Fin FET considering dual-k spacer
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作者 郑芳林 刘程晟 +3 位作者 任佳琪 石艳玲 孙亚宾 李小进 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2017年第7期338-345,共8页
The conformal mapping of an electric field has been employed to develop an accurate parasitic capacitance model for nanoscale fin field-effect transistor(Fin FET) device. Firstly, the structure of the dual-layer spa... The conformal mapping of an electric field has been employed to develop an accurate parasitic capacitance model for nanoscale fin field-effect transistor(Fin FET) device. Firstly, the structure of the dual-layer spacers and the gate parasitic capacitors are thoroughly analyzed. Then, the Cartesian coordinate is transferred into the elliptic coordinate and the equivalent fringe capacitance model can be built-up by some arithmetical operations. In order to validate our proposed model, the comparison of statistical analysis between the proposed calculation and the 3D-TCAD simulation has been carried out, and several different material combinations of the dual-k structure have been considered. The results show that the proposed analytical model can accurately calculate the fringe capacitance of the Fin FET device with dual-k spacers. 展开更多
关键词 fin field-effect transistor parasitic capacitance model conformal mapping TCAD
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短沟道负电容GAAFET的物理解析模型的理论推导
7
作者 白刚 陈成 《大学物理》 2024年第4期36-39,55,共5页
围栅场效应晶体管的EDA设计软件是我国芯片产业“卡脖子”的关键技术之一,已经受到科学界与产业界的高度重视.本文首先通过合理近似推导出传统短沟道GAAFE的物理解析模型,然后在此基础上通过增加铁电层推导出负电容GAAFET的物理解析模型... 围栅场效应晶体管的EDA设计软件是我国芯片产业“卡脖子”的关键技术之一,已经受到科学界与产业界的高度重视.本文首先通过合理近似推导出传统短沟道GAAFE的物理解析模型,然后在此基础上通过增加铁电层推导出负电容GAAFET的物理解析模型.该物理模型的理论推导有助于加深学生对GAAFET工作原理的理解,激发学生的学习兴趣,提高学生的研究能力. 展开更多
关键词 负电容 围栅场效应晶体管 短沟道 铁电
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GaAs开关FET功率特性的研究 被引量:3
8
作者 王磊 马伟宾 刘帅 《半导体技术》 CAS 北大核心 2019年第2期110-114,共5页
在GaAs单片微波集成电路(MMIC)设计中,开关场效应晶体管(FET)是研制开关、数控衰减器、数控移相器等电路的基础。基于0.15μm栅长GaAs开关FET,研究了GaAs开关FET在低频下的功率压缩特性。通过对开关FET的小信号等效电路和大信号模型的分... 在GaAs单片微波集成电路(MMIC)设计中,开关场效应晶体管(FET)是研制开关、数控衰减器、数控移相器等电路的基础。基于0.15μm栅长GaAs开关FET,研究了GaAs开关FET在低频下的功率压缩特性。通过对开关FET的小信号等效电路和大信号模型的分析,发现频率下降会降低开关FET的栅压,从而降低开关FET低频下的功率容量。通过增加栅极电阻来提高栅极电压,进而增加开关FET功率容量。最后通过实际的开关电路验证了增大栅极电阻可有效提高开关电路的功率容量,对今后的开关类器件设计工作起到一定的指导意义。 展开更多
关键词 砷化镓 场效应晶体管(fet) 栅极电阻 功率容量 功率压缩
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高效率GaAs/InGaAsHFET功率放大器 被引量:1
9
作者 陈堂胜 杨立杰 +2 位作者 王泉慧 李拂晓 陈效建 《固体电子学研究与进展》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第2期231-234,共4页
研制成 Ga As/ In Ga As异质结功率 FET(HFET) ,该器件是在常规的高 -低 -高分布 Ga As MESFET的基础上 ,在有源层的尾部引入 i-In Ga As层。采用 HFET研制的两级 C波功率放大器 ,在 5 .0~ 5 .5 GHz带内 ,当Vds=5 .5 V时 ,输出功率大于... 研制成 Ga As/ In Ga As异质结功率 FET(HFET) ,该器件是在常规的高 -低 -高分布 Ga As MESFET的基础上 ,在有源层的尾部引入 i-In Ga As层。采用 HFET研制的两级 C波功率放大器 ,在 5 .0~ 5 .5 GHz带内 ,当Vds=5 .5 V时 ,输出功率大于 3 2 .3 1 d Bm(0 .1 77W/ mm ) ,功率增益大于 1 9.3 d B,功率附加效率 (PAE)大于3 8.7% ,PAE最大达到 49.4% ,该放大器在 Vds=9.0 V时 ,输出功率大于 3 6.65 d Bm(0 .48W/ mm) ,功率增益大于 2 1 .6d B,PAE典型值 3 5 % 展开更多
关键词 Hfet 功率放大器 高效率 异质结 微波场效应晶体管 单片微流集成电路 砷化镓 铟镓砷
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GaAs FET脉冲功率放大器输出脉冲包络分析研究 被引量:3
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作者 顾占彪 王淼 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2013年第6期474-478,共5页
基于GaAs场效应晶体管(FET)微波脉冲固态功率放大器的输出脉冲包络,对输出脉冲波形的顶部降落与顶部过冲开展研究。从脉冲调制电路、GaAs FET的饱和深度以及沟道温度三个方面对脉冲顶降进行了讨论,指出了可以通过选用合适的储能电容、使... 基于GaAs场效应晶体管(FET)微波脉冲固态功率放大器的输出脉冲包络,对输出脉冲波形的顶部降落与顶部过冲开展研究。从脉冲调制电路、GaAs FET的饱和深度以及沟道温度三个方面对脉冲顶降进行了讨论,指出了可以通过选用合适的储能电容、使GaAs FET工作在饱和状态、降低沟道温度来改善脉冲顶降。另外,从脉冲调制方式和寄生电感影响两方面分析了脉冲顶部过冲,给出了改善脉冲顶部过冲的措施,如减小电路中的寄生电感和选取合适的静态工作点。经实践验证,并通过脉冲顶降和顶部过冲在改善前后的数据对比,证明了上述措施是有效的。 展开更多
关键词 砷化镓 场效应晶体管(fet) 微波脉冲固态功率放大器 脉冲波形顶部降落 脉冲波形顶部过冲
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FinFET纳电子学与量子芯片的新进展 被引量:1
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作者 赵正平 《微纳电子技术》 北大核心 2020年第1期1-6,共6页
综述了后摩尔时代中两大发展热点:鳍式场效应晶体管(FinFET)纳电子学和基于量子计算新算法的量子芯片的发展历程和近两年的最新进展。在FinFET纳电子学领域,综述并分析了当今Si基互补金属氧化物半导体(CMOS)集成电路的发展现状,包括Fin... 综述了后摩尔时代中两大发展热点:鳍式场效应晶体管(FinFET)纳电子学和基于量子计算新算法的量子芯片的发展历程和近两年的最新进展。在FinFET纳电子学领域,综述并分析了当今Si基互补金属氧化物半导体(CMOS)集成电路的发展现状,包括FinFET的发展、10 nm和7 nm技术节点的量产、5 nm和3 nm技术节点的环栅场效应晶体管(GAAFET)和2 nm技术节点的负电容场效应晶体管(FET)的前瞻性技术研究以及非Si器件(InGaAs FinFET、WS2和MoS2两种2D材料的FET)的探索性研究。指出继续摩尔定律的发展将以Si基FinFET和GAAFET的技术发展为主。在量子芯片领域,综述并分析了超导、电子自旋、光子、金刚石中的氮空位中心和离子阱等五种量子比特芯片的发展历程,提高相干时间、固态化及多量子比特扩展等的技术突破,以及近几年在量子信息应用的新进展。基于Si基的纳米制造技术和新的量子计算算法的结合正加速量子计算向工程化的进展。 展开更多
关键词 鳍式场效应晶体管(Finfet) 环栅场效应晶体管(GAAfet) 负电容场效应晶体管(fet) InGaAs FINfet 超导量子芯片 电子自旋量子芯片 光子量子芯片 金刚石中的氮空位中心量子比特 离子阱量子芯片
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使用Y函数方法提取MoS2 FET双向扫描电学参数
12
作者 赵宇航 卢意飞 刘强 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2018年第2期125-130,159,共7页
利用机械剥离法制备了多层背栅MoS_2场效应晶体管(FET),通过双向栅压扫描提取了器件的转移特性曲线,并利用Y函数方法提取了器件的电学参数。结果表明,利用Y函数法提取的载流子迁移率值明显大于利用跨导法提取的载流子迁移率值。这两... 利用机械剥离法制备了多层背栅MoS_2场效应晶体管(FET),通过双向栅压扫描提取了器件的转移特性曲线,并利用Y函数方法提取了器件的电学参数。结果表明,利用Y函数法提取的载流子迁移率值明显大于利用跨导法提取的载流子迁移率值。这两种提取方法的不同之处在于Y函数方法考虑了寄生电阻的影响,而跨导法则将其忽略了,这说明寄生电阻带来的影响是显著的。此外,该器件在双向扫描过程中出现了明显的回滞特性,这主要是MoS_2材料吸附外界杂质电荷造成的。无论采用跨导法还是Y函数方法,其正向扫描和反向扫描时对应的电学参数都不完全一致。这表明在分析MoS_2 FET的电学性能时,除了考虑器件的寄生电阻外,还需要考虑界面电荷的影响。 展开更多
关键词 MoS2场效应晶体管(fet) Y函数方法 寄生电阻 杂质电荷 回滞特性
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短沟道离子注入GaAs MESFET解析模型
13
作者 黄庆安 吕世骥 童勤义 《东南大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 1992年第6期23-29,共7页
本文提出了一种新的离子注入短沟道GaAsMESFET直流解析模型,并将解析模型与实验数据进行了比较。结果表明,本文提出的解析模型可以同时描述高、中和低夹断电压的短沟道离子注入GaAs MESFET直流特性.
关键词 离子注入 晶体管模型 MESfet GAAS
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基于CVD单层MoS_2 FET的光电探测器
14
作者 战俊 粟雅娟 +2 位作者 贾昆鹏 罗军 闫祥宇 《微纳电子技术》 北大核心 2017年第7期437-443,共7页
通过化学气相沉积(CVD)工艺在SiO_2/Si衬底生长出MoS_2材料,对材料进行喇曼光谱表征,验证了单层MoS_2的存在;基于CVD生长的单层MoS_2完成了晶圆级背栅场效应晶体管(FET)光电探测器的工艺研发;对MoS_2 FET器件进行了电学特性表征,开关比... 通过化学气相沉积(CVD)工艺在SiO_2/Si衬底生长出MoS_2材料,对材料进行喇曼光谱表征,验证了单层MoS_2的存在;基于CVD生长的单层MoS_2完成了晶圆级背栅场效应晶体管(FET)光电探测器的工艺研发;对MoS_2 FET器件进行了电学特性表征,开关比可达到105数量级,场效应迁移率约为1 cm2·V-1·s-1,栅极漏电流为10-10 A数量级;对MoS2FET器件的光电特性进行了表征,该光电探测器具有普通光电导探测器的基本光电特性,其光电流随光照强度的增强以及源漏电压的增加而增加,同时由于栅极的调制提高了光电探测器的灵活性。通过控制栅极电压能够控制MoS2FET光电探测器的暗电流大小,实现对探测器η参数的有效调制。最后通过器件能带图对MoS_2 FET光电探测器的光电特性进行了阐释,为其走向实际应用奠定了理论基础。 展开更多
关键词 二硫化钼(MoS2) 场效应晶体管(fet) 二维(2D)半导体材料 光电探测器 过渡金属硫属化合物(TMD)
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FinFET静电可靠性及新型Fix-base SOI FinFET研究
15
作者 姜一波 王晓磊 +4 位作者 徐曙 顾刘强 韩宇峰 魏义 李辉 《固体电子学研究与进展》 CSCD 北大核心 2017年第4期271-274,共4页
在鳍型场效应晶体管(SOI FinFET)相关静电防护技术研究基础上,提出了一种新型的体区接触固定型绝缘体上硅鳍型场效应晶体管泄放钳位装置(Fix-base SOI FinFET Clamp)。该新型结构的器件解决了基区接触浮空在静电防护设计时引起的一系列... 在鳍型场效应晶体管(SOI FinFET)相关静电防护技术研究基础上,提出了一种新型的体区接触固定型绝缘体上硅鳍型场效应晶体管泄放钳位装置(Fix-base SOI FinFET Clamp)。该新型结构的器件解决了基区接触浮空在静电防护设计时引起的一系列问题,而且对正常的FinFET工艺具有良好的兼容性。通过计算机辅助工艺设计(TCAD)仿真论证了Fix-base SOI FinFET Clamp具有明显效果,详细阐述和讨论了SOI FinFET和Fix-base SOI FinFET Clamp工作状态下的电流和热分布。 展开更多
关键词 静电可靠性 绝缘体上硅 鳍型场效应晶体管 体区固定型绝缘体上硅鳍型场效应晶体管泄放钳位装
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用于FET的PECVD SiN_x掺杂MoS_2的有效性与可控性
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作者 战俊 粟雅娟 +3 位作者 罗军 贾昆鹏 段宁远 闫祥宇 《微纳电子技术》 北大核心 2017年第4期229-234,共6页
通过化学气相沉积(CVD)工艺成功生长出少层MoS_2薄膜,用Raman光谱仪对材料进行表征,验证了三层MoS_2材料的存在。基于CVD生长出的三层MoS_2薄膜材料完成了背栅场效应晶体管(FET)的制作工艺研发。对MoS_2FET器件进行了电学特性表征,研制... 通过化学气相沉积(CVD)工艺成功生长出少层MoS_2薄膜,用Raman光谱仪对材料进行表征,验证了三层MoS_2材料的存在。基于CVD生长出的三层MoS_2薄膜材料完成了背栅场效应晶体管(FET)的制作工艺研发。对MoS_2FET器件进行了电学特性表征,研制的MoS_2FET器件的开关比可达到1.45×10~6,器件的电子载流子场效应迁移率约为1 cm^2·V^(-1)·s^(-1)。对等离子增强化学气相沉积(PECVD)氮化硅(SiN_x)工艺掺杂MoS_2材料进行了研究,掺杂后器件的驱动电流提高了3倍多,验证了SiN_x掺杂MoS_2材料的有效性。通过控制PECVD SiN_x时间工艺参数对SiN_x薄膜厚度与掺杂浓度的关系进行了研究,随着SiN_x薄膜厚度增加器件的驱动电流逐渐增强,验证了SiN_x掺杂MoS_2材料的可控性。最后,对PECVD SiN_x工艺掺杂MoS_2材料的机理进行了讨论。 展开更多
关键词 二硫化钼场效应晶体管(MoS2 fet) 掺杂 二维(2D)半导体材料 过渡金属硫化物(TMD) 等离子体增强化学气相沉积(PECVD)
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150V电荷耦合功率MOSFET的仿真 被引量:1
17
作者 李蕊 胡冬青 +4 位作者 金锐 贾云鹏 苏洪源 匡勇 屈静 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2014年第12期902-907,共6页
电荷耦合是适用于中等电压功率MOSFET设计的先进设计理念之一,该设计思想旨在改善器件阻断态下的电场分布从而提高耐压。针对150V电荷耦合功率MOSFET双外延漂移区(分别为电荷耦合区N1区与非耦合区N2区)电荷匹配问题进行了仿真优化研... 电荷耦合是适用于中等电压功率MOSFET设计的先进设计理念之一,该设计思想旨在改善器件阻断态下的电场分布从而提高耐压。针对150V电荷耦合功率MOSFET双外延漂移区(分别为电荷耦合区N1区与非耦合区N2区)电荷匹配问题进行了仿真优化研究,结果表明:N1区和N2区浓度分别约为2.2×10^16cm^-3和4.5×10^15cm。时,电场分布更加均匀、耐压更高,且比导通电阻仅为1.306mQ·cm^2,即击穿电压和比导通电阻间达到最佳匹配。同时,还针对器件不同槽深进行了静态特性和动态特性的整体仿真优化研究,结果表明:槽深在7~9μm时,器件满足耐压要求且击穿电压随双漂移区掺杂浓度匹配程度变化较为平稳。最后,优化结构与传统槽栅MOSFET相比,其栅漏电容和栅电荷大幅降低,器件优值降低了约87%。 展开更多
关键词 金属氧化层半导体场效晶体管(MOSfet) 变掺杂 电荷耦合 场板 低栅漏电容
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一种GaN FET开关用高压高速驱动器的设计与实现 被引量:2
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作者 王子青 廖斌 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2016年第9期674-678,共5页
设计了一种GaN场效应晶体管(FET)开关用高压高速驱动器电路,该电路集成了TTL输入级、高压电平转换级及大功率输出级电路,其主要功能是对输入的TTL信号进行电平转换,输出0 V/负高压信号。输入级采用施密特结构实现输入兼容TTL信号的同时... 设计了一种GaN场效应晶体管(FET)开关用高压高速驱动器电路,该电路集成了TTL输入级、高压电平转换级及大功率输出级电路,其主要功能是对输入的TTL信号进行电平转换,输出0 V/负高压信号。输入级采用施密特结构实现输入兼容TTL信号的同时提高了输入噪声容限,电平转换级、输出级对传统电路结构做了改进,转换速度更快,功耗更低。该电路采用标准硅基高压CMOS工艺制造流片,芯片测试结果表明,负电源工作电压为-5^-40 V,静态电流小于10μA,动态电流为5 m A@10 MHz,传输延时小于20 ns。芯片尺寸为1.42 mm×1.83 mm。该电路具有响应速度快、功耗低以及抗噪声能力强等特点,可广泛应用于微波通信系统中。 展开更多
关键词 Ga N场效应晶体管(fet)开关 高压驱动器 施密特电路 电平转换 死区时间
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克服FET生物传感器德拜屏蔽效应的研究进展 被引量:1
19
作者 熊恩毅 魏淑华 +4 位作者 张兆浩 魏千惠 张双 方敏 张青竹 《半导体技术》 CAS 北大核心 2021年第3期169-177,共9页
目前场效应晶体管生物传感器(BioFET)已成功用于生物医学检测。虽然BioFET在生物检测方面具有快速响应、无标记和高灵敏度检测等优点,但是BioFET用于生理环境检测时,容易受到德拜屏蔽效应的影响,导致灵敏度降低甚至无法检测。阐述了Bio... 目前场效应晶体管生物传感器(BioFET)已成功用于生物医学检测。虽然BioFET在生物检测方面具有快速响应、无标记和高灵敏度检测等优点,但是BioFET用于生理环境检测时,容易受到德拜屏蔽效应的影响,导致灵敏度降低甚至无法检测。阐述了BioFET的工作原理;介绍了BioFET目前面临的挑战之一——德拜屏蔽效应;解释了德拜屏蔽效应的原理;探讨了克服德拜屏蔽效应的典型方法:增加德拜长度、优化目标物、优化器件结构以及降低电双层影响,并对这4个方面的研究进展从增强机理、具体方法及检测效果等方面进行了详细的分析和总结。 展开更多
关键词 场效应晶体管(fet) 生物传感器 德拜屏蔽效应 电双层 灵敏度
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屏蔽栅结构射频功率VDMOSFET研制 被引量:1
20
作者 李飞 刘英坤 +2 位作者 邓建国 胡顺欣 孙艳玲 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2013年第3期199-202,共4页
在台栅垂直双扩散金属-氧化物-半导体场效应晶体管(VDMOSFET)的结构基础上,利用常规硅工艺技术,研制出了一种具有屏蔽栅结构的射频功率VDMOSFET器件,在多晶硅栅电极与漏极漂移区之间的氧化层中间加入了多晶硅屏蔽层,大幅度降低了器件的... 在台栅垂直双扩散金属-氧化物-半导体场效应晶体管(VDMOSFET)的结构基础上,利用常规硅工艺技术,研制出了一种具有屏蔽栅结构的射频功率VDMOSFET器件,在多晶硅栅电极与漏极漂移区之间的氧化层中间加入了多晶硅屏蔽层,大幅度降低了器件的栅漏电容Cgd。研制出的屏蔽栅结构VDMOSFET器件的总栅宽为6 cm、漏源击穿电压为57 V、漏极电流为4.3 A、阈值电压为3.0 V、跨导为1.2 S,与结构尺寸相同、直流参数相近的台栅结构VDMOSFET器件相比,屏蔽栅结构VDMOSFET器件的栅漏电容降低了72%以上,器件在175 MHz、12 V的工作条件下,连续波输出功率为8.4 W、漏极效率为70%、功率增益为10 dB。 展开更多
关键词 射频垂直双扩散金属-氧化物-半导体场效应晶体管 栅漏电容 栅屏蔽层 台栅结构 屏蔽栅结构
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