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新型纳机电热探针阵列器件数据存储技术研究
1
作者
杨尊先
于映
+1 位作者
林丽华
李昕欣
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第7期693-697,共5页
对自行研制的一种新型压阻敏感器和电阻加热器一体集成的纳机电热探针阵列传感器进行了存储特性研究。首先对器件电热特性和敏感特性进行测试,测试结果与模拟结果相吻合。在此基础上,进行数据存储测试,借助原子力学显微镜在聚合物有机...
对自行研制的一种新型压阻敏感器和电阻加热器一体集成的纳机电热探针阵列传感器进行了存储特性研究。首先对器件电热特性和敏感特性进行测试,测试结果与模拟结果相吻合。在此基础上,进行数据存储测试,借助原子力学显微镜在聚合物有机薄膜上实现了数据写入,并研究了脉冲电压、脉冲宽度及其施加于探针上的力载荷对存储效果的影响,优化写入条件后,数据记录面密度达31.6GB/in2.
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关键词
纳米针尖
集成探针阵列
存储特性
电阻加热器
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职称材料
题名
新型纳机电热探针阵列器件数据存储技术研究
1
作者
杨尊先
于映
林丽华
李昕欣
机构
福州大学电子科学与应用物理系
中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第7期693-697,共5页
基金
国家自然科学基金(60376038)
福建省自然科学基金(A0310012
+3 种基金
A0510011)
福州大学科技发展基金(2005-XQ-26)
福建省教育厅科学基金(JB04042
JB05068)资助项目
文摘
对自行研制的一种新型压阻敏感器和电阻加热器一体集成的纳机电热探针阵列传感器进行了存储特性研究。首先对器件电热特性和敏感特性进行测试,测试结果与模拟结果相吻合。在此基础上,进行数据存储测试,借助原子力学显微镜在聚合物有机薄膜上实现了数据写入,并研究了脉冲电压、脉冲宽度及其施加于探针上的力载荷对存储效果的影响,优化写入条件后,数据记录面密度达31.6GB/in2.
关键词
纳米针尖
集成探针阵列
存储特性
电阻加热器
Keywords
nano-tip integrated probe array storage performance resistance heater
分类号
TP212.6 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
新型纳机电热探针阵列器件数据存储技术研究
杨尊先
于映
林丽华
李昕欣
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006
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