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n沟肖特基势垒隧穿晶体管特性研究
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作者 杜刚 刘弋波 +2 位作者 孙雷 刘晓彦 韩汝琦 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2004年第1期10-14,共5页
利用自主开发的蒙特卡罗器件模拟软件 ,对 n沟肖特基势垒隧穿晶体管 (SBTT)的输出特性和转移特性进行了模拟 ,详细分析了沟道区掺杂浓度 ,源漏硅化物区深度以及栅氧化层厚度对 SBTT特性的影响。
关键词 蒙特卡罗器件 n沟肖特基势垒隧穿晶体管 输出特性 转移特性 源漏硅化物区深度 栅氧化层厚度
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