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多点并联驱动精密压力机几何误差建模与灵敏度分析
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作者 王勇 杨江帆 +3 位作者 寿康力 詹晨 胡火根 黄明玖 《合肥工业大学学报(自然科学版)》 北大核心 2025年第2期162-169,共8页
为提高芯片塑封精度,文章以一种多点并联驱动精密压力机为研究对象,提出一种精度分析和误差分配方法。介绍了多点并联驱动压力机的拓扑结构,采用低序列阵列法描述了压力机传动系统各零部件之间的并联关系,并基于多体系统理论和齐次变换... 为提高芯片塑封精度,文章以一种多点并联驱动精密压力机为研究对象,提出一种精度分析和误差分配方法。介绍了多点并联驱动压力机的拓扑结构,采用低序列阵列法描述了压力机传动系统各零部件之间的并联关系,并基于多体系统理论和齐次变换法构建了多点并联驱动精密压力机的位置误差传递模型和角度误差传递模型;以一阶敏感度函数为理论基础,建立多点并联驱动精密压力机的误差灵敏度分析模型,对求出的误差传递模型中各项误差进行灵敏度分析,找到了位置误差和角度误差的主要误差源并计算出各项几何误差的灵敏度系数,以此为依据为整机的精度分配提供了方法。 展开更多
关键词 多点并联驱动精密压力机 多体系统理论 误差传递模型 灵敏度分析
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