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Kinematics modeling of a 6-PSS parallel mechanism with wide-range flexure hinges 被引量:1
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作者 杜志江 史若冲 董为 《Journal of Central South University》 SCIE EI CAS 2012年第9期2482-2487,共6页
A novel 6-PSS flexible parallel mechanism was presented,which employed wide-range flexure hinges as passive joints.The proposed mechanism features micron level positioning accuracy over cubic centimeter scale workspac... A novel 6-PSS flexible parallel mechanism was presented,which employed wide-range flexure hinges as passive joints.The proposed mechanism features micron level positioning accuracy over cubic centimeter scale workspace.A three-layer back-propagation(BP) neural network was utilized to the kinematics analysis,in which learning samples containing 1 280 groups of data based on stiffness-matrix method were used to train the BP model.The kinematics performance was accurately calculated by using the constructed BP model with 19 hidden nodes.Compared with the stiffness model,the simulation and numerical results validate that BP model can achieve millisecond level computation time and micron level calculation accuracy.The concept and approach outlined can be extended to a variety of applications. 展开更多
关键词 flexible parallel manipulator wide-range flexure hinge kinematics model neural network
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基于田口方法与交叉效率的柔性铰链多目标稳健优化设计
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作者 伍建军 蔡伟 万福兴 《机械设计与制造》 北大核心 2025年第6期263-267,共5页
柔度和疲劳寿命是柔性铰链的两个重要性能指标。针对倒圆角直梁型柔性铰链的两个性能指标相互矛盾,工作时受到变载荷、加工误差等复杂因素的影响,性能容易产生波动,难以同时使两个性能达到最为稳定的问题,提出一种基于田口方法和数据包... 柔度和疲劳寿命是柔性铰链的两个重要性能指标。针对倒圆角直梁型柔性铰链的两个性能指标相互矛盾,工作时受到变载荷、加工误差等复杂因素的影响,性能容易产生波动,难以同时使两个性能达到最为稳定的问题,提出一种基于田口方法和数据包络分析中的对抗型交叉效率模型的多目标稳健设计方法。该方法以田口方法为基础,通过交叉效率来反映设计变量与两个性能之间的未知关系,并根据平均交叉效率大小排列所得到的序数值来寻找最优的设计变量参数组合。结果表明,该方法与其它方法相比得到的结果更为稳健,有效的降低了性能的波动,与优化前相比柔度和疲劳寿命分别提高了8.84%、31.34%,验证了该方法的有效性。 展开更多
关键词 柔性铰链 柔度 疲劳寿命 田口方法 交叉效率
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考虑主客观权重的双响应曲面稳健设计优化
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作者 伍建军 刘俊杰 +1 位作者 郑明贵 刘丽珍 《机械设计》 北大核心 2025年第4期47-55,共9页
针对细胞注射3-RRR柔顺并联微动平台多响应稳健优化设计中各响应权重缺少理论依据、赋权不合理的问题,文中引入主客观函数的思想,并将熵权法和主客观函数相结合,综合解决多响应问题。在铰链运动模型建立的基础上,运用Minitab对模型进行... 针对细胞注射3-RRR柔顺并联微动平台多响应稳健优化设计中各响应权重缺少理论依据、赋权不合理的问题,文中引入主客观函数的思想,并将熵权法和主客观函数相结合,综合解决多响应问题。在铰链运动模型建立的基础上,运用Minitab对模型进行试验设计;引入熵权法对试验设计进行分析从而构建客观满意度函数,同时根据工程实践情况构建主观满意度函数;最后将两个函数赋予不同权重进行乘积得出综合满意度函数,并采用广义降阶梯度法求解得出不同组合赋权下的满意度值。设计者可根据对最优性和稳健性的不同需求,采用不同的赋权方案。案例表明,这对柔顺机构稳健设计来说是一种有效的改进方法。 展开更多
关键词 柔性铰链结构 稳健优化设计 熵权法 试验设计 综合满意度函数
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嵌套余弦函数型多轴柔性铰链的设计与分析
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作者 徐美娟 汪启亮 +3 位作者 洪永烽 龙益平 刘通 郭彬 《工程设计学报》 北大核心 2025年第2期252-261,共10页
现有柔性铰链的缺口形状主要局限于圆锥曲线及其组合,且在应对复杂载荷和大角度运动时容易因应力过大而失效。为此,设计了一种新型的嵌套余弦函数型多轴柔性铰链。首先,基于有限梁柔度矩阵建模(finite beam compliance matrix modeling,... 现有柔性铰链的缺口形状主要局限于圆锥曲线及其组合,且在应对复杂载荷和大角度运动时容易因应力过大而失效。为此,设计了一种新型的嵌套余弦函数型多轴柔性铰链。首先,基于有限梁柔度矩阵建模(finite beam compliance matrix modeling,FBMM)法构建了新型柔性铰链的柔度和精度模型,并与ANSYS Workbench软件的有限元仿真结果对比,发现柔度和精度的相对误差分别小于4.89%和4.97%,验证了理论模型的有效性。然后,讨论了结构参数对新型柔性铰链柔度、精度和柔度精度比的影响,并与椭圆型、圆弧型、正弦型多轴柔性铰链进行了比较。结果表明,所设计的柔性铰链具有柔度大、应力低的特点。最后,通过搭建柔性铰链实验平台来测试其变形情况,实测结果与理论结果的相对误差小于8%,进一步验证了柔度模型的有效性。嵌套余弦函数型多轴柔性铰链可为大行程柔顺精密定位平台的设计提供参考。 展开更多
关键词 多轴柔性铰链 有限梁柔度矩阵建模 柔度 应力 有限元仿真
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基于柔性铰链结构的大口径压电快摆镜 被引量:1
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作者 王强 时运来 +2 位作者 孙海超 李兴 刘伟 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第1期73-78,共6页
为了解决压电作动器驱动的快速反射镜因压电作动器伸长量较小,导致快速反射镜偏转角过小的问题,该文提出了一款新型快速反射镜设计方案。采用三级杠杆式柔性铰链放大机构实现压电作动器位移的放大,采用柔性轴承作为快摆镜的运动关节实... 为了解决压电作动器驱动的快速反射镜因压电作动器伸长量较小,导致快速反射镜偏转角过小的问题,该文提出了一款新型快速反射镜设计方案。采用三级杠杆式柔性铰链放大机构实现压电作动器位移的放大,采用柔性轴承作为快摆镜的运动关节实现快摆镜的大角度定轴偏转。通过理论推导和有限元仿真对快摆镜的最大偏转角度、等效应力、谐振频率以及振型进行分析。实验结果表明,所设计的快摆镜可以实现大于2 mrad的镜面偏转,满足大范围、高精度的光束定位要求。 展开更多
关键词 柔性铰链 逆压电效应 压电作动器 大口径压电快摆镜 位移放大机构
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考虑变墩高效应的小半径曲线梁桥地震易损性研究 被引量:4
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作者 焦驰宇 马辉 +1 位作者 刘洋 林监 《桥梁建设》 EI CSCD 北大核心 2024年第5期69-76,共8页
为分析墩高变化形式对小半径曲线梁桥地震易损性的影响,以某互通式立交匝道桥第2联为背景,设计渐变型、凹岛型、凸岛型3种墩高变化形式曲线梁桥进行地震易损性研究。在提出的压弯剪扭耦合作用破坏的基础上,采用集中铰-纤维模型的桥墩建... 为分析墩高变化形式对小半径曲线梁桥地震易损性的影响,以某互通式立交匝道桥第2联为背景,设计渐变型、凹岛型、凸岛型3种墩高变化形式曲线梁桥进行地震易损性研究。在提出的压弯剪扭耦合作用破坏的基础上,采用集中铰-纤维模型的桥墩建模方法,通过SeismoStruct有限元软件建立3种墩高变化形式曲线梁桥模型;选取符合Ⅲ类场地特性的50条地震波,利用能力需求比法,以位移延性比为损伤指标,研究不同变墩高形式下桥墩与支座的地震易损性。结果表明:当小半径曲线梁桥采用3种墩高变化形式时,以弯曲受力为主的中、高墩在地震作用下发生完全破坏概率较低,以弯剪或剪切受力为主的矮墩在强震作用下发生完全破坏概率较大,变墩高曲线梁桥可以适当提高矮墩的抗震能力;凹岛型墩高变化形式会增加矮墩的损伤概率,在抗震设计中应避免选择该墩高变化形式或尽可能优化墩梁连接方式;墩高变化形式对于支座的易损性影响小于对桥墩的影响。 展开更多
关键词 小半径曲线梁桥 墩高变化形式 压弯剪扭耦合作用 集中铰-纤维模型 地震易损性 有限元法
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基于柔性铰链微动平台的自抗扰控制方法 被引量:1
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作者 彭皓 杨志军 +1 位作者 蔡炳彧 白有盾 《机床与液压》 北大核心 2024年第8期24-28,共5页
微动平台一般以柔性铰链为导向机构,由于系统固有频率低,会严重限制传统PID算法的控制带宽,影响定位精度。因此,设计自抗扰控制算法(ADRC)将系统未建模动态与外部未知扰动共同视作“总扰动”,通过扩张状态观测器(ESO)进行估计和补偿,提... 微动平台一般以柔性铰链为导向机构,由于系统固有频率低,会严重限制传统PID算法的控制带宽,影响定位精度。因此,设计自抗扰控制算法(ADRC)将系统未建模动态与外部未知扰动共同视作“总扰动”,通过扩张状态观测器(ESO)进行估计和补偿,提高系统的控制带宽。为了充分利用已知的模型信息,设计基于模型的ADRC算法,将柔性铰链标称模型输入到ESO中,进一步提升系统的控制性能。最后,通过10μm行程的点位运动实验进行验证。结果表明:因为控制带宽无法过大而导致PID难以响应,ADRC提高了控制系统带宽,实现了精密定位;模型ADRC进一步提升了响应速度与定位精度。相比ADRC,模型ADRC整定时间缩短了68.1%,最大跟踪误差降低了53.8%,定位精度提升了60.7%。 展开更多
关键词 柔性铰链 微动平台 自抗扰控制 扩张状态观测器
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差动驱动并联机器人设计与运动学分析
8
作者 任彪 韩哈斯敖其尔 +2 位作者 黄胡泽 李耀彬 吴清文 《组合机床与自动化加工技术》 北大核心 2024年第2期1-7,12,共8页
基于Stewart并联机器人构型和偏置柔性虎克铰链,利用双螺旋副差动传动的方案设计了一款低成本高精度6-RR-RP-RR构型的6-DOF并联机器人。首先,基于双螺旋副差动传动原理,分别提出了串联和并联两种差动驱动方案,并对柔性虎克铰链进行了设... 基于Stewart并联机器人构型和偏置柔性虎克铰链,利用双螺旋副差动传动的方案设计了一款低成本高精度6-RR-RP-RR构型的6-DOF并联机器人。首先,基于双螺旋副差动传动原理,分别提出了串联和并联两种差动驱动方案,并对柔性虎克铰链进行了设计,确定了最终的整机结构设计方案;其次,对柔性铰链的柔度进行了理论建模,并仿真验证了其柔度和强度设计的合理性;此外,对该并联机器人开展了逆运动学分析,建立了其运动学模型,并采用牛顿-拉普拉森数值迭代方法进行了求解;最后,分别利用多体动力学和Ansys仿真软件验证了整机运动学模型和求解的准确性。 展开更多
关键词 差动传动 STEWART平台 柔性铰链 运动学
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面向软材料搓动夹持的微夹钳设计与分析
9
作者 崔良玉 钟俊杰 +1 位作者 韩建鑫 靳刚 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2024年第12期71-75,共5页
为实现软材料在微纳尺度的夹持与搓动等操作,提出了一种基于压电驱动的具有搓动夹持功能的微夹钳装置。基于桥式放大器和杠杆机构的联合放大作用,增大了压电陶瓷驱动器输出端有限行程。通过正交布置的柔性铰链机构,实现搓动与夹持两自... 为实现软材料在微纳尺度的夹持与搓动等操作,提出了一种基于压电驱动的具有搓动夹持功能的微夹钳装置。基于桥式放大器和杠杆机构的联合放大作用,增大了压电陶瓷驱动器输出端有限行程。通过正交布置的柔性铰链机构,实现搓动与夹持两自由度方向上的运动解耦。对机构的放大倍数和刚度等参数,建立了理论建模,并进行了有限元分析,验证了设计的合理性。夹持方向和搓动方向的位移放大倍数分别为11.30和8.11,行程分别达到了225,162μm,第一阶固有频率为164.81 Hz。 展开更多
关键词 微夹钳 柔性铰链 压电驱动器 有限元分析
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考虑弯剪耦合变形的矩形空心墩等效塑性铰模型
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作者 漆启明 邵长江 +3 位作者 杨华平 庄卫林 崔皓蒙 王春阳 《土木工程学报》 EI CSCD 北大核心 2024年第11期23-32,105,共11页
矩形空心墩因截面挖空导致抗剪性能削弱,塑性铰区弯剪裂缝显著,而既有等效塑性铰模型和等效塑性铰长度公式较少涉及弯剪耦合变形。为此,文章提出考虑弯矩梯度、拉伸漂移、应变渗透效应以及剪切变形的矩形空心墩曲率分布假定和墩顶位移... 矩形空心墩因截面挖空导致抗剪性能削弱,塑性铰区弯剪裂缝显著,而既有等效塑性铰模型和等效塑性铰长度公式较少涉及弯剪耦合变形。为此,文章提出考虑弯矩梯度、拉伸漂移、应变渗透效应以及剪切变形的矩形空心墩曲率分布假定和墩顶位移计算方法,基于墩底塑性转角相等原则推导包含弯矩梯度、拉伸漂移和应变渗透效应的等效塑性铰长度理论公式和经验公式,并通过64个矩形空心墩试验数据对上述公式进行标定和验证。结果表明:规准等效塑性铰长度(L_(p)/h)随剪跨比、纵筋率及材料特性参数(f_(ul)/f_(yl)、f_(y1)d_(b)/√f'_(c))的增加而增大,与建议等效塑性铰长度经验公式的预测一致;规范和王震公式均高估了扣除剪切位移后的等效塑性铰长度,且会高估墩顶极限位移能力,使抗震设计偏于不安全;Berry公式计算的等效塑性铰长度略微保守,且能较准确地预测矩形空心墩的极限位移;而基于建议等效塑性铰长度经验公式和剪切位移占比系数经验公式的等效塑性铰模型,对矩形空心墩位移能力评估具有较高的计算精度和更小的离散性。 展开更多
关键词 桥梁工程 矩形空心墩 等效塑性铰模型 等效塑性铰长度 弯剪耦合变形 极限位移能力
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椭圆横断截面新型双轴柔性铰链设计及分析 被引量:1
11
作者 魏华贤 赵永杰 +2 位作者 杨楠 王奉涛 牛小东 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第8期1348-1357,共10页
现有同位正交复合缺口双轴柔铰存在矩形横断截面锐边结构,增大了应力集中效应,且无法通过优化纵向缺口轮廓来消除。为此,提出一类椭圆横断截面新型双轴柔铰。首先以圆弧缺口为对象,构建该类柔铰的参数化结构模型;然后基于卡氏第二定理... 现有同位正交复合缺口双轴柔铰存在矩形横断截面锐边结构,增大了应力集中效应,且无法通过优化纵向缺口轮廓来消除。为此,提出一类椭圆横断截面新型双轴柔铰。首先以圆弧缺口为对象,构建该类柔铰的参数化结构模型;然后基于卡氏第二定理建立其柔度及最大应力理论模型,通过有限元分析验证模型的有效性,基于此,实现了柔度及应力集中特性分析;最后通过实验测试验证了柔铰的柔度性能。结果表明,椭圆横断截面型双轴柔铰具备两向各异柔度,可从本质上避免锋利锐边结构,降低应力集中效应,与具有相同缺口结构的矩形横断截面型双轴柔铰相比,工作能力可提高47.9%,该类柔铰结构拓展了现有缺口型柔铰的基本类型。 展开更多
关键词 柔性铰链 柔性机构 椭圆横断截面 双轴柔性铰链
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基于弥散裂缝理念的墩柱塑性铰区抗剪强度模型
12
作者 漆启明 邵长江 +3 位作者 杨华平 庄卫林 崔皓蒙 王春阳 《土木工程学报》 EI CSCD 北大核心 2024年第12期68-77,共10页
为避免强震作用下钢筋混凝土墩柱发生弯剪破坏,需准确量化墩柱塑性铰区抗剪强度。然而,现行规范和既有文献的抗剪模型普遍假定斜截面箍筋初始全部屈服、箍筋抗剪贡献随配箍率线性增大并与混凝土抗剪贡献直接相加,且对纵筋抗剪贡献重视不... 为避免强震作用下钢筋混凝土墩柱发生弯剪破坏,需准确量化墩柱塑性铰区抗剪强度。然而,现行规范和既有文献的抗剪模型普遍假定斜截面箍筋初始全部屈服、箍筋抗剪贡献随配箍率线性增大并与混凝土抗剪贡献直接相加,且对纵筋抗剪贡献重视不够,与实际弯剪损伤演化和试验规律不符。为此,借助弥散裂缝理念将钢筋混凝土视作一种新型均质材料,基于莫尔应力圆推导一种符合弯剪损伤演化且考虑混凝土、箍筋、轴力、纵筋、剪跨比及位移延性系数等因素的抗剪强度模型,并通过139个矩形墩柱试验数据进行标定和验证。结果表明:Eurocode 8模型过高估计了墩柱抗剪强度,Caltrans模型抗剪计算结果略微保守,而《公路桥梁抗震设计规范》(JTG/T 2231-01-2020)模型的抗剪计算值与试验值较接近;相比规范模型,建议抗剪强度模型具有更高的计算精度和更小的离散性,抗剪强度折减系数取0.85时的安全保证率达85%,可用于矩形墩柱塑性铰区的抗剪能力评估。 展开更多
关键词 桥梁工程 钢筋混凝土墩柱 抗剪强度模型 塑性铰区 弯剪耦合损伤
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基于椭圆形柔性铰链微克级单体式称量机构性能分析与优化
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作者 朱锦辉 王健 +1 位作者 江文松 罗哉 《计量学报》 CSCD 北大核心 2024年第8期1170-1176,共7页
为了提高单体式称量机构的灵敏度,对微克级的单体式称量机构进行性能分析与优化,建立了基于椭圆形柔性铰链称量机构的数学模型;以称量机构的横梁末端位移来评价称量机构的灵敏度,通过在不同部分改变铰链厚度,分别验证椭圆形和圆弧形铰... 为了提高单体式称量机构的灵敏度,对微克级的单体式称量机构进行性能分析与优化,建立了基于椭圆形柔性铰链称量机构的数学模型;以称量机构的横梁末端位移来评价称量机构的灵敏度,通过在不同部分改变铰链厚度,分别验证椭圆形和圆弧形铰链对称量机构灵敏度的影响。结合Ansys Workbench有限元仿真软件对模型的准确确度进行了验证,给出了针对柔性铰链划分网格时的评价依据,结果表明:模型的最小误差为1.8%;且在1μg载荷下,椭圆形铰链相比于圆弧形增加了0.39 nm的末端位移。 展开更多
关键词 质量计量 微克级称量 单体式称量机构 椭圆形柔性铰链 有限元仿真
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一种可驱动两种类型转子的环型压电驱动器
14
作者 李争 王海波 +2 位作者 王楷文 高帅 孙鹤旭 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第5期729-740,共12页
为了满足微电机的多向运动需求,研究了一种可双向运动的压电驱动器,并对其性能进行了设计和分析。该驱动器可以驱动直线型和圆筒型两种动子,适用于多种工作环境。首先阐述了压电驱动器的基本结构和原理,建立了驱动器模型,然后用有限元... 为了满足微电机的多向运动需求,研究了一种可双向运动的压电驱动器,并对其性能进行了设计和分析。该驱动器可以驱动直线型和圆筒型两种动子,适用于多种工作环境。首先阐述了压电驱动器的基本结构和原理,建立了驱动器模型,然后用有限元方法分析了压电驱动器的变形模式。经实验验证,压电驱动器的最佳工作频率为2.27 kHz,最佳驱动电压幅值为150 V。在该激励信号下,直线型压电驱动器的最大速度达到249 mm/s,最大负载能力为20 N。该压电驱动器能够实现双向运动和稳定输出。 展开更多
关键词 压电驱动 柔性铰链 压电叠堆 有限元分析 机械结构设计
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新型二维纳米级微动工作台的动力学分析 被引量:29
15
作者 刘品宽 孙立宁 +1 位作者 曲东升 荣伟彬 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2002年第2期143-147,共5页
提出一种新型、集成式压电驱动两自由度nm级微定位工作台系统 ,工作台采用直角柔性平行板铰链 ,实现X ,Y方向的运动 ,采用杠杆放大柔性铰链机构实现对压电陶瓷位移的放大。并对这种新型结构形式理论分析与实验测试。根据拉格郎日方程建... 提出一种新型、集成式压电驱动两自由度nm级微定位工作台系统 ,工作台采用直角柔性平行板铰链 ,实现X ,Y方向的运动 ,采用杠杆放大柔性铰链机构实现对压电陶瓷位移的放大。并对这种新型结构形式理论分析与实验测试。根据拉格郎日方程建立微动工作台的运动微分方程 ,推导出系统前两阶固有频率的解析式。采用有限元分析方法对微动工作台进行模态分析 ,得到微定位工作台有效工作的谐振频率和振型 ,并对微动工作台的模态频率进行了实验测试。经理论分析、有限元计算和实验测试结果进行对比与分析的一致性说明理论分析的正确性和数值分析的可靠性。 展开更多
关键词 微动工作台 动力学 纳米定位 柔性铰链 有限元方法
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同步辐射光束线中柔性铰链的研究 被引量:17
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作者 傅翾 周仁魁 +2 位作者 周泗忠 夏绍建 郭治理 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2001年第1期67-70,共4页
详细推导了直圆柔性铰链所受力矩和角偏移量及受力和线性位移之间的对应关系等运动方程 ;对直圆柔性铰链材料的选取、直圆柔性铰链参数的设计进行了分析 ;介绍了在同步辐射单色器中以直圆柔性铰链为基础投角、滚角、摆角调节结构。
关键词 柔性铰链 单色器 同步辐射 角偏移 光束线
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柔性铰链转动刚度计算公式的推导 被引量:44
17
作者 吴鹰飞 周兆英 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第1期125-128,137,共5页
柔性铰链作为无摩擦的支点有着成千上万的应用 ,以力学的基本公式和微积分为基础 ,给出了一般柔性铰链转动刚度计算公式的推导过程。在此基础上 ,得出了常用的直圆柔性铰链的设计计算公式 ,计算公式是精确的推导结果 ,且在表达上较迄今... 柔性铰链作为无摩擦的支点有着成千上万的应用 ,以力学的基本公式和微积分为基础 ,给出了一般柔性铰链转动刚度计算公式的推导过程。在此基础上 ,得出了常用的直圆柔性铰链的设计计算公式 ,计算公式是精确的推导结果 ,且在表达上较迄今沿用的 Paros给出的柔性铰链精确设计计算公式来得简洁 ,有利于柔性铰链及其机构的计算和分析。当直圆柔性铰链的切割半径与最小厚度相当时 ,Paros给出的简化公式存在一定的误差 ,这里的计算公式尤其适用于该类直圆柔性铰链。 展开更多
关键词 链转动 柔性铰链 刚度计算公式 几何结构
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快速反射镜两轴柔性支承设计 被引量:41
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作者 鲁亚飞 范大鹏 +2 位作者 范世珣 张智永 周擎坤 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第12期2574-2582,共9页
提出了基于集中柔度的柔性铰链单元的柔性支承结构,研究了这种柔性支承静动态特性的设计过程和设计方法。首先,从快速反射镜的工作机理出发,分析了系统对柔性支承的特性要求;然后,结合现有两种柔性支承结构的特点,提出基于集中柔度的柔... 提出了基于集中柔度的柔性铰链单元的柔性支承结构,研究了这种柔性支承静动态特性的设计过程和设计方法。首先,从快速反射镜的工作机理出发,分析了系统对柔性支承的特性要求;然后,结合现有两种柔性支承结构的特点,提出基于集中柔度的柔性铰链单元的柔性支承设计;在分析单个柔性铰链刚度特性的基础上,研究了两轴柔性支承的设计方法;最后,以通光口径为Φ90 mm、行程为±2 mrad、工作带宽为300 Hz的两轴快速反射镜为例,进行了两轴柔性支承的设计和特性计算。基于dSPACE半实物仿真系统建立了两轴柔性支承特性实验,对柔性支承的转动刚度进行测试,并对由设计的柔性支承组成的快速反射镜系统的控制性能进行分析。实验结果显示:设计的快速反射镜系统的一阶机械响应频率为78 Hz,闭环控制带宽为340 Hz,满足设计要求,表明基于集中柔度的柔性铰链单元的柔性支承可以满足行程若干mrad,工作带宽数百Hz的两轴快速反射镜的应用需求,且具有加工工艺性好,转动中心稳定等优点。 展开更多
关键词 快速反射镜 柔性支承 柔性铰链 特性设计
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全柔性机构与MEMS 被引量:80
19
作者 于靖军 宗光华 毕树生 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2001年第1期1-5,共5页
柔性机构是一种新型机构。首先描述了柔性机构和全柔性机构的概念及特点 ,论述了它们与MEMS之间的关系。然后详细介绍了全柔性机构在 MEMS领域内包括微装配、微操作等应用背景下的状况及前景。最后就对全柔性机构研究中的几个关键技术... 柔性机构是一种新型机构。首先描述了柔性机构和全柔性机构的概念及特点 ,论述了它们与MEMS之间的关系。然后详细介绍了全柔性机构在 MEMS领域内包括微装配、微操作等应用背景下的状况及前景。最后就对全柔性机构研究中的几个关键技术问题如机构的分析、设计及加工 ,柔性铰链的选择与设计 ,驱动器的选择及设计等进行了探讨。 展开更多
关键词 柔性机构 全柔性机构 柔性铰链 微型机电系统 MEMS
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共聚焦激光扫描荧光显微镜扫描系统研制 被引量:12
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作者 周拥军 陈德强 +1 位作者 黄文浩 夏安东 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2002年第6期582-587,共6页
为适应三维光学微细加工及三维光学信息存储研究的需要,研制了共聚焦激光扫描荧光显微镜的工作台式扫描系统,扫描范围138μm×138μm。工作台采用压电陶瓷驱动器(PZTactuator)驱动的方式来获得高分辨率的位移,采用带柔性铰链的杠杆... 为适应三维光学微细加工及三维光学信息存储研究的需要,研制了共聚焦激光扫描荧光显微镜的工作台式扫描系统,扫描范围138μm×138μm。工作台采用压电陶瓷驱动器(PZTactuator)驱动的方式来获得高分辨率的位移,采用带柔性铰链的杠杆放大装置来获得较大的位移范围。描述了工作台的工作原理,并对其静态和动态性能进行了测试,实验表明这一扫描系统能很好的应用于共聚焦激光扫描荧光显微镜系统。 展开更多
关键词 共聚焦激光扫描荧光显微镜 扫描系统 研制 共焦显微镜 压电陶瓷驱动器 柔性铰链
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