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题名MEMS静电驱动微镜阵列的设计与工艺研究
被引量：2
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作者
胡钰玮
王俊铎
单亚蒙
钱磊
于悦
沈文江
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机构
中国科学技术大学纳米技术与纳米仿生学院
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所纳米器件与应用重点实验室
中国科学技术大学纳米科学技术学院
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出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2024年第10期113-116,共4页
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文摘
基于微机电系统(MEMS)工艺,设计并制作了一种应用于光通信领域的二维准静态驱动微镜阵列(MMA)。相比于梳齿驱动,平行板电容式静电微镜更易于形成高占空比的阵列排布,有利于作为光开关矩阵应用在全光交换中。通过设计弹性系数小的“竖蛇形”双扭转轴结构,有效降低了微镜的驱动电压;并采用硅—玻璃阳极键合工艺来实现平板电容结构,将绝缘的玻璃作为电极基底与绝缘体上硅(SOI)硅器件层键合,不仅实现了良好的电隔离,提高了器件的稳定性,且能很好地与阵列扩展兼容。制备出的1×4微镜阵列可实现X/Y方向的二维(2D)准静态驱动,测试结果与有限元仿真结果基本吻合。结果表明,微镜内、外轴可分别在26.5V和29.5V的直流电压驱动下达到±2°机械转角,微镜响应时间为5ms。
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关键词
微机电系统
微镜阵列
平行板静电驱动
阳极键合
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Keywords
MEMS
micromirror array(mma)
parallel-plate electrostatic drive
anodic bonding
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名高频压电MEMS微镜设计与仿真
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作者
张浩
汪洋
武震宇
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机构
中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室
中国科学院大学
上海微技术工业研究院
上海大学微电子学院
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出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2024年第2期76-80,共5页
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基金
国家重点研发计划资助项目(2021YFB3202500)
上海市产业协同创新项目(HCXBCY—2021—044)。
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文摘
阵列化微镜设计可以实现微镜的高频工作。本文采用将驱动器隐藏在六边形镜面下方的设计方案来实现微镜阵列单元的制备,减小了微镜尺寸。在镜面内部引入了柔性结构匀散应力,降低微镜应力断裂风险,提高了微镜的可靠性,采用六边形密排的方式可以实现大于90%的占空比。所设计的微镜可以实现倾斜、偏转和活塞3种工作自由度,工作频率达到了23 000 Hz以上,共振偏转角度可以达到6.5°。对比传统的微镜阵列设计,本文设计提高了空间利用率和致动效率。
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关键词
微机电系统
压电驱动
微镜阵列
高频
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Keywords
micro-electro-mechanical system(MEMS)
piezoelectric drive
micromirror array(mma)
high frequency
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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