期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
静电悬浮转子微陀螺微位移数字化电容检测通道设计
1
作者
马高印
陈文元
+2 位作者
张卫平
崔锋
王立奇
《中国惯性技术学报》
EI
CSCD
北大核心
2009年第6期734-737,共4页
微位移检测是实现静电悬浮转子微陀螺闭环起支和稳定悬浮控制的重要前提。针对微陀螺轴向起支和悬浮的检测要求、特点及主要技术指标,设计了完整的电容式微位移检测通道。该通道主要由前置C/V转换、差动放大、四阶压控电压源有源带通滤...
微位移检测是实现静电悬浮转子微陀螺闭环起支和稳定悬浮控制的重要前提。针对微陀螺轴向起支和悬浮的检测要求、特点及主要技术指标,设计了完整的电容式微位移检测通道。该通道主要由前置C/V转换、差动放大、四阶压控电压源有源带通滤波、相敏解调、四阶Butterworth低通滤波和16位A/D转换等环节组成,具有激励带宽大、检测精度高及数字化输出等特点。试验表明,检测通道的灵敏度为1.4V/pF,线性度为2.11%,微位移检测分辨力优于10nm,能够满足微陀螺轴向起支和稳定悬浮的检测要求。
展开更多
关键词
微陀螺
静电悬浮
微位移
电容检测
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
静电悬浮转子微陀螺微位移数字化电容检测通道设计
1
作者
马高印
陈文元
张卫平
崔锋
王立奇
机构
上海交通大学微纳科学技术研究院
中国航天科技集团第九研究院
出处
《中国惯性技术学报》
EI
CSCD
北大核心
2009年第6期734-737,共4页
基金
国家"十一五"预研基金(51030950806)
武器装备预研基金(9140A09020706JW0314)
文摘
微位移检测是实现静电悬浮转子微陀螺闭环起支和稳定悬浮控制的重要前提。针对微陀螺轴向起支和悬浮的检测要求、特点及主要技术指标,设计了完整的电容式微位移检测通道。该通道主要由前置C/V转换、差动放大、四阶压控电压源有源带通滤波、相敏解调、四阶Butterworth低通滤波和16位A/D转换等环节组成,具有激励带宽大、检测精度高及数字化输出等特点。试验表明,检测通道的灵敏度为1.4V/pF,线性度为2.11%,微位移检测分辨力优于10nm,能够满足微陀螺轴向起支和稳定悬浮的检测要求。
关键词
微陀螺
静电悬浮
微位移
电容检测
Keywords
micromachined gyro electrostatic suspension micro-displacement capacitive sensor
分类号
U666.1 [交通运输工程—船舶及航道工程]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
静电悬浮转子微陀螺微位移数字化电容检测通道设计
马高印
陈文元
张卫平
崔锋
王立奇
《中国惯性技术学报》
EI
CSCD
北大核心
2009
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
