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微电子机械系统的研究现状: 1; 作者吴桂君颐文琪《电工电能新技术》 CSCD 北大核心 1994年第2期29-34,共6页; 在同一介质上，应用集成电路微细加工技术制作出尺寸在微米范畴的微机械部件，微传感器，微传动装置并将它们与微电子线路在一起形成高性能的闭环控制的微电子机械系统是一门新兴的边缘学科，也开辟了一个全新的工业加工领域，本文简述... 展开更多; 关键词微电子机械系统微机械元件; 在线阅读下载PDF 职称材料

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