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微电子和光电子制造中的节约型高效精密加工技术
被引量：
1
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作者
李庆忠
康仁科
郭东明
《江南大学学报（自然科学版）》
CAS
2009年第6期746-752,共7页
着重介绍了高效精密加工制造技术的科学内涵、应用范围和在机械加工制造业的重要性,以及国内外研究现状与发展趋势,分析了国内在先进加工制造工艺和装备领域的基础研究中存在的主要问题和差距。
关键词
微电子
光电子
超精密
制造技术
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职称材料
题名
微电子和光电子制造中的节约型高效精密加工技术
被引量：
1
1
作者
李庆忠
康仁科
郭东明
机构
江南大学机械工程学院
大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室
出处
《江南大学学报（自然科学版）》
CAS
2009年第6期746-752,共7页
基金
国家自然科学基金重大项目(50390061)
江苏省自然科学基金项目(BK20080605)
文摘
着重介绍了高效精密加工制造技术的科学内涵、应用范围和在机械加工制造业的重要性,以及国内外研究现状与发展趋势,分析了国内在先进加工制造工艺和装备领域的基础研究中存在的主要问题和差距。
关键词
微电子
光电子
超精密
制造技术
Keywords
microdectronics
,
photoelectron
,
surpasses
,
making-technology
分类号
TG580.6 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
TN4 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
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作者
出处
发文年
被引量
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1
微电子和光电子制造中的节约型高效精密加工技术
李庆忠
康仁科
郭东明
《江南大学学报（自然科学版）》
CAS
2009
1
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