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VHF-PECVD制备不同氢稀释条件下硅薄膜特性分析被引量：6: 1; 作者张晓丹高艳涛 +9 位作者赵颖朱锋魏长春孙建侯国付薛俊明张德坤任慧志耿新华熊绍珍《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第1期56-59,64,共5页; 本文集中报导了不同硅烷浓度条件下,制备的系列硅薄膜电学特性和结构特性的分析研究。结果表明:随着硅烷浓度的逐渐减小,材料逐渐地由非晶向微晶转变。傅立叶变换红外吸收 (FTIR)的测试结果表明:微晶硅材料存在着自然的不稳定性,表现为... 展开更多; 关键词硅材料硅薄膜 VHF-PECVD 有源层微晶晶向电学特性度条件因子不稳定性; 在线阅读下载PDF 职称材料

气压对VHF-PECVD制备的μc-Si∶H薄膜特性影响的研究被引量：14: 2; 作者张晓丹朱锋 +8 位作者赵颖侯国付魏长春孙建张德坤任慧志薛俊明耿新华熊绍珍《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第3期414-418,共5页; 本文主要研究了用VHF PECVD方法制备的不同工作气压的微晶硅薄膜样品。结果表明 :沉积速率随反应气压的增大而逐渐增大 ;光敏性 (光电导 /暗电导 )和激活能测试结果给出了相同的变化规律 ;傅立叶红外测试、X射线衍射和室温微区喇曼谱的... 展开更多; 关键词 VHF-PECVD 制备方法气压 μc-Si:H 薄膜微晶硅材料太阳能电池光致衰退效应 SWE; 在线阅读下载PDF 职称材料

VHF-PECVD制备微晶硅材料及电池初步研究被引量：4: 3; 作者张晓丹朱锋 +4 位作者赵颖薛俊明孙建耿新华熊绍珍《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第6期789-793,共5页; 研究了用甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)方法制备的不同沉积气压下的微晶硅薄膜样品。随着沉积气压的逐渐增大,样品的沉积速率也逐渐增大;样品的光敏性和激活能测试结果表明:随气压的变化两者发生了规律性一致的变化;傅立... 展开更多; 关键词甚高频等离子体增强化学气相沉积微晶硅薄膜微晶硅电池微区喇曼光谱傅立叶变换红外光谱; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	VHF-PECVD制备不同氢稀释条件下硅薄膜特性分析	张晓丹高艳涛赵颖朱锋魏长春孙建侯国付薛俊明张德坤任慧志耿新华熊绍珍	《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2005	6	在线阅读下载PDF 职称材料
2	气压对VHF-PECVD制备的μc-Si∶H薄膜特性影响的研究	张晓丹朱锋赵颖侯国付魏长春孙建张德坤任慧志薛俊明耿新华熊绍珍	《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2004	14	在线阅读下载PDF 职称材料
3	VHF-PECVD制备微晶硅材料及电池初步研究	张晓丹朱锋赵颖薛俊明孙建耿新华熊绍珍	《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2004	4	在线阅读下载PDF 职称材料