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MEMS型水听器的自噪声分析
被引量：
4
1
作者
方尔正
洪连进
杨德森
《哈尔滨工程大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第3期285-288,共4页
针对部分结构形式的水听器自噪声较高这一现象,以MEMS型水听器为原型进行了结构分析。根据机械-热噪声理论,给出了MEMS型水听器热噪声计算方法和水介质中声压与加速度的转换关系。对水听器噪声参数进行了计算机仿真,得出了影响传感器自...
针对部分结构形式的水听器自噪声较高这一现象,以MEMS型水听器为原型进行了结构分析。根据机械-热噪声理论,给出了MEMS型水听器热噪声计算方法和水介质中声压与加速度的转换关系。对水听器噪声参数进行了计算机仿真,得出了影响传感器自噪声的主要因素,给出了自噪声与谐振频率、质量块质量和机械Q值之间的关系。将典型水听器自噪声与海洋环境噪声进行了对比,仿真分析结果表明,工业用加速度传感器不能用于水下声辐射噪声测量任务,用于在辐射噪声测量的MEMS型水听器需要具有40 ng以下的自噪声才能达到系统要求。
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关键词
水听器
微机械系统
自噪声
噪声测量
micro-electromechanical
systems
(
MEMS)
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职称材料
题名
MEMS型水听器的自噪声分析
被引量：
4
1
作者
方尔正
洪连进
杨德森
机构
哈尔滨工程大学水声技术重点实验室
出处
《哈尔滨工程大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第3期285-288,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(11401057)
文摘
针对部分结构形式的水听器自噪声较高这一现象,以MEMS型水听器为原型进行了结构分析。根据机械-热噪声理论,给出了MEMS型水听器热噪声计算方法和水介质中声压与加速度的转换关系。对水听器噪声参数进行了计算机仿真,得出了影响传感器自噪声的主要因素,给出了自噪声与谐振频率、质量块质量和机械Q值之间的关系。将典型水听器自噪声与海洋环境噪声进行了对比,仿真分析结果表明,工业用加速度传感器不能用于水下声辐射噪声测量任务,用于在辐射噪声测量的MEMS型水听器需要具有40 ng以下的自噪声才能达到系统要求。
关键词
水听器
微机械系统
自噪声
噪声测量
micro-electromechanical
systems
(
MEMS)
Keywords
hydrophone
self-noise
noise measurement
分类号
TB566 [交通运输工程—水声工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
MEMS型水听器的自噪声分析
方尔正
洪连进
杨德森
《哈尔滨工程大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014
4
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